机械手装置和清洗设备制造方法及图纸

本申请提出了一种机械手装置和清洗设备，属于半导体清洗设备技术领域。机械手装置包括：机械手；拖链，设于机械手的一侧；以及线槽组件，设于拖链的底部，线槽组件包括：槽体；以及多个线槽盖板，线槽盖板与槽体可装卸地连接，沿槽体长度方向，多个线槽盖板依次设置，与槽体合围出线缆通道。通过本申请的技术方案，保护了机械手走线不被损坏，并可任意拆卸线槽盖板维护机械手及线路，提高了维修的便利性。提高了维修的便利性。提高了维修的便利性。

【技术实现步骤摘要】
机械手装置和清洗设备


[0001]本申请属于半导体清洗设备
，具体涉及一种机械手装置和清洗设备。

技术介绍

[0002]在现有半导体晶圆槽式湿法清洗设备中，机械手线槽一般在机械手底部，利用机械手与底板间的缝隙走线，难以维护且维护风险较高。机械手一般都是依靠设在设备上的导轨，通过电机驱动齿轮与导轨啮合从而在设备中移动。在机械手移动的过程中不可避免的电机的供电电线需要跟随机械手在设备内移动，但是一个设备中往往不止一个机械手，为了走线方便它们共用一条主线路，各种线束容易纠缠打结，供电线容易被损坏。

技术实现思路

[0003]根据本申请的实施例旨在至少改善现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
[0004]有鉴于此，根据本申请的实施例的一个目的在于提供一种机械手装置。
[0005]根据本申请的实施例的另一个目的在于提供一种清洗设备。
[0006]为了实现上述目的，根据本申请第一方面的技术方案提供了一种机械手装置，包括：机械手；拖链，设于机械手的一侧；以及线槽组件，设于拖链的底部，线槽组件包括：槽体；以及多个线本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手装置，其特征在于，包括：机械手(100)；拖链(200)，设于所述机械手(100)的一侧；以及线槽组件(300)，设于所述拖链(200)的底部，所述线槽组件(300)包括：槽体；以及多个线槽盖板(320)，所述线槽盖板(320)与所述槽体可装卸地连接，沿所述槽体长度方向，多个所述线槽盖板(320)依次设置，与所述槽体合围出线缆通道。2.根据权利要求1所述的机械手装置，其特征在于，所述槽体包括底板(330)、第一侧板(340)和第二侧板(350)，所述第一侧板(340)和所述第二侧板(350)间隔设于所述底板(330)上，所述线槽盖板(320)分别与所述第一侧板(340)和所述第二侧板(350)可装卸地连接。3.根据权利要求2所述的机械手装置，其特征在于，所述槽体还包括：多个第一通孔(360)，所述第一通孔(360)设置在所述第一侧板(340)上；所述第一侧板(340)位于所述第二侧板(350)靠近所述机械手(100)的一侧。4.根据权利要求3所述的机械手装置，其特征在于，所述第一侧板(340)设有一开口。5.根据权利要求4所述的一种机械手装置，其特征在于，所述机械手装置还包括：维护盖...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，龚泽熙，李雄朋，庄海云，
申请(专利权)人：创微微电子常州有限公司，
类型：新型
国别省市：