多回转中心自转镀膜转架制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，提出了多回转中心自转镀膜转架，包括用于设置在镀膜室上的回转机构和设置在回转机构上的自主轴，回转机构包括驱动件和公转盘，自主轴设置公转盘上，跟随公转盘转动，回转机构还包括自转动轮和固定轮，自转动轮设置在自主轴上，固定轮设置在镀膜室内，通过固定轮和自转动轮配合，自转动轮带动自主轴自转。通过上述技术方案，解决了现有技术中的回转机构回转中心转动和镀膜不均匀问题。镀膜不均匀问题。镀膜不均匀问题。

【技术实现步骤摘要】
多回转中心自转镀膜转架


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体的，涉及多回转中心自转镀膜转架。

技术介绍

[0002]真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等。它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。镀件镀膜时，镀件跟随回转结构进行转动，然后在镀件上形成一层薄膜。
[0003]现有技术中，回转机构是带动镀件围绕回转中心旋转，且只有一个回转中心，镀件一直保持一种方向，这样就造成了在镀膜时镀件靠近喷射口的一面镀层较厚，远离喷射口的一面镀层较薄，最后形成的镀膜不均匀。

技术实现思路

[0004]本技术提出多回转中心自转镀膜转架，解决了相关技术中的镀件只能围绕回转机构回转中心转动和镀膜不均匀问题。
[0005]本技术的技术方案如下：
[0006]多回转中心自转镀膜转架，包括用于设置在镀膜室上的回转机构和设置在所述回转机构上的自主轴，所述回转机构包括驱动件和公转盘，所述自主轴设置在所述公转盘上，跟随所述公转盘转动，所述回转机构还包括
[0007]自转动轮，设置在所述自主轴上，
[0008]固定轮，设置在所述镀膜室内，通过所述固定轮和所述自转动轮配合，所述自转动轮带动所述自主轴自转。
[0009]作为进一步的技术方案，所述自转动轮和所述固定轮位于所述公转盘上方，所述公转盘的主轴穿过所述固定轮，所述自转动轮和所述固定轮相互啮合。
[0010]作为进一步的技术方案，还包括
[0011]固定件，设置在所述镀膜室上，所述固定轮通过所述固定件设置在所述镀膜室内，所述主轴穿过所述固定件。
[0012]作为进一步的技术方案，所述固定轮具有两层，上层为大轮，下层为小轮，所述自转动轮分层布置，与所述大轮和所述小轮分别对应布置。
[0013]作为进一步的技术方案，还包括
[0014]从动轮，设置在所述主轴上，
[0015]主动轮，设置在所述驱动件驱动端，所述主动轮与所述从动轮啮合配合，所述驱动件通过所述主动轮与所述从动轮带动所述主轴转动。
[0016]作为进一步的技术方案，还包括
[0017]屏蔽罩，通过紧固件固定在所述公转盘上，所述公转盘位于所述屏蔽罩内，所述自主轴穿过所述屏蔽罩。
[0018]作为进一步的技术方案，所述屏蔽罩为多块屏蔽板组成，所述屏蔽板通过所述紧固件固定在所述公转盘上，所述屏蔽板具有半圆槽，每两个所述屏蔽板组成一个通孔，所述自主轴穿过所述通孔。
[0019]本技术的工作原理及有益效果为：
[0020]真空镀膜时在真空状态下在镀件上镀上一层薄膜，现有技术中镀件跟随回转机构在镀膜室内旋转，工作气体通过电离布满整个镀膜室内，在镀件上形成一层镀膜，因为镀件只能跟随回转机构围绕回转中心转动，远离回转中心的一些镀膜厚度比靠近回转中心的一侧后，造成镀膜不均匀。
[0021]本技术中，解决思路是自转动轮设置在自主轴上，固定轮设置在镀膜时内，自转动轮和固定轮相互配合，公转盘带动主轴转动时，自转动轮围绕固定轮转动，在相互作用力下，自转动轮自转，自转动轮带动自转轴自转，形成多自转中心转动。
[0022]具体的是回转机构设置在镀膜室内，回转机构包括驱动件和公转盘，驱动件驱动公转盘转动，自主轴设置在公转盘上，跟随公转盘转动，自主轴用于固定镀膜件，自转动轮设置在自主轴上，固定轮设置在镀膜室内，固定轮与自转动轮相互配合，公转盘带动自主轴转动时，自转动轮围绕固定轮转动，在相互作用力下，自转动轮在围绕固定轮转动时，自转动轮自转，自转动轮带动自主轴自转，镀膜件在围绕公转盘中心转动同时，镀膜件自转，形成双自传中心多自传轴行星齿轮传动，可以保证在镀膜时，镀膜件每一面接触的工作气体浓度都一样，镀膜均匀。
附图说明
[0023]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0024]图1为本技术结构示意图；
[0025]图2为本技术固定轮结构示意图；
[0026]图3为本技术屏蔽板结构示意图；
[0027]图中：1、镀膜室，2、回转机构，3、自主轴，4、驱动件，5、公转盘，6、自转动轮，7、固定轮，8、主轴，9、屏蔽罩，10、紧固件，11、屏蔽板，12、固定件，13、从动轮，14、主动轮。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都涉及本技术保护的范围。
[0029]如图1～图3所示，本实施例提出了
[0030]多回转中心自转镀膜转架，包括用于设置在镀膜室1上的回转机构2和设置在回转机构2上的自主轴3，回转机构2包括驱动件4和公转盘5，自主轴3设置在公转盘5上，跟随公转盘5转动，回转机构2还包括
[0031]自转动轮6，设置在自主轴3上，
[0032]固定轮7，设置在镀膜室1内，通过固定轮7和自转动轮6配合，自转动轮6带动自主轴3自转。
[0033]真空镀膜时在真空状态下在镀件上镀上一层薄膜，现有技术中镀件跟随回转机构在镀膜室内旋转，工作气体通过电离布满整个镀膜室内，在镀件上形成一层镀膜，因为镀件只能跟随回转机构围绕回转中心转动，远离回转中心的一些镀膜厚度比靠近回转中心的一侧后，造成镀膜不均匀。
[0034]本实施例中，解决思路是自转动轮设置在自主轴上，固定轮设置在镀膜时内，自转动轮和固定轮相互配合，公转盘带动自主轴转动时，自转动轮围绕固定轮转动，在相互作用力下，自转动轮自转，自转动轮带动自主轴自转。
[0035]具体的是回转机构2设置在镀膜室1内，回转机构包括驱动件4和公转盘5，驱动件4驱动公转盘5转动，自主轴3设置在公转盘5上，跟随公转盘5转动，自主轴3用于固定镀膜件，自转动轮6设置在自主轴3上，固定轮7设置在镀膜室1内，固定轮7与自转动轮6相互配合，公转盘5带动自主轴3转动时，自转动轮6围绕固定轮7转动，在相互作用力下，自转动轮6在围绕固定轮7转动时，自转动轮6自转，自转动轮6带动自主轴3自转，镀膜件在围绕公转盘5中心转动同时，镀膜件自转，形成双自传中心多自传轴行星齿轮传动，可以保证在镀膜时，镀膜件每一面接触的工作气体浓度都一样，镀膜均匀。
[0036]进一步，自转动轮6和固定轮7位于公转盘5上方，公转盘5的主轴8穿过固定轮7，自转动轮6和固定轮7相互啮合。
[0037]本实施例中，提供了一种自本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.多回转中心自转镀膜转架，包括用于设置在镀膜室(1)上的回转机构(2)和设置在所述回转机构(2)上的自主轴(3)，所述回转机构(2)包括驱动件(4)和公转盘(5)，所述自主轴(3)设置在所述公转盘(5)上，跟随所述公转盘(5)转动，其特征在于，所述回转机构(2)还包括自转动轮(6)，设置在所述自主轴(3)上，固定轮(7)，设置在所述镀膜室(1)内，通过所述固定轮(7)和所述自转动轮(6)配合，所述自转动轮(6)带动所述自主轴(3)自转。2.根据权利要求1所述的多回转中心自转镀膜转架，其特征在于，所述自转动轮(6)和所述固定轮(7)位于所述公转盘(5)上方，所述公转盘(5)的主轴(8)穿过所述固定轮(7)，所述自转动轮(6)和所述固定轮(7)相互啮合。3.根据权利要求2所述的多回转中心自转镀膜转架，其特征在于，还包括固定件(12)，设置在所述镀膜室(1)上，所述固定轮(7)通过所述固定件(12)设置在所述镀膜室(1)内，所述主轴(8)穿过所述固定件(12)。4.根据权利要求1所述的多回转中...

【专利技术属性】
技术研发人员：李飞，李兰仿，李兰民，
申请(专利权)人：遵化市超越钛金设备有限公司，
类型：新型
国别省市：