一种探针卡压力测试机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种探针卡压力测试机，包括基座，所述基座上设置有驱动气缸，所述驱动气缸的活塞杆与测试基板连接，所述测试基板上所述测试基板上放置有被测产品，所述基座上还设置有压力传感器，所述测试基板能通过驱动气缸驱动其带动被测产品做靠近或远离压力传感器的运动，所述压力传感器与显示屏电连接，所述显示屏位于基座一侧，提高压力测试的高效性及稳定性。性及稳定性。性及稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡压力测试机


[0001]本技术涉及探针卡检测领域，尤其涉及一种探针卡压力测试机。

技术介绍

[0002]探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，传输信号对芯片参数进行测试。
[0003]探针卡包括基板和设置基板上的探针，探针卡使用时，探针要与待测芯片抵靠，当压力过大时，容易导致产品的损坏，当压力过小时，电性能测试不准确，因此探针卡在出厂时需要保证探针的压力均匀，对探针的压力检测至关重要。

技术实现思路

[0004]为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种提高压力测试的高效性及稳定性的探针卡压力测试机。
[0005]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：一种探针卡压力测试机，包括基座，所述基座上设置有驱动气缸，所述驱动气缸的活塞杆与测试基板连接，所述测试基板上放置有被测产品，所述基座上还设置有压力传感器，所述测试基板能通过驱动气缸驱动其带动被测产品做靠近或远离压力传感器的运动，所述压力传感器与显示屏电连接，所述显示屏位于基座一侧。
[0006]进一步地，所述基座上设置有支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针卡压力测试机，包括基座(1)，其特征在于：所述基座(1)上设置有驱动气缸(2)，所述驱动气缸(2)的活塞杆与测试基板(3)连接，所述测试基板(3)上放置有被测产品(4)，所述基座(1)上还设置有压力传感器(5)，所述测试基板(3)能通过驱动气缸(2)驱动其带动被测产品(4)做靠近或远离压力传感器(5)的运动，所述压力传感器(5)与显示屏(6)电连接，所述显示屏(6)位于基座(1)一侧。2.根据权利要求1所述的一种探针卡压力测试机，其特征在于：所述基座(1)上设置有支撑杆(13)，所述支撑杆(13)与电子千分尺(7)底部连接，所述测试基板(3)一侧位于电子千分尺(7)的测试区域内。3.根据权利要求1所述的一种探针卡压力测试机，其特征在于：所述测试基板(3)由移动板(31)和两个相向设置的夹板(32)组成，所述移动板(31)上开设有让位槽(33)且让位槽(33)位于压力传感器(5)上方，两个所述夹板(32)分别通过螺栓与移动板(31)连接并位于让位槽(33)两侧，所述夹板(32)上沿长度设置有限位槽(34)且限位槽(34)位于两个夹板...

【专利技术属性】
技术研发人员：张卫勇，钟志宏，
申请(专利权)人：苏州光和精密测试有限公司，
类型：新型
国别省市：