一种调针台折射补偿同步机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种调针台折射补偿同步机构，包括工作台、探针放置吸盘、显微镜、增量编码器以及悬臂；所述显微镜通过显微镜支架与位于所述工作台上的位移机构活动连接，所述位移机构上设置有调整显微镜高度的调高机构，所述显微镜支架下端面设置有用于调整补偿玻璃支架转动角度的步进电机，水平设置的所述悬臂贯穿悬臂座且通过同步带与增量编码器活动连接，所述悬臂上远离增量编码器的一端可拆卸设置有点位玻璃载片，所述点位玻璃载片与显微镜镜头以及补偿玻璃支架位置相对应。本实用新型专利技术通过折射补偿，消除显微镜视窗清晰度的变化，减少调整显微镜的频率和次数，提高作业效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种调针台折射补偿同步机构


[0001]本技术涉及调针台
，尤其涉及一种调针台折射补偿同步机构。

技术介绍

[0002]Probe card是一款主要对裸芯进行测试的测试接口仪器。通过将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程。
[0003]现有的probe card调针台，主要为单臂翻转机构，未配置折射补偿装置。而未配置折射补偿机构的probe card调针台，在使用点位玻璃载片定位探针后，由于光线的折射，显微镜在去除点位玻璃载片进行观察且高度不改变的情况下，视窗所能观察到的目标物，会出现两个不重合的像，即清晰度不一致的情况。因此需要设计一种调针台折射补偿同步机构来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种调针台折射补偿同步机构，通过折射补偿，消除显微镜视窗清晰度的变化，减少调整显微镜的频率和次数，提高作业效率。
[0005]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：一种调针台折射补偿同步机构，包括工作台、探针放置吸盘、显微镜、增量编码器以及悬臂；所述显微镜通过显微镜支架与位于所述工作台上的位移机构活动连接，所述位移机构上设置有调整显微镜高度的调高机构，所述显微镜支架下端面设置有用于调整补偿玻璃支架转动角度的步进电机，水平设置的所述悬臂贯穿悬臂座且通过同步带与增量编码器活动连接，所述悬臂上远离增量编码器的一端可拆卸设置有点位玻璃载片，所述点位玻璃载片与显微镜镜头以及补偿玻璃支架位置相对应。
[0006]优选地，所述位移机构包括水平模组以及连接滑动板，所述水平模组带动显微镜沿工作台的长度方向往返移动，所述连接滑动板通过水平模组与竖直设置在工作台上的位移支架相连接，所述调高机构位于连接滑动板上。
[0007]优选地，所述调高机构与显微镜间通过显微镜支架相连接，所述调高机构包括固定在连接滑动板上的Z型支架、移动滑块、位于所述Z型支架上的导向杆以及贯穿所述Z型支架的旋转丝杆，所述移动滑块贯穿导向杆以及旋转丝杆，所述旋转丝杆顶部设置有调高旋钮，当转动所述调高旋钮时，所述移动滑块带动显微镜沿导向杆的高度方向上下移动。
[0008]优选地，所述工作台侧边设置有支座，且所述悬臂座与增量编码器均位于所述支座上，所述悬臂座上设置有微调机构。
[0009]优选地，所述微调机构包括若干微调微分头以及凸轮限位块，所述微调微分头与所述凸轮限位块数量相同且位置相对应，所述悬臂靠近增量编码器的顶端设置有一便于转
动的手轮。
[0010]优选地，所述增量编码器以及步进电机均与外部控制器电性连接。
[0011]优选地，所述点位玻璃载片与悬臂间通过螺丝锁附。
[0012]本技术的有益效果：
[0013]本技术通过位移机构、调高机构、显微镜、步进电机、补偿玻璃支架、探针放置吸盘、手轮、同步带、增量编码器、点位玻璃载片以及微调机构的相互配合，通过在显微镜与探针放置吸盘之间设置补偿玻璃实现折射补偿，消除显微镜视窗清晰度的变化，减少调整显微镜的频率和次数，提高作业效率。
附图说明
[0014]图1为本技术一较佳实施例的整体结构轴侧图；
[0015]图2为本技术一较佳实施例的部分结构截面示意图；
[0016]图中：1、工作台；2、位移机构；21、位移支架；22、水平模组；23、连接滑动板；3、调高机构；31、调高旋钮；32、Z型支架；33、旋转丝杆；34、导向杆；35、移动滑块；4、显微镜支架；5、显微镜；6、步进电机；7、补偿玻璃支架；8、探针放置吸盘；9、手轮；10、同步带；11、增量编码器；12、悬臂；13、点位玻璃载片；14、微调机构；141、微调微分头；142、凸轮限位块；15、悬臂座；16、支座。
具体实施方式
[0017]下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0018]参见附图1至2所示，本实施例中的一种调针台折射补偿同步机构，包括工作台1、探针放置吸盘8、显微镜5、增量编码器11以及悬臂12；所述显微镜5通过显微镜支架4与位于所述工作台1上的位移机构2活动连接，通过所述位移机构2实现对显微镜5水平方向上的位置自动调节，保证显微镜5镜头与探针放置吸盘8位置相对应；所述位移机构2上设置有调整显微镜5高度的调高机构3，所述显微镜支架4下端面设置有用于调整补偿玻璃支架7转动角度的步进电机6，所述补偿玻璃支架7用于安装不同厚度的补偿玻璃，且所述补偿玻璃的规格与点位玻璃载片13规格相对应，步进电机6带动补偿玻璃支架7转动固定角度对定位探针针尖时点位玻璃载片13产生的视野清晰度误差进行补偿，消除显微镜视窗清晰度的变化；水平设置的所述悬臂12贯穿悬臂座15且通过同步带10与增量编码器11活动连接，所述悬臂12上远离增量编码器11的一端可拆卸设置有点位玻璃载片13，所述点位玻璃载片13与显微镜镜头以及补偿玻璃支架7位置相对应，工作人员手动转动手轮9，与所述手轮9连接的悬臂12带动点位玻璃载片13转动，使点位玻璃载片13翻转远离显微镜5视野，同时由于所述手轮9与增量编码器11通过同步带10连接，因此带动所述增量编码器11旋转，并产生定量的AB正弦波信号，该信号传输给外部控制器，外部控制器控制步进电机6开始工作，步进电机6转动轴转动，带动转动轴顶端的补偿玻璃支架7旋转固定角度。
[0019]所述位移机构2包括水平模组22以及连接滑动板23，所述水平模组22带动显微镜5沿工作台1的长度方向往返移动，所述连接滑动板23通过水平模组22与竖直设置在工作台1
上的位移支架21相连接，所述调高机构3位于连接滑动板23上，通过调高机构3实现补偿玻璃支架7与显微镜5的同步升降，既可以调整显微镜5与探针之间的观察距离，也可以保证补偿玻璃与显微镜5之间的相对距离保持一致。
[0020]所述调高机构3与显微镜5间通过显微镜支架4相连接，所述调高机构3包括固定在连接滑动板23上的Z型支架32、移动滑块35、位于所述Z型支架32上的导向杆34以及贯穿所述Z型支架32的旋转丝杆33，所述移动滑块35贯穿导向杆34以及旋转丝杆33，所述旋转丝杆33顶部设置有调高旋钮31，当转动所述调高旋钮31时，所述移动滑块35带动显微镜沿导向杆34的高度方向上下移动。
[0021]所述工作台1侧边设置有支座16，且所述悬臂座15与增量编码器11均位于所述支座16上，所述悬臂座15上设置有微调机构14。
[0022]所述微调机构14包括若干微调微分头141以及凸轮限位块142，所述微调微分头141与所述凸轮限位块142数量相同且位置相对应，所述悬臂靠近增量编码器11的顶端设置有一便于转动的手本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种调针台折射补偿同步机构，其特征在于：包括工作台(1)、探针放置吸盘(8)、显微镜、增量编码器(11)以及悬臂(12)；所述显微镜(5)通过显微镜支架(4)与位于所述工作台(1)上的位移机构(2)活动连接，所述位移机构(2)上设置有调整显微镜(5)高度的调高机构(3)，所述显微镜支架(4)下端面设置有用于调整补偿玻璃支架(7)转动角度的步进电机(6)，水平设置的所述悬臂(12)贯穿悬臂座(15)且通过同步带(10)与增量编码器(11)活动连接，所述悬臂(12)上远离增量编码器(11)的一端可拆卸设置有点位玻璃载片(13)，所述点位玻璃载片(13)与显微镜(5)镜头以及补偿玻璃支架(7)位置相对应。2.根据权利要求1所述的一种调针台折射补偿同步机构，其特征在于：所述位移机构(2)包括水平模组(22)以及连接滑动板(23)，所述水平模组(22)带动显微镜(5)沿工作台(1)的长度方向往返移动，所述连接滑动板(23)通过水平模组(22)与竖直设置在工作台(1)上的位移支架(21)相连接，所述调高机构(3)位于连接滑动板(23)上。3.根据权利要求2所述的一种调针台折射补偿同步机构，其特征在于：所述调高机构(3)与显微镜(5)间通过显微镜支架(4)相连接，所述调高机构(3)包括固定在连接滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹斌，
申请(专利权)人：苏州矽利康测试系统有限公司，
类型：新型
国别省市：