高速巨量晶粒转移设备制造技术

技术编号:32961626 阅读:6 留言:0更新日期:2022-04-07 13:05
本实用新型专利技术公开了一种高速巨量晶粒转移设备,包括有机架、控制器、蓝膜入料机构、蓝膜载台机构、顶针机构、蓝膜入料手臂机构、蓝膜换取机构、玻璃载台机构、玻璃翻转机构、玻璃入料手臂机构以及CCD检测机构;通过设置有顶针机构,以及顶针机构设置在机架上并上下来回活动于蓝膜固定夹具的正下方,使之通过顶针机构将蓝膜中的晶粒转移到玻璃上,针刺的方式相较于传统地摆臂和真空吸取的方式,晶粒转移的效率更高,能满足当前生产的需求,并配合CCD检测机构设s置在玻璃载台机构上,使得在进行晶粒转移时能对晶粒的位置进行检测,检测是否有残缺不良的晶粒,避免将不合格的晶粒转移到玻璃上,保证了产品质量的稳定性。保证了产品质量的稳定性。保证了产品质量的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
高速巨量晶粒转移设备


[0001]本技术涉及晶粒转移设备领域技术,尤其是指一种高速巨量晶粒转移设备。

技术介绍

[0002]随着Mini LED显示技术的迅速发展,Mini LED显示产品已开始应用于超大屏高清显示,如监控指挥、高清演播、高端影院、医疗诊断、广告显示、会议会展、办公显示、虚拟现实等商用领域。Mini LED显示器生产过程中往往需要将晶圆上的晶粒转移到基板上。
[0003]现有的晶粒转移设备中一般采用摆臂和真空吸取的方式进行晶粒转移,作业时下方顶针将需要摆放的晶粒顶起(顶针盖采用真空将wafer蓝膜吸住,顶针从中间顶针孔将晶粒顶起脱离wafer蓝膜),安装好吸嘴的摆臂利用真空将顶起的晶粒进行吸附,然后吹气放置在放置端的蓝膜上,这种晶粒转移的方式效率较低,不能满足当前的生产要求,且无法对转移的晶粒进行检测,产品的质量也无法得到保证,因此,有必要对现有的晶粒转移设备作出进一步的改进。

技术实现思路

[0004]有鉴于此,本技术针对现有技术存在之缺失,其主要目的是提供一种高速巨量晶粒转移设备,其能有效解决现有之晶粒转移设备转移效率低,无法满足生产需求以及产品质量难以保证的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术采用如下之技术方案:
[0006]一种高速巨量晶粒转移设备,包括有机架、控制器、蓝膜入料机构、蓝膜载台机构、顶针机构、蓝膜入料手臂机构、蓝膜换取机构、玻璃载台机构、玻璃翻转机构、玻璃入料手臂机构以及CCD检测机构;
[0007]该控制器设置在机架上;该蓝膜入料机构设置在机架上并连接控制器;该蓝膜载台机构设置在机架上并位于蓝膜入料机构的侧旁,蓝膜载台机构连接控制器,该蓝膜载台机构上具有蓝膜固定夹具;该顶针机构设置在机架上并上下来回活动于蓝膜固定夹具的正下方,顶针机构连接控制器;该蓝膜入料手臂机构设置在机架上并来回活动于蓝膜入料机构和蓝膜载台机构之间,蓝膜入料手臂机构连接控制器;该蓝膜换取机构可横向来回活动地设置在机架上并位于蓝膜载台机构的上方,蓝膜换取机构连接控制器;该玻璃载台机构设置在机架上并连接控制器,该玻璃载台机构位于蓝膜载台机构的正上方;该玻璃翻转机构设置在机架上并连接控制器;该玻璃入料手臂机构设置在机架上并来回活动于玻璃翻转机构和玻璃载台机构之间,玻璃入料手臂机构连接控制器;该CCD检测机构设置在机架上并位于玻璃载台机构的上方,CCD检测机构连接控制器。
[0008]作为一种优选方案,所述蓝膜载台机构为横向间隔排布的三个,对应的,该玻璃载台机构和CCD检测机构均为横向间隔排布的三个。
[0009]作为一种优选方案,所述机架上包括有工作台和设置于工作台上的龙门架;该蓝膜入料机构、蓝膜载台机构、顶针机构以及蓝膜入料手臂机构均设置在工作台上,该蓝膜换
取机构、玻璃载台机构、玻璃翻转机构、玻璃入料手臂机构和CCD检测机构均设置在龙门架上。
[0010]作为一种优选方案,所述机架上还设置有两除静电机构,该两除静电机构分别设置在龙门架的左右两侧。
[0011]作为一种优选方案,所述蓝膜入料机构为两个,其分别设置在机架的左右两侧。
[0012]作为一种优选方案,所述机架上设置有第一滑轨,该蓝膜入料手臂机构设置在第一滑轨上并沿着第一滑轨横向来回活动,蓝膜入料手臂机构上设置有第一驱动机构,该第一驱动机构带动蓝膜入料手臂机构沿着第一滑轨横向来回活动。
[0013]作为一种优选方案,所述机架上还设置有第二滑轨和第二驱动机构,该蓝膜换取机构设置在第二滑轨上并沿着第二滑轨横向来回活动,该第二驱动机构带动蓝膜换取机构横向来回活动,第二驱动机构连接控制器。
[0014]作为一种优选方案,所述玻璃载台机构上设置有玻璃固定夹具,玻璃固定夹具设置在蓝膜固定夹具的正上方。
[0015]作为一种优选方案,所述玻璃翻转机构包括有翻转架、玻璃翻转夹具以及第三驱动机构,该翻转架设置在机架上,该玻璃翻转夹具可来回翻转地设置在翻转架上;该第三驱动机构设置在翻转架上并带动玻璃翻转夹具来回翻转,第三驱动机构连接控制器。
[0016]作为一种优选方案,所述玻璃入料手臂机构包括有活动架、玻璃入料机械臂以及第四驱动机构;该活动架横向延伸地设置于机架上,该玻璃入料机械臂可横向来回活动地设置在活动架上,该第四驱动机构设置在机架上并带动玻璃入料机械臂横向来回活动,第四驱动机构连接控制器。
[0017]本技术与现有技术相比具有明显的优点和有益效果,具体而言,由上述技术方案可知:
[0018]通过设置有顶针机构,以及顶针机构设置在机架上并上下来回活动于蓝膜固定夹具的正下方,使之通过顶针机构将蓝膜中的晶粒转移到玻璃上,针刺的方式相较于传统地摆臂和真空吸取的方式,晶粒转移的效率更高,能满足当前生产的需求,并配合CCD检测机构设置在玻璃载台机构上,使得在进行晶粒转移时能对晶粒的位置进行检测,检测是否有残缺不良的晶粒,避免将不合格的晶粒转移到玻璃上,保证了产品质量的稳定性。
[0019]为更清楚地阐述本技术的结构特征和功效,下面结合附图与具体实施例来对本技术进行详细说明。
附图说明
[0020]图1是本技术之较佳实施例的立体结构示意图;
[0021]图2是本技术之较佳实施例的局部组装示意图;
[0022]图3是本技术之较佳实施例另一角度的局部组装示意图;
[0023]图4是本技术之较佳实施例又一角度的局部组装示意图;
[0024]图5是本技术之较佳实施例的另一局部组装示意图。
[0025]附图标识说明:
[0026]a、机架
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10a、工作台
[0027]20a、龙门架
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30a、除静电机构
[0028]40a、第一滑轨
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50a、第二滑轨
[0029]60a、第二驱动机构
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b、控制器
[0030]C、蓝膜入料机构
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d、蓝膜载台机构
[0031]10d、蓝膜固定夹具
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e、顶针机构
[0032]f、蓝膜入料手臂机构
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10f、第一驱动机构
[0033]g、蓝膜换取机构
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h、玻璃载台机构
[0034]10h、玻璃固定夹具
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i、玻璃翻转机构
[0035]10i、翻转架
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20i、玻璃翻转夹具
[0036]30i、第三驱动机构
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j、玻璃入料手臂机构
[0037]10本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高速巨量晶粒转移设备,其特征在于:包括有机架、控制器、蓝膜入料机构、蓝膜载台机构、顶针机构、蓝膜入料手臂机构、蓝膜换取机构、玻璃载台机构、玻璃翻转机构、玻璃入料手臂机构以及CCD检测机构;该控制器设置在机架上;该蓝膜入料机构设置在机架上并连接控制器;该蓝膜载台机构设置在机架上并位于蓝膜入料机构的侧旁,蓝膜载台机构连接控制器,该蓝膜载台机构上具有蓝膜固定夹具;该顶针机构设置在机架上并上下来回活动于蓝膜固定夹具的正下方,顶针机构连接控制器;该蓝膜入料手臂机构设置在机架上并来回活动于蓝膜入料机构和蓝膜载台机构之间,蓝膜入料手臂机构连接控制器;该蓝膜换取机构可横向来回活动地设置在机架上并位于蓝膜载台机构的上方,蓝膜换取机构连接控制器;该玻璃载台机构设置在机架上并连接控制器,该玻璃载台机构位于蓝膜载台机构的正上方;该玻璃翻转机构设置在机架上并连接控制器;该玻璃入料手臂机构设置在机架上并来回活动于玻璃翻转机构和玻璃载台机构之间,玻璃入料手臂机构连接控制器;该CCD检测机构设置在机架上并位于玻璃载台机构的上方,CCD检测机构连接控制器。2.根据权利要求1所述的高速巨量晶粒转移设备,其特征在于:所述蓝膜载台机构为横向间隔排布的三个,对应的,该玻璃载台机构和CCD检测机构均为横向间隔排布的三个。3.根据权利要求1所述的高速巨量晶粒转移设备,其特征在于:所述机架上包括有工作台和设置于工作台上的龙门架;该蓝膜入料机构、蓝膜载台机构、顶针机构以及蓝膜入料手臂机构均设置在工作台上,该蓝膜换取机构、玻璃载台机构、玻璃翻转机构、玻璃入料手臂机构和CCD检测机构均设置在龙门架上。4.根据权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员:邱国诚周峻民李浩然赖远军
申请(专利权)人:东莞市德镌精密设备有限公司
类型:新型
国别省市:

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