一种高真空组合密封式镀膜弓形门制造技术

本实用新型专利技术涉及密封机构技术领域，提出了一种高真空组合密封式镀膜弓形门，包括门体和密封结构，密封结构与门体接触，密封结构包括第一密封档条、第二密封档条和密封条，第一密封档条设置在门框上，第二密封档条设置在门框上，第一密封档条与第二密封档条之间形成密封空间，密封条具有弯曲部和固定部，固定部位于密封空间内，门体作用弯曲部的一侧使弯曲部的另一侧与第二密封条接触，通过上述技术方案，解决了现有技术中的密封效果差，密封条不易更换的问题。换的问题。换的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种高真空组合密封式镀膜弓形门


[0001]本技术涉及密封机构
，具体的，涉及一种高真空组合密封式镀膜弓形门。

技术介绍

[0002]PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类：真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜。物理气相沉积的主要方法有：真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜和分子束外延等。相应的真空镀膜设备包括真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机。
[0003]在溅射镀膜时，罐体内需要保持真空环境，因此罐体受到大气压力非常大，因此罐体的密封非常重要，而罐体主要需要密封的为门处的密封，一般的密封方式无法达到有效的密封，很容易出现泄压现象，这在本行业中也是一大难题。
[0004]因此我们亟需一种方案来解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术提出一种高真空组合密封式镀膜弓形门，解决了相关技术中密封效果差，密封条不易更换的问题。
[0006]本技术的技术方案如下：
[0007]一种高真空组合密封式镀膜弓形门，包括，
[0008]门体，
[0009]密封结构，所述密封机构与所述门体接触，所述密封结构包括，
[0010]第一密封档条，所述第一密封档条设置在门框上，
[0011]第二密封档条，所述第二密封档条设置在门框上，所述第一密封档条与所述第二密封档条之间形成密封空间，
[0012]密封条，所述密封条具有弯曲部和固定部，所述固定部位于所述密封空间内，所述门体作用所述弯曲部的一侧使所述弯曲部的另一侧与所述第二密封档条接触。
[0013]作为进一步技术方案，所述第二密封档条顶部的位置低于所述第一密封档条顶部的位置。
[0014]作为进一步技术方案，所述第二密封档条位于大气侧。
[0015]作为进一步技术方案，所述固定部与所述第一密封档条和所述第二密封档条的接触面均为第一斜面，所述第一密封档条和所述第二密封档条与所述密封条的接触面为第二斜面，所述第二斜面作用所述第一斜面阻挡所述密封条脱离所述密封空间。
[0016]作为进一步技术方案，所述第一密封档条和所述第二密封档条均具有螺纹孔，所述第一密封档条与所述第二密封档条通过螺栓连接。
[0017]作为进一步技术方案，所述门体的横截面为弧形。
[0018]作为进一步技术方案，还包括，还包括移动合页，所述门体与所述移动合页铰接，
所述移动合页沿门框的大气侧到真空侧的方向滑动设置在门框上，所述移动合页滑动带动所述门体与门框配合。
[0019]作为进一步技术方案，所述门体的大气侧具有若干加强筋。
[0020]作为进一步技术方案，还包括视镜，所述视镜设置在所述门体上，位于所述门体的大气侧。
[0021]本技术的工作原理及有益效果为：
[0022]本技术中，一种高真空组合密封式镀膜弓形门，包括门体和密封结构，密封结构与门体接触，密封结构包括第一密封档条、第二密封档条和密封条，第一密封档条设置在门框上，第二密封档条设置在门框上，第一密封档条与第二密封档条之间形成密封空间，密封条具有弯曲部和固定部，固定部位于密封空间内，门体作用弯曲部的一侧使弯曲部的另一侧与第二密封条接触，
[0023]工作时，本门体不限于适用于罐体上，罐体的内侧为真空侧，外侧为大气侧，门体靠近门框，门体的真空侧与密封条的弯曲部接触，作用弯曲部进行弯曲，弯曲部向第二密封档条弯曲，第一密封档条与第二密封档条具有高度差，弯曲部弯曲至高度差形成的空间内，实现密封，
[0024]有益效果，通过设置密封条的弯曲部弯曲从而实现密封，增加密封条与门体的接触面积，比传统的O型密封条密封效果更好，可以增加密封效果，通过设置密封条与门体接触，还可减少门体与门框之间的作用，密封条还可以实现缓冲效果，减少作用力，增加门体的稳定性，通过第一密封档条与第二密封档条来固定密封条，可以避免密封条固定在门框上，需要在门框上打孔的加工难度，节约成本。
附图说明
[0025]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0026]图1为本技术门体结构示意图；
[0027]图2为本技术密封机构结构示意图；
[0028]图3为本技术密封条结构示意图；
[0029]图中：1、门体，2、密封结构，21、第一密封档条，22、第二密封档条，221、螺纹孔，23、密封空间，24、密封条，241、弯曲部，242、固定部，243、第一斜面，25、第二斜面，3、移动合页，11、加强筋，5、视镜。
具体实施方式
[0030]下面将结合本技术实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都涉及本技术保护的范围。
[0031]如图1～图3所示，本实施例提出了一种高真空组合密封式镀膜弓形门，包括，
[0032]门体1，
[0033]密封结构2，所述密封机构与所述门体1接触，所述密封结构2包括，
[0034]第一密封档条21，所述第一密封档条21设置在门框上，
[0035]第二密封档条22，所述第二密封档条22设置在门框上，所述第一密封档条21与所述第二密封档条22之间形成密封空间23，
[0036]密封条24，所述密封条24具有弯曲部241和固定部242，所述固定部242位于所述密封空间23内，所述门体1作用所述弯曲部241的一侧使所述弯曲部241的另一侧与所述第二密封档条22接触。
[0037]本实施例中，一种高真空组合密封式镀膜弓形门，包括门体1和密封结构2，密封结构2与门体1接触，密封结构2包括第一密封档条21、第二密封档条22和密封条24，第一密封档条21设置在门框上，第二密封档条22设置在门框上，第一密封档条21与第二密封档条22之间形成密封空间23，密封条24具有弯曲部241和固定部242，固定部242位于密封空间23内，门体1作用弯曲部241的一侧使弯曲部241的另一侧与第二密封条24接触，
[0038]工作时，本门体1不限于适用于罐体上，罐体的内侧为真空侧，外侧为大气侧，门体1靠近门框，门体1的真空侧与密封条24的弯曲部241接触，作用弯曲部241进行弯曲，弯曲部241向第二密封档条22弯曲，第一密封档条21与第二密封档条22具有高度差，弯曲部241弯曲至高度差形成的空间内，实现密封，
[0039]通过设置密封条24的弯曲部241弯曲从而实现密封，可以增加密封效果，通过设置密封条24与门体1接触，还可减少门体1与门框之间的作用，密封条24还可以实现缓冲效果，减少作用力，增加门体1的稳定性。
[0040]进一步，所述第二密封档条22顶部的位置低于所述第一密封档条21顶部的位置。
[0041]本实施例中，第二密封本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高真空组合密封式镀膜弓形门，其特征在于，包括，门体(1)，密封结构(2)，所述密封结构(2)与所述门体(1)接触，所述密封结构(2)包括，第一密封档条(21)，所述第一密封档条(21)用于设置在门框上，第二密封档条(22)，所述第二密封档条(22)用于设置在门框上，所述第一密封档条(21)与所述第二密封档条(22)之间形成密封空间(23)，密封条(24)，所述密封条(24)具有弯曲部(241)和固定部(242)，所述固定部(242)位于所述密封空间(23)内，所述门体(1)作用所述弯曲部(241)的一侧使所述弯曲部(241)的另一侧与所述第二密封档条(22)接触。2.根据权利要求1所述的一种高真空组合密封式镀膜弓形门，其特征在于，所述第二密封档条(22)顶部的位置低于所述第一密封档条(21)顶部的位置。3.根据权利要求2所述的一种高真空组合密封式镀膜弓形门，其特征在于，所述第二密封档条(22)位于大气侧。4.根据权利要求1所述的一种高真空组合密封式镀膜弓形门，其特征在于，所述固定部(242)与所述第一密封档条(21)和所述第二密封档条(22)的接触面均为第一斜面(243)，所述第一密封档条(21...

【专利技术属性】
技术研发人员：李龙，李飞，李兰民，
申请(专利权)人：遵化市超越钛金设备有限公司，
类型：新型
国别省市：