本实用新型专利技术涉及热氧化装置技术领域，具体揭示了一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置，包括热氧化装置主体、注氧机、进气口、出气孔、固定架、第一连接板、加热器和多个支撑柱，所述热氧化装置主体的两侧均开设有通口，所述固定架设置于热氧化装置主体的底部。通过第一连接板、金属网、第二齿轮盘以及金属杆与热氧化装置主体之间的连接关系设计，使得工作人员可将待氧化处理的硅片依次利用两个金属网分别进行加工处理，使其工作人员在利用该装置对上一批硅片进行处理过程中，将下一批待处理的硅片置于另一个滤网内，便于再一次的加工处理，从而使得该热氧化装置对批量硅片的氧化加工处理的效率更高。工处理的效率更高。工处理的效率更高。
【技术实现步骤摘要】
一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置
[0001]本技术涉及热氧化装置
，具体涉及了一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置。
技术介绍
[0002]硅片是制作集成电路的重要材料，通过硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，目前常用硅片来制作芯片，在利用硅片制作芯片的过程中，其热氧化是一项重要工艺，将硅片在高温环境中与氧气接触反应，能时硅片表面获得性能优良的天然二氧化硅层，该氧化层在MOSFET中被用作栅绝缘层，也可作为器件之间隔离的场氧化层，从而在生产制作的过程中，需要利用到热氧化装置对其进行加工处理，但是，传统的热氧化装置在进行使用时，对其硅片的放置取拿操作过于繁琐，导致批量硅片的氧化加工操作效率较为低下，不利于高效硅片氧化加工处理，因此，有必要设计一款用于光通信设备中的硅片热氧化装置，从而来解决上述所提到的问题。
技术实现思路
[0003]针对现有技术的不足，本技术提供一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置，具备等对批量硅片加工效率更高优点，解决了传统热氧化装置对硅片放置或取拿操作过于繁琐而造成加工效率较低的问题。
[0004]本技术的用于光通信设备中的硅片热氧化装置，包括热氧化装置主体、注氧机、进气口、出气孔、固定架、第一连接板、加热器和多个支撑柱，所述热氧化装置主体的两侧均开设有通口，所述固定架设置于热氧化装置主体的底部，所述固定架的内部安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端设有第一锥形轮盘，所述固定架的两侧均贯穿插接有连接杆，两个所述连接杆的相对面均设有与第一锥形轮盘相啮合的第二锥形轮盘，两个所述连接杆相远离的一端均设有第一齿轮盘，所述第一连接板的两侧均开设有转动槽且设有两个通过通口突出至热氧化装置主体外侧的金属杆，多个所述金属杆之间均设有表面开设有开口的金属网，多个所述金属杆远离第一连接板的一端均设有第二齿轮盘。
[0005]通过上述技术方案设计，使得批量硅片加工操作过程可循环进行，从而更有利于批量硅片的高效加工。
[0006]作为本技术的进一步设计，所述第一连接板的两侧以及两个第二齿轮盘的相对面均沿环形设有橡胶圈，多个所述橡胶圈分别与热氧化装置主体的表面紧密贴合。
[0007]通过上述技术方案设计，可实现对热氧化装置主体的表面所开设开口的密封效果，防止大量热气或氧气飘散至外界而影响硅片加工处理效果的情况出现。
[0008]作为本技术的进一步设计，靠近所述热氧化装置主体内壁顶部的两个金属杆的表面均开设有通槽，所述金属杆的内部通过通槽滑动连接有弧形挡板，两个所述弧形挡板分别与金属网所开设开口的位置相对应。
[0009]通过上述技术方案设计，可实现对金属网所开设开口的封闭效果，防止金属网在
转动过程中部分硅片通过开口掉出。
[0010]作为本技术的进一步设计，所述金属杆的表面且靠近所开设通槽的位置处开设有第一凹槽，所述金属杆的内部且靠近所开设第一凹槽的位置处设有与弧形挡板紧密贴合的橡胶垫。
[0011]通过上述技术方案设计，可实现对弧形挡板的限制效果，防止弧形挡板随意转动的情况出现。
[0012]作为本技术的进一步设计，所述弧形挡板的表面且靠近端面的位置处均一体成型有凸起，所述凸起的表面开设有第二凹槽。
[0013]通过上述技术方案设计，可实现对弧形挡板的限制效果，防止弧形挡板与金属杆之间意外掉落。
[0014]作为本技术的进一步设计，所述热氧化装置主体的两侧均设有螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺母，两个所述螺母的相对面均开设滑槽且转动连接有第二连接板。
[0015]通过上述技术方案设计，可实现对对应一侧的第二齿轮盘的限制效果，防止在对硅片进行加工处理的过程中左右滑动的情况出现。
[0016]作为本技术的进一步设计，所述第二连接板的顶部一体成型有凸板，所述凸板的侧面贯穿开设有插槽，所述热氧化装置主体的两侧均设有突出至凸板所开设插槽内的插杆。
[0017]通过上述技术方案设计，可实现对第二连接板的限制效果，防止第二连接板在第二齿轮盘的摩擦带动下随意转动。
[0018]作为本技术的进一步设计，多个所述支撑柱之间均沿水平纵向设有第三连接板，所述第三连接板相远离的一侧设有凸杆所述凸杆远离第三连接板的一端设有位于第二齿轮盘外侧的限位框。
[0019]通过上述技术方案设计，可实现对第一齿轮盘的遮挡效果，防止在进行硅片取出或放置时意外与旋转过程中的第一齿轮盘接触导致负伤的情况出现。
[0020]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0021]1、本技术，通过第一连接板、金属网、第二齿轮盘以及金属杆与热氧化装置主体之间的连接关系设计，使得工作人员可将待氧化处理的硅片依次利用两个金属网分别进行加工处理，使其工作人员在利用该装置对上一批硅片进行处理过程中，将下一批待处理的硅片置于另一个滤网内，便于再一次的加工处理，从而使得该热氧化装置对批量硅片的氧化加工处理的效率更高。
[0022]2、本技术，通过螺纹杆、螺母和第二连接板的位置结构设计，可利用第二连接板对对应一侧的第二齿轮盘进行限制处理，防止随意滑动位移的情况出现，通过凸板和插杆的位置结构设计，可实现对第二连接板的限位效果，防止第二齿轮盘在进行转动的过程中带动第二连接板随意转动的情况出现。
附图说明
[0023]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0024]图1为本技术正视剖面结构示意图；
[0025]图2为本技术正视结构示意图；
[0026]图3为本技术螺母与第二连接板的连接关系结构示意图；
[0027]图4为本技术图1中A处放大结构示意图。
[0028]图中：1、热氧化装置主体；2、支撑柱；3、注氧机；4、进气口；5、出气孔；6、固定架；7、驱动电机；8、第一锥形轮盘；9、连接杆；10、第二锥形轮盘；11、第一齿轮盘；12、第一连接板；13、金属杆；14、金属网；15、弧形挡板；16、凸起；17、橡胶垫；18、橡胶圈；19、加热器；20、螺纹杆；21、螺母；22、第二连接板；23、凸板；24、插杆；25、第二齿轮盘；26、第三连接板；27、凸杆；28、限位框。
具体实施方式
[0029]以下将以图式揭露本技术的多个实施方式，为明确说明起见，许多实物上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实物上的细节不应用以限制本技术。也就是说，在本技术的部分实施方式中，这些实物上的细节是非必要的。此外，为简化图式起见，一些习知惯用的结构与组件在图式中将以简单的示意的方式绘示之。
[0030]另外，在本技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本技术，其仅仅是为了区别以相同技术用语本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置，包括热氧化装置主体(1)、注氧机(3)、进气口(4)、出气孔(5)、固定架(6)、第一连接板(12)、加热器(19)和多个支撑柱(2)，其特征在于：所述热氧化装置主体(1)的两侧均开设有通口；所述固定架(6)设置于热氧化装置主体(1)的底部，所述固定架(6)的内部安装有驱动电机(7)，所述驱动电机(7)的输出端设有第一锥形轮盘(8)，所述固定架(6)的两侧均贯穿插接有连接杆(9)，两个所述连接杆(9)的相对面均设有与第一锥形轮盘(8)相啮合的第二锥形轮盘(10)，两个所述连接杆(9)相远离的一端均设有第一齿轮盘(11)；所述第一连接板(12)的两侧均开设有转动槽且设有两个通过通口突出至热氧化装置主体(1)外侧的金属杆(13)，多个所述金属杆(13)之间均设有表面开设有开口的金属网(14)，多个所述金属杆(13)远离第一连接板(12)的一端均设有第二齿轮盘(25)。2.根据权利要求1所述的一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置，其特征在于：所述第一连接板(12)的两侧以及两个第二齿轮盘(25)的相对面均沿环形设有橡胶圈(18)，多个所述橡胶圈(18)分别与热氧化装置主体(1)的表面紧密贴合。3.根据权利要求1所述的一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置，其特征在于：靠近所述热氧化装置主体(1)内壁顶部的两个金属杆(13)的表面均开设有通槽，所述金属杆(13)的内部通过通槽滑动连接有弧形挡板(15)，两个所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王海蓉，赵静梅，李敏，杨勇，
申请(专利权)人：云南开放大学云南国防工业职业技术学院，
类型：新型
国别省市：
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