生产安全运维监控管理系统技术方案

本发明专利技术涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种生产安全运维监控管理系统，包括多个单机附属设备，以及数据链路整合设备和集控管理设备，每个单机附属设备均与数据链路整合设备连接，数据链路整合设备与集控管理设备连接。通过数据链路整合设备将各个单机附属设备的不同数据链路进行整合，并且通过集控管理设备对数据链路整合设备整合的数据进行分析处理，可实现单机附属设备的集中监控、自动巡检和健康监测等。降低单机分散设备的运行风险。从网络架构、数据采集、软件设计及数据上传等不同层面，建立了一套安全、可靠系统，即满足单机附属设备的运维管理，又可实现工厂统一化、智能化管理。管理。管理。

【技术实现步骤摘要】
生产安全运维监控管理系统


[0001]本专利技术涉及半导体生产
，尤其涉及一种生产安全运维监控管理系统。

技术介绍

[0002]半导体的附属设备，可广泛应用在CVD/PVD/ETCH/DIFF等半导体制程中，目前此类设备特点为体积小、分布分散、数量多、多为单机控制，而且现有的半导体制程中的单机附属设备一般无集中监控，对单机附属设备的工作运行的维护就需要大量的人力巡检，无形中增加了运维成本，而随着工厂统一化、智能化管理的发展需求，对附属设备的集中管控需求已势在必行。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供一种生产安全运维监控管理系统，用以解决现有技术中现有的半导体制程中的单机附属设备一般无集中监控，对单机附属设备的工作运行的维护就需要大量的人力巡检，无形中增加了运维成本的缺陷，实现节省巡检人力，提前预警，降低单机分散设备的运行风险。从网络架构、数据采集、软件设计及数据上传等不同层面，建立了一套安全、可靠系统，确保系统实现实时监控、预警预判、对比分析及数据上传等各项功能，即满足单机附属设备的运维管理，又可实现工厂统一化、智能化管理的效果。
[0004]本专利技术提供一种生产安全运维监控管理系统，包括多个单机附属设备，以及数据链路整合设备和集控管理设备，每个所述单机附属设备均与所述数据链路整合设备连接，所述数据链路整合设备与所述集控管理设备连接。
[0005]根据本专利技术提供的一种生产安全运维监控管理系统，所述数据链路整合设备包括交换机和采集服务器，每个所述单机附属设备均通过所述交换机与所述采集服务器连接。
[0006]根据本专利技术提供的一种生产安全运维监控管理系统，每个所述单机附属设备通过以太网与所述交换机连接。
[0007]根据本专利技术提供的一种生产安全运维监控管理系统，所述交换机通过IOServer驱动器与所述采集服务器连接。
[0008]根据本专利技术提供的一种生产安全运维监控管理系统，所述数据链路整合设备还包括数据存储器，所述数据存储器与所述采集服务器连接。
[0009]根据本专利技术提供的一种生产安全运维监控管理系统，所述集控管理设备包括管理监控模块和分析预警模块，所述管理监控模块用于数据链路整合设备整合的数据进行管理和监控，所述分析预警模块用于对数据链路整合设备整合的数据进行分析处理和检测预警。
[0010]根据本专利技术提供的一种生产安全运维监控管理系统，还包括上层设备，所述上层设备与集控管理设备连接。
[0011]根据本专利技术提供的一种生产安全运维监控管理系统，所述集控管理设备通过SECS/GEM转发工具与所述上层设备连接。
[0012]本专利技术提供的生产安全运维监控管理系统，能实现在CVD/PVD/ETCH/DIFF等半导体制程中，半导体温控、废气处理、加热带、泵等单机附属设备的安全运维监控及管理，可广泛应用。针对附属设备体积小、分布分散、数量多、多为单机控制的特点，通过数据链路整合设备将各个单机附属设备的不同数据链路进行整合，并且通过集控管理设备对数据链路整合设备整合的数据进行分析处理，可实现单机附属设备的集中监控、自动巡检和健康监测等。本专利技术由此可实现分散式的单机附属设备工厂智能化集中管控的需求，实现分散单机附属设备集中全面监控，既节省巡检人力，又可提前预警，降低单机分散设备的运行风险。从网络架构、数据采集、软件设计及数据上传等不同层面，建立了一套安全、可靠系统，确保系统实现实时监控、预警预判、对比分析及数据上传等各项功能，即满足单机附属设备的运维管理，又可实现工厂统一化、智能化管理。
[0013]除了上面所描述的本专利技术解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外，本专利技术的其他技术特征及这些技术特征带来的优点，将结合附图作出进一步说明，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1是本专利技术提供的生产安全运维监控管理系统的结构示意图；
[0016]图2是本专利技术提供的生产安全运维监控管理系统的数据链路整合设备的结构示意图；
[0017]图3是本专利技术提供的生产安全运维监控管理系统的集控管理设备的结构示意图；
[0018]图4是本专利技术提供的生产安全运维监控管理系统的SECS/GEM转发工具的结构示意图；
[0019]附图标记：
[0020]100、单机附属设备；
[0021]200、数据链路整合设备；210、交换机；220、采集服务器；
[0022]300、集控管理设备；310、管理监控模块；320、分析预警模块；
[0023]400、上层设备；500、SECS/GEM转发工具。
具体实施方式
[0024]下面结合附图和实施例对本专利技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不能用来限制本专利技术的范围。
[0025]在本专利技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而
不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0026]在本专利技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术实施例中的具体含义。
[0027]在本专利技术实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0028]此外，在本专利技术实施例的描述中，除非另有说明，“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上，“若干个”、“若干根”、“若干组”的含义是一个或一个以上。
[0029]在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种生产安全运维监控管理系统，其特征在于：包括多个单机附属设备，以及数据链路整合设备和集控管理设备，每个所述单机附属设备均与所述数据链路整合设备连接，所述数据链路整合设备与所述集控管理设备连接。2.根据权利要求1所述的生产安全运维监控管理系统，其特征在于：所述数据链路整合设备包括交换机和采集服务器，每个所述单机附属设备均通过所述交换机与所述采集服务器连接。3.根据权利要求2所述的生产安全运维监控管理系统，其特征在于：每个所述单机附属设备通过以太网与所述交换机连接。4.根据权利要求2所述的生产安全运维监控管理系统，其特征在于：所述交换机通过IOServer驱动器与所述采集服务器连接。5.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓尉，李文博，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：