一种探针卡压力测试机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种探针卡压力测试机，包括基座，所述基座上设置有驱动气缸，所述驱动气缸的活塞杆与测试基板连接，所述测试基板上所述测试基板上放置有被测产品，所述基座上还设置有压力传感器，所述测试基板能通过驱动气缸驱动其带动被测产品做靠近或远离压力传感器的运动，所述压力传感器与显示屏电连接，所述显示屏位于基座一侧，提高压力测试的高效性及稳定性。性及稳定性。性及稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡压力测试机


[0001]本技术涉及探针卡检测领域，尤其涉及一种探针卡压力测试机。

技术介绍

[0002]探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，传输信号对芯片参数进行测试。
[0003]探针卡包括基板和设置基板上的探针，探针卡使用时，探针要与待测芯片抵靠，当压力过大时，容易导致产品的损坏，当压力过小时，电性能测试不准确，因此探针卡在出厂时需要保证探针的压力均匀，对探针的压力检测至关重要。

技术实现思路

[0004]为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种提高压力测试的高效性及稳定性的探针卡压力测试机。
[0005]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：一种探针卡压力测试机，包括基座，所述基座上设置有驱动气缸，所述驱动气缸的活塞杆与测试基板连接，所述测试基板上放置有被测产品，所述基座上还设置有压力传感器，所述测试基板能通过驱动气缸驱动其带动被测产品做靠近或远离压力传感器的运动，所述压力传感器与显示屏电连接，所述显示屏位于基座一侧。
[0006]进一步地，所述基座上设置有支撑杆，所述支撑杆与电子千分尺底部连接，所述测试基板一侧位于电子千分尺的测试区域内。
[0007]进一步地，所述测试基板由移动板和两个相向设置的夹板组成，所述移动板上开设有让位槽且让位槽位于压力传感器上方，两个所述夹板分别通过螺栓与移动板连接并位于让位槽两侧，所述夹板上沿长度设置有限位槽且限位槽位于两个夹板相向一侧，所述限位槽的尺寸与被测产品相匹配。
[0008]进一步地，所述限位槽内沿长度设置有滑轨。
[0009]进一步地，所述压力传感器与基座之间还设置有XY向调整装置，所述XY 向调整装置由从下到上依次放置的下调整块、X向调整块、Y向调整块和上调整块组成，所述下调整块和上调整块分别与基座和压力传感器连接，所述X向调整块与螺旋测微X向调整器连接，所述下调整块与螺旋测微Y向调整器连接。
[0010]进一步地，所述上调整块上设置有X向定位块，所述螺旋测微X向调整器的端部位于X向定位块一侧。
[0011]进一步地，所述Y向调整块上设置有Y向定位块，所述螺旋测微Y向调整器的端部位于Y向定位块一侧。
[0012]本技术与现有技术相比，其有益效果在于：
[0013]1、通过驱动气缸驱动测试基板带动放置有探针卡的被测产品做靠近压力传感器的运动，实现对探针的高效压力测试；
[0014]2、通过设置电子千分尺实现对测试基板高度移动数据的实时观测，提高测试稳定性，通过设置限位槽及其上的滑轨，提高被测产品放置的便利性及稳定性；
[0015]3、通过设置XY向调整装置，实现对压力传感器小范围的位置调整。
附图说明
[0016]图1为本技术的结构示意图；
[0017]图2为XY向调整装置的结构示意图；
[0018]图3为XY向调整装置的结构示意图。
[0019]图中：
[0020]1‑
基座；2
‑
驱动气缸；3
‑
测试基板；31
‑
移动板；32
‑
夹板；33
‑
让位槽；34
‑ꢀ
限位槽；35
‑
滑轨；4
‑
被测产品；5
‑
压力传感器；6
‑
显示屏；7
‑
电子千分尺；8
‑
XY 向调整装置；81
‑
下调整块；82
‑
X向调整块；83
‑
Y向调整块；84
‑
上调整块；9
‑ꢀ
螺旋测微X向调整器；10
‑
螺旋测微Y向调整器；11
‑
X向定位块；12
‑
Y向定位块；13
‑
支撑杆。
具体实施方式
[0021]下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0022]参见附图1
‑
3所示，一种探针卡压力测试机，包括基座1，基座1上设置有驱动气缸2，驱动气缸2的活塞杆与测试基板3连接，基座1上设置有支撑杆 13，支撑杆13与电子千分尺7底部连接，测试基板3一侧位于电子千分尺7的测试区域内，测试基板3由移动板31和两个相向设置的夹板32组成，移动板 31上开设有让位槽33且让位槽33位于压力传感器5上方，两个夹板32分别通过螺栓与移动板31连接并位于让位槽33两侧，夹板32上沿长度设置有限位槽 34且限位槽34位于两个夹板32相向一侧，限位槽34的尺寸与被测产品4相匹配，限位槽34内沿长度设置有滑轨35，
[0023]基座1上还设置有压力传感器5，测试基板3能通过驱动气缸2驱动其带动被测产品4做靠近或远离压力传感器5的运动，压力传感器5与显示屏6电连接，显示屏6位于基座1一侧，压力传感器5与基座1之间还设置有XY向调整装置8，XY向调整装置8由从下到上依次放置的下调整块81、X向调整块82、Y 向调整块83和上调整块84组成，下调整块81和上调整块84分别与基座1和压力传感器5连接，X向调整块82与螺旋测微X向调整器9连接，下调整块81 与螺旋测微Y向调整器10连接，上调整块84上设置有X向定位块11，螺旋测微X向调整器9的端部位于X向定位块11一侧，Y向调整块83上设置有Y向定位块12，螺旋测微Y向调整器10的端部位于Y向定位块12一侧，通过移动螺旋测微X向调整器9，带动其上的压力传感器5进行X向移动，并能通过X向定位块11进行测距，通过移动螺旋测微Y向调整器12，带动其上的压力传感器5 进行Y向移动，并能通过Y向定位块12进行测距。
[0024]工作原理：将放置有探针卡的被测产品4放入限位槽34内，通过驱动气缸 2驱动测试基板3带动被测产品4做靠近压力传感器5的运动，实现探针卡的探针下压，并能通过压力传感器5和显示屏6配合达到实时观测压力数据的效果，同时电子千分尺7能够实时观测高度移动的数据。
[0025]以上实施方式只为说明本技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本技术的内容并加以实施，并不能以此限制本技术的保护范围，凡根据本技术精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针卡压力测试机，包括基座(1)，其特征在于：所述基座(1)上设置有驱动气缸(2)，所述驱动气缸(2)的活塞杆与测试基板(3)连接，所述测试基板(3)上放置有被测产品(4)，所述基座(1)上还设置有压力传感器(5)，所述测试基板(3)能通过驱动气缸(2)驱动其带动被测产品(4)做靠近或远离压力传感器(5)的运动，所述压力传感器(5)与显示屏(6)电连接，所述显示屏(6)位于基座(1)一侧。2.根据权利要求1所述的一种探针卡压力测试机，其特征在于：所述基座(1)上设置有支撑杆(13)，所述支撑杆(13)与电子千分尺(7)底部连接，所述测试基板(3)一侧位于电子千分尺(7)的测试区域内。3.根据权利要求1所述的一种探针卡压力测试机，其特征在于：所述测试基板(3)由移动板(31)和两个相向设置的夹板(32)组成，所述移动板(31)上开设有让位槽(33)且让位槽(33)位于压力传感器(5)上方，两个所述夹板(32)分别通过螺栓与移动板(31)连接并位于让位槽(33)两侧，所述夹板(32)上沿长度设置有限位槽(34)且限位槽(34)位于两个夹板...

【专利技术属性】
技术研发人员：张卫勇，钟志宏，
申请(专利权)人：苏州光和精密测试有限公司，
类型：新型
国别省市：