一种探针卡电动磨针机制造技术

技术编号:32684930 阅读:10 留言:0更新日期:2022-03-17 11:44
本实用新型专利技术公开了一种探针卡电动磨针机,包括基板,基板上设置水平驱动组件,水平驱动组件能驱动水平打磨板水平移动,水平打磨板上设置砂纸,基板上还通过丝杆组件设置竖直升降组件,丝杆组件与水平驱动组件垂直,二者处于同一平面,所述竖直升降组件能沿丝杆组件的轴向方向进行移动,竖直升降组件包括升降板,升降板上设置加工孔,加工孔内供探针卡放置,位于砂纸正上方,探针卡通过两个千分尺滑台设置在加工孔内,千分尺滑台夹持探针卡,并能使探针卡在竖直方向移动,并在移动的过程中,使探针卡的探针与砂纸接触。实现高质量低成本的探针打磨,为实验室中探针的研发提供了方便,降低了成本。低了成本。低了成本。

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡电动磨针机


[0001]本技术涉及探针加工领域,尤其涉及一种探针卡电动磨针机。

技术介绍

[0002]随着半导体行业的飞速发展,芯片越来越小,其上面的引脚也越来越小,因此需要越来越精密的探针进行性能测试。但是,目前的探针在实验室研发过程中,进行高精度的研磨时,大多采用手动的,其效率低下,或者需要使用大型的自动化设备进行研磨,但是其成本极高,不利于小规模使用或在实验室中使用,大大增加了实验室中探针研发过程中的难度。
[0003]因此本技术专利技术人,针对上述技术问题,旨在专利技术一种探针卡电动磨针机。

技术实现思路

[0004]为克服上述缺点,本技术的目的在于提供一种探针卡电动磨针机。
[0005]为了达到以上目的,本技术采用的技术方案是:一种探针卡电动磨针机,包括基板,所述基板上设置水平驱动组件,所述水平驱动组件能驱动水平打磨板水平移动,所述水平打磨板上设置砂纸,且所述基板上还通过丝杆组件设置竖直升降组件,所述丝杆组件与水平驱动组件垂直,且二者处于同一平面,并在丝杆组件的作用下,所述竖直升降组件能沿丝杆组件的轴向方向进行移动,所述竖直升降组件包括升降板,所述升降板上设置加工孔,且所述加工孔内供探针卡放置,且位于所述砂纸正上方,同时所述探针卡通过两个千分尺滑台设置在加工孔内,且所述千分尺滑台夹持探针卡,并能使探针卡在竖直方向移动,并在移动的过程中,使探针卡的探针与砂纸接触。
[0006]千分尺滑台具体为Z轴位移平台千分尺微调精密滑台,保证探针在竖直方向的移动能精密的控制,精确度能达到1um。
[0007]优选地,所述水平驱动组件包括驱动伺服电机,所述驱动伺服电机与驱动板连接,所述驱动板上还偏心转动设置连杆,且所述连杆还与水平滑块连接,所述水平滑块套设在水平导轨上。即驱动板会绕着驱动伺服电机的工作轴进行旋转,偏心设置的连杆能进行摆动,并在摆动的过程中,拉动水平滑块沿水平滑轨的方向进行往复移动,即实现磨针过程的往复移动。
[0008]优选地,所述水平打磨板位于丝杆组件上方,且在丝杆组件的移动板的上方设置垫轨,所述垫轨能支撑水平打磨板。即垫轨能保证水平打磨板尽可能保持水平,方便砂纸的打磨效果。
[0009]优选地,所述丝杆组件包括丝杆电机,所述丝杆电机连接滚珠丝杆,所述滚珠丝杆上套设丝杆螺母,所述丝杆螺母设置在移动板的下方,且所述移动板上设置竖直升降组件。即丝杆组件能实现竖直升降组件的移动,继而保证砂纸对探针的打磨效果。
[0010]优选地,所述移动板的下方和基板之间还设置移动轨道和移动块,所述移动块套设在移动轨道上,且所述移动轨道与滚珠丝杆平行。即保证了移动板在移动过程的稳定,而
且可以在滚珠丝杆的两侧对称设置两组。
[0011]优选地,所述升降板通过立柱设置在移动板上方,且二者平行。即保证升降板的下方具有间隙,方便打磨的进行。
[0012]本技术一种探针卡电动磨针机的有益效果是,通过水平驱动组件的设置,保证了砂纸能往复进行移动,同时利用竖直升降组件使探针与砂纸接触,并对探针进行打磨,打磨一定时间后,通过丝杆组件进行移动,继而保证探针打磨的范围,实现高质量低成本的探针打磨,为实验室中探针的研发提供了方便,降低了成本。
附图说明
[0013]图1为探针卡电动磨针机的结构示意图。
[0014]图2为水平驱动组件的示意图。
[0015]图3为竖直升降组件的示意图。
[0016]图4为丝杆组件的部分示意图。
[0017]图中:
[0018]1、基板,2、水平驱动组件,3、水平打磨板,4、砂纸,5、丝杆组件,6、竖直升降组件,7、垫轨,8、立柱,
[0019]21、驱动伺服电机,22、驱动板,23、连杆,24、水平滑块,25、水平导轨,
[0020]51、移动板,52、丝杆电机,53、滚珠丝杆,54、丝杆螺母,55、移动轨道,56、移动块,
[0021]61、升降板,62、加工孔,63、千分尺滑台。
具体实施方式
[0022]下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述,以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0023]参见附图1

4所示,本实施例中的一种探针卡电动磨针机,包括基板1,基板1上设置水平驱动组件2,水平驱动组件2能驱动水平打磨板3水平移动,水平打磨板3上设置砂纸4,且基板1上还通过丝杆组件5设置竖直升降组件6,丝杆组件5与水平驱动组件2垂直,且二者处于同一平面,并在丝杆组件5的作用下,竖直升降组件6能沿丝杆组件5的轴向方向进行移动,竖直升降组件6包括升降板61,升降板61上设置加工孔62,且加工孔62内供探针卡放置,且位于砂纸4正上方,同时探针卡通过两个千分尺滑台63设置在加工孔62内,且千分尺滑台63夹持探针卡,并能使探针卡在竖直方向移动,并在移动的过程中,使探针卡的探针与砂纸4接触。
[0024]千分尺滑台63具体为Z轴位移平台千分尺微调精密滑台,保证探针在竖直方向的移动能精密的控制,精确度能达到1um。
[0025]水平驱动组件2包括驱动伺服电机21,驱动伺服电机21与驱动板22连接,驱动板22上还偏心转动设置连杆23,且连杆23还与水平滑块24连接,水平滑块24套设在水平导轨25上。即驱动板22会绕着驱动伺服电机21的工作轴进行旋转,偏心设置的连杆23能进行摆动,并在摆动的过程中,拉动水平滑块24沿水平滑轨的方向进行往复移动,即实现磨针过程的往复移动。
[0026]水平打磨板3位于丝杆组件5上方,且在丝杆组件5的移动板51的上方设置垫轨7,垫轨7能支撑水平打磨板3。即垫轨7能保证水平打磨板3尽可能保持水平,方便砂纸4的打磨效果。
[0027]丝杆组件5包括丝杆电机52,丝杆电机52连接滚珠丝杆53,滚珠丝杆53上套设丝杆螺母54,丝杆螺母54设置在移动板51的下方,且移动板51上设置竖直升降组件6。即丝杆组件5能实现竖直升降组件6的移动,继而保证砂纸4对探针的打磨效果。
[0028]移动板51的下方和基板1之间还设置移动轨道55和移动块56,移动块56套设在移动轨道55上,且移动轨道55与滚珠丝杆53平行。即保证了移动板51在移动过程的稳定,而且可以在滚珠丝杆53的两侧对称设置两组。
[0029]升降板61通过立柱8设置在移动板51上方,且二者平行。即保证升降板61的下方具有间隙,方便打磨的进行。
[0030]一种探针卡电动磨针机的有益效果是,通过水平驱动组件2的设置,保证了砂纸4能往复进行移动,同时利用竖直升降组件6使探针与砂纸4接触,并对探针进行打磨,打磨一定时间后,通过丝杆组件5进行移动,继而保证探针打磨的范围,实现高质量低成本的探针打磨,为实验室中探针的研发提供了方便,降低了成本。
[0031]以上实施方式只为说明本技术的技术构思及特点,其目的在于让熟悉本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针卡电动磨针机,其特征在于:包括基板(1),所述基板(1)上设置水平驱动组件(2),所述水平驱动组件(2)能驱动水平打磨板(3)水平移动,所述水平打磨板(3)上设置砂纸(4),且所述基板(1)上还通过丝杆组件(5)设置竖直升降组件(6),所述丝杆组件(5)与水平驱动组件(2)垂直,且二者处于同一平面,并在丝杆组件(5)的作用下,所述竖直升降组件(6)能沿丝杆组件(5)的轴向方向进行移动,所述竖直升降组件(6)包括升降板(61),所述升降板(61)上设置加工孔(62),且所述加工孔(62)内供探针卡放置,且位于所述砂纸(4)正上方,同时所述探针卡通过两个千分尺滑台(63)设置在加工孔(62)内,且所述千分尺滑台(63)夹持探针卡,并能使探针卡在竖直方向移动,并在移动的过程中,使探针卡的探针与砂纸(4)接触。2.根据权利要求1所述的一种探针卡电动磨针机,其特征在于:所述水平驱动组件(2)包括驱动伺服电机(21),所述驱动伺服电机(21)与驱动板(22)连接,所述驱动板(22)上还偏心转动设置连杆(23),且所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:张卫勇钟志宏
申请(专利权)人:苏州光和精密测试有限公司
类型:新型
国别省市:

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