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本申请提供了一种探针的磨针装置，属于剖面电阻量测探针的磨针技术领域，具体包括底座和探针安装组件，所述底座上设有外露的研磨台，所述探针安装组件位于所述研磨台上方，所述探针安装组件包括移动组件、探针固定部和探针，所述探针安装于所述探针固定部上，...
该专利属于上海新昇半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新昇半导体科技有限公司授权不得商用。

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