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本申请提出了一种机械手装置和清洗设备，属于半导体清洗设备技术领域。机械手装置包括：机械手；拖链，设于机械手的一侧；以及线槽组件，设于拖链的底部，线槽组件包括：槽体；以及多个线槽盖板，线槽盖板与槽体可装卸地连接，沿槽体长度方向，多个线槽盖板依...
该专利属于创微微电子（常州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过创微微电子（常州）有限公司授权不得商用。

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