【技术实现步骤摘要】
一种探针的磨针装置
[0001]本申请涉及剖面电阻量测探针的磨针领域,尤其是涉及一种探针的磨针装置。
技术介绍
[0002]现有的剖面电阻量测探针的磨针方法,采用的是需将探针安装与量测台进行磨针,进行磨针的人员无法观测到针头的状态,易对针头的造成过度磨损,且无法控制针头锋利度。
技术实现思路
[0003]有鉴于此,本申请提供一种探针的磨针装置,解决了现有技术中的问题,在打磨过程中更加方便的观测到磨针时针头的状态和锋利度。
[0004]本申请提供的一种探针的磨针装置采用如下的技术方案:
[0005]一种探针的磨针装置,包括底座和探针安装组件,所述底座上设有外露的研磨台,所述探针安装组件位于所述研磨台上方,所述探针安装组件包括移动组件、探针固定部和探针,所述探针安装于所述探针固定部上,所述移动组件驱动探针固定部靠近和远离所述研磨台。
[0006]可选的,还包括支架,所述支架从所述底座延伸至研磨台上方,所述支架于研磨台上方与探针安装组件连接。
[0007]可选的,所述移动组件包括伸缩部和 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种探针的磨针装置,其特征在于,包括底座和探针安装组件,所述底座上设有外露的研磨台,所述探针安装组件位于所述研磨台上方,所述探针安装组件包括移动组件、探针固定部和探针,所述探针安装于所述探针固定部上,所述移动组件驱动探针固定部靠近和远离所述研磨台。2.根据权利要求1所述的探针的磨针装置,其特征在于,还包括支架,所述支架从所述底座延伸至研磨台上方,所述支架于所述研磨台上方与所述探针安装组件连接。3.根据权利要求2所述的探针的磨针装置,其特征在于,所述移动组件包括伸缩部和转动部,所述转动部的输出端连接探针固定部和探针,带动所述探针周向转动,所述转动部固定在伸缩部的输出端,所述伸缩部带动所述转动部、探针固定部和探针靠近和远离所述研磨台。4.根据权利要求3所述的探针的磨针装置,其特征在于,所述伸缩部为气缸或电缸,所述气缸或电缸的伸缩轴连接所述转动部。5.根据权利要求2所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:严颖杰,权爱春,周晓磊,林志鑫,
申请(专利权)人:上海新昇半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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