【技术实现步骤摘要】
本技术涉及cis探针卡，尤其涉及用于cis探针卡的镜头调节装置和cis探针卡。
技术介绍
1、cis(cmos imagesensor，cmos图像传感器)芯片在制备完成后需要对其进行测试评估后才能进入正常使用环节,cis芯片的测试通常采用cis探针卡。现有cis探针卡，需要调校镜头的安装位置和安装高度，来实现光源产生的光线透过镜头折射后的光线投影到被测芯片感光区域上的面域和光心一致。
2、现有方式为单镜头本体安装，参见附图1所示，现有的cis探针卡中，在探针测试头载板1’上开设有螺纹孔，镜头本体4’外设是有与螺纹孔匹配的外螺纹，通过外螺纹与螺纹孔的螺纹连接，实现镜头本体4’与探针测试头载板1’的固定。当需要调节镜头本体的位置时，转动镜头本体，镜头本体相对探针测试头载板上下移动，此时镜头本体与位于探针测试头载板上方的光源之间的距离改变，通过镜头本体的折射后投影到下方被测芯片感光区域的光域大小不一致，进而影响芯片测试。但这种仅靠螺纹孔的调节结构，可调整的幅度非常小，只能实现粗放性调校，精度有限，无法满足测试需求。一旦需要大幅调整，探针卡的探针测试头载板也得跟随性重新制作，增加制作成本和装配，调校时间。
技术实现思路
1、为克服上述缺点，本技术的目的在于提供用于cis探针卡的镜头调节装置，镜头的调节范围大，精度高，满足测试需求。
2、为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：用于cis探针卡的镜头调节装置，放置在探针测试头载板上，所述探针测试头载板上开设有多个第
3、镜头框，所述镜头框能抵靠在探针测试头载板上端面，或位于所述探针测试头载板上方并与探针测试头载板之间的间距可调；
4、镜头套，所述镜头套与镜头框螺纹连接以相对所述镜头框上下移动；
5、镜头本体，所述镜头本体与镜头框固定连接并穿设在第一螺纹孔内，所述镜头本体上还设置有与第一螺纹孔螺纹连接的第一外螺纹。
6、本技术的有益效果在于：
7、一、镜头组件采用分体结构，安装方便。
8、二、镜头组件可以和现有技术一样，转动镜头组件整体，通过第一螺纹孔和第一外螺纹的配合调节镜头本体的位置；通过螺纹连接的镜头框、镜头套，当镜头套相对螺纹框转动时，可以调节镜头本体的位置；通过调节镜头框与探针测试头载板之间间距可调，调节镜头本体的位置。这三种调节镜头本体的调节距离可叠加，也就是增大了最终镜头可调节的距离，实现了镜头的大幅调整，满足了测试需求。
9、三、镜头组件形成独立装置，可根据测试情况而单独定制镜头框和镜头套，修改时不会牵扯其它物件，节约成本。
10、进一步来说，所述镜头框上开设有第二螺纹孔，所述镜头套上设置还有与第二螺纹孔螺纹连接的第二外螺纹，所述第一外螺纹和第二外螺纹的螺旋线方向和螺距相同。这样当转动镜头套，通过第二外螺纹和第二螺纹孔配合移动镜头套的位置时，镜头本体同样可以在第一螺纹孔内移动，实现镜头本体最终的位置调整。
11、进一步来说，所述镜头框与探针测试头载板之间能放置不同厚度的垫片。通过不同垫片的放置，调节镜头框与探针测试头载板的间距。当然也可不放置垫片，此时镜头框直接与探针测试头载板抵靠。
12、进一步来说，所述镜头套自其上端面向下开设有多个凹槽。凹槽为施力点，便于施力，转动镜头套。
13、进一步来说，所述凹槽设置于四个，四个所述凹槽成十字分布。这样十字螺丝到刚好卡入十字分布的凹槽内，转动镜头套。
14、进一步来说，所述镜头套包括圆筒状结构的连接部和固定在连接部下端的固定部，所述固定部为水平放置的圆环结构，所述圆环结构和圆筒结构同轴设置，所述第二外螺纹设置在连接部上，所述镜头本体与固定部固定连接。固定部增大了与镜头本体的接触面积，提高了两者固定的稳定性，圆环结构和圆筒结构同轴便于光线穿过。
15、进一步来说，所述镜头本体与固定部胶粘固定，实现快速固定。
16、本技术还公开一种cis探针卡，包括上述的镜头调节装置，还包括：
17、pcb板，固定在所述探针测试头载板上方，所述pcb板上形成有若干与第一螺纹孔对应的沉头孔，所述镜头框限定在所述沉头孔内；
18、光圈架，被限制在所述pcb板上，所述光圈架上具有供光线透过的调节孔，所述调节孔正对于所述沉头孔；
19、光源灯，所述光源灯能够垂直向所述调节孔发射垂直光线。
20、cis探针卡可满足不同光照要求的芯片的测试，兼容性高。
21、进一步来说，每个所述镜头框上方均放置有一个匀光片，所述匀光片位于沉头孔内。光源灯发射的光线可通过匀光片匀光后照射到镜头组件上。
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1.用于CIS探针卡的镜头调节装置，放置在探针测试头载板上，所述探针测试头载板上开设有多个第一螺纹孔，其特征在于：所述镜头调节装置包括与第一螺纹孔对应设置的镜头组件，每个所述镜头组件均包括
2.根据权利要求1所述的用于CIS探针卡的镜头调节装置，其特征在于：所述镜头框上开设有第二螺纹孔，所述镜头套上设置还有与第二螺纹孔螺纹连接的第二外螺纹，所述第一外螺纹和第二外螺纹的螺旋线方向和螺距相同。
3.根据权利要求1所述的用于CIS探针卡的镜头调节装置，其特征在于：所述镜头框与探针测试头载板之间能放置不同厚度的垫片。
4.根据权利要求1所述的用于CIS探针卡的镜头调节装置，其特征在于：所述镜头套自其上端面向下开设有多个凹槽。
5.根据权利要求4所述的用于CIS探针卡的镜头调节装置，其特征在于：所述凹槽设置于四个，四个所述凹槽成十字分布。
6.根据权利要求2所述的用于CIS探针卡的镜头调节装置，其特征在于：所述镜头套包括圆筒状结构的连接部和固定在连接部下端的固定部，所述固定部为水平放置的圆环结构，所述圆环结构和圆筒结构同轴设置，所
7.根据权利要求6所述的用于CIS探针卡的镜头调节装置，其特征在于：所述镜头本体与固定部胶粘固定。
8.一种CIS探针卡，其特征在于：包括权利要求1-7任一所述的镜头调节装置，还包括
9.根据权利要求8所述的CIS探针卡，其特征在于：每个所述镜头框上方均放置有一个匀光片，所述匀光片位于沉头孔内。
...【技术特征摘要】
1.用于cis探针卡的镜头调节装置，放置在探针测试头载板上，所述探针测试头载板上开设有多个第一螺纹孔，其特征在于：所述镜头调节装置包括与第一螺纹孔对应设置的镜头组件，每个所述镜头组件均包括
2.根据权利要求1所述的用于cis探针卡的镜头调节装置，其特征在于：所述镜头框上开设有第二螺纹孔，所述镜头套上设置还有与第二螺纹孔螺纹连接的第二外螺纹，所述第一外螺纹和第二外螺纹的螺旋线方向和螺距相同。
3.根据权利要求1所述的用于cis探针卡的镜头调节装置，其特征在于：所述镜头框与探针测试头载板之间能放置不同厚度的垫片。
4.根据权利要求1所述的用于cis探针卡的镜头调节装置，其特征在于：所述镜头套自其上端面向下开设有多个凹槽。
5.根据权利要求4所...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄培培，
申请(专利权)人：苏州矽利康测试系统有限公司，
类型：新型
国别省市：
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