一种悬臂式探针卡制造技术

本实用新型专利技术公开了一种悬臂式探针卡，包括探针组件和高频SMA接头，所述探针组件和高频SMA接头可拆卸连接，所述探针组件包括信号针和铜管，所述铜管套设在所述信号针上，所述信号针和铜管之间设置有绝缘层，并且绝缘层套设在信号针上。通过在信号针外层套设铜管，通过铜管对信号针的信号进行屏蔽，频率减少失真，使信号能更好的通过信号针传输。通过高频SAM接头的设置，提供良好的驻波比，减少信号的反射，有效的提高信号传输的质量，进而实现高频测试。测试。测试。

【技术实现步骤摘要】
一种悬臂式探针卡


[0001]本技术涉及芯片检测
，尤其涉及一种悬臂式探针卡。

技术介绍

[0002]在半导体晶圆测试阶段，需要对晶圆上的未封装芯片进行测试，测试过程中会用到探针卡，探针卡完成晶圆焊盘或凸点到测试机的电气连接，然后通过测试机完成晶圆芯片的性能量测，并完成对晶圆的筛选分类，剔除不符合设计要求的芯片。目前悬臂探针卡受结构的影响，测试频率一般小于100MHZ,如果测试的产品需要比较高的测试频率，一般只能采购专用的高频探针，其价格非常高，而且是海外进口，交货期长。

技术实现思路

[0003]为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种悬臂式探针卡，能实现更经济和高效的高频测试。
[0004]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：一种悬臂式探针卡，包括探针组件和高频SMA接头，所述探针组件和高频SMA接头可拆卸连接，所述探针组件包括信号针和铜管，所述铜管套设在所述信号针上，所述信号针和铜管之间设置有绝缘层，并且绝缘层套设在信号针上。通过在信号针外层套设铜管，通过铜管对信号针的信号进行屏蔽，频率减少失真，使信号能更好的通过信号针传输。通过高频SAM接头的设置，提供良好的驻波比，减少信号的反射，有效的提高信号传输的质量，进而实现高频测试。
[0005]本技术进一步设置为，还包括金属装配板，所述高频SMA接头设置在所述金属装配板上方，并和所述金属装配板可拆卸连接；所述探针组件设置在所述金属装配板的下方，并和所述金属装配板可拆卸连接。通过金属装配板的设置，用于连接处理信号针采集的信号的检测设备，金属装配板可通过检测设配的连接要求而设计成不同的形状，灵活度大，制作简单。
[0006]本技术进一步设置为，所述绝缘层相对铜管，设置有轴向向外延伸的凸出部，通过绝缘层的凸起部的设置，能对信号针起到更好的保护作用，防止信号针由于弯折或其他误操作导致信号针和铜管短路。
[0007]本技术进一步设置为，所述探针组件还包括铜片和屏蔽针，所述铜片连接所述屏蔽针和所述铜管，所述屏蔽针一端通过所述铜片和铜管连接，另一端和地线连接，铜管因屏蔽信号针产生的信号，能依次通过铜片、屏蔽针、地线传输到地面。
[0008]本技术进一步设置为，还包括树脂固定块，所述树脂固定块用于对信号针进行支撑和固定，所述树脂固定块包括第一树脂固定块，所述第一树脂固定块上设置有第一通孔，所述信号针穿过所述第一通孔，通过所述第一通孔对信号针的一端进行固定。
[0009]本技术进一步设置为，所述第一树脂固定块上设置有第三通孔，所述屏蔽针穿过所述第三通孔和所述第一树脂固定块固定连接。
[0010]本技术进一步设置为，还包括陶瓷环，所述陶瓷环连接所述金属装配板和第
一树脂固定块，通过陶瓷环对第一树脂固定块进行固定，使第一树脂固定块和所述金属装配板进行连接。
[0011]本技术进一步设置为，所述树脂固定块还包括第二树脂固定块，所述第二树脂固定块设置在所述金属装配板上设有的固定通孔内，所述第二树脂固定块设置有第二通孔，所述信号针远离所述第一树脂固定块的一端穿过所述第二通孔，通过第二树脂固定块对信号针的另一端进行固定。
[0012]本技术的有益效果是：
[0013]1)通过在信号针外层套设铜管，通过铜管对信号针的信号进行屏蔽，频率减少失真，使信号能更好的通过信号针传输。
[0014]2)通过高频SAM接头的设置，提供良好的驻波比，减少信号的反射，有效的提高信号传输的质量。
[0015]3)通过金属装配板的设置，用于连接检测设备，金属装配板可通过检测设配的连接要求而设计成不同的形状，灵活度大，制作简单，减少制作成本和制作周期。
附图说明
[0016]构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本技术一实施例的悬臂式探针卡的立体图；
[0019]图2为图1中A处的局部放大图；
[0020]图3为本技术一实施例的悬臂式探针卡去除金属装配板后的立体图。
[0021]图中：1、金属装配板；2、探针组件；21、信号针；22、绝缘层；221、凸出部；23、铜管；24、铜片；25、屏蔽针；3、树脂固定块；31、第一树脂固定块；32、第二树脂固定块；4、陶瓷环；5、高频SMA接头；6、螺钉。
具体实施方式
[0022]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0023]参见附图1所示，本实施例中的一种悬臂式探针卡，包括探针组件2和金属装配板1，所述探针组件2和金属装配板1通过螺钉6可拆卸连接，所述金属装配板1和用于信号处理的测试设配连接，通过金属装配板1连接所述探针组件2和测试设配，金属装配板1可通过检测设配的连接要求而设计成不同的形状，灵活度大，制作简单，减少制作成本和制作周期。
[0024]参见附图2所示，在一些实施例中，所述探针组件2包括信号针21和铜管23，所述信
号针21一端向下弯折，以便于对晶元进行监测。所述铜管23套设在所述信号针21上，所述信号针21和铜管23之间设置有绝缘层22，并且绝缘层22套设在信号针21上，通过绝缘层22的设置，隔离信号针21和铜管23，确保信号针21和铜管23不会抵接短路。通过在信号针21外层套设铜管23，通过铜管23对信号针21的信号进行屏蔽，减少频率失真，使信号能更好的通过信号针21传输。
[0025]在一些实施例中，所述绝缘层22相对铜管23，设置有轴向向外延伸的凸出部221，通过绝缘层22的凸起部的设置，能对信号针21起到更好的保护作用，防止信号针21由于弯折或其他误操作导致信号针21和铜管23短路。
[0026]在一些实施例中，还包括铜片24和屏蔽针25，所述铜片24连接所述屏蔽针25和所述铜管23，所述屏蔽针25一端通过所述铜片24和铜管23连接，另一端和地线连接，铜管23因屏蔽信号针21产生的信号能依次通过铜片24、屏蔽针25、地线传输到地面。
[0027]参见附图1
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3所示，在一些实施例中，还包括树脂固定块3，所述树脂固定块3用于对信号针21进行支撑和固定，所述树脂固定块3包括第一树脂固定块31，所述第一树脂固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种悬臂式探针卡，其特征在于，包括探针组件(2)和高频SMA接头(5)，所述探针组件(2)和高频SMA接头(5)可拆卸连接，所述探针组件(2)包括信号针(21)和铜管(23)，所述铜管(23)套设在所述信号针(21)上，所述信号针(21)和铜管(23)之间设置有绝缘层(22)，并且绝缘层(22)套设在信号针(21)上。2.根据权利要求1所述的一种悬臂式探针卡，其特征在于，还包括金属装配板(1)，所述高频SMA接头(5)设置在所述金属装配板上方，并和所述金属装配板(1)可拆卸连接；所述探针组件(2)设置在所述金属装配板的下方，并和所述金属装配板(1)可拆卸连接。3.根据权利要求1所述的一种悬臂式探针卡，其特征在于，所述绝缘层(22)相对铜管(23)，设置有轴向向外延伸的凸出部(221)。4.根据权利要求2所述的一种悬臂式探针卡，其特征在于，所述探针组件(2)还包括铜片(24)和屏蔽针(25)，所述铜片(24)连接所述屏蔽针(25)和所述铜管(23)，所述屏蔽针(25)一端通过所述铜片(24)和铜管(23)连接，另一端和地...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋元芬，
申请(专利权)人：苏州矽利康测试系统有限公司，
类型：新型
国别省市：