一种探针卡电蚀刻治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种探针卡电蚀刻治具，包括底板和背板，所述背板固定安装在底板的顶部，所述底板的顶部设有固定机构，所述固定机构用于对探针卡进行固定，所述背板的顶部设有电蚀机构，所述电蚀机构用于对探针卡针尖进行加工，所述固定机构包括固定座、夹板、螺纹通孔、螺纹杆和转动手轮，所述固定座固定安装在底板的顶部，所述固定座左右两侧均开设有螺纹通孔，本实用新型专利技术中，通过设置的固定机构能够在电蚀的过程中对探针卡进行夹持固定，避免电蚀加工时探针卡位置发生偏移，通过设置的电蚀机构能够对探针卡针尖进行涂刷式电蚀加工，提高了电蚀精度，减少了电蚀液的浪费。减少了电蚀液的浪费。减少了电蚀液的浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡电蚀刻治具


[0001]本技术涉及探针卡
，尤其涉及一种探针卡电蚀刻治具。

技术介绍

[0002]探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试。
[0003]探针卡主要目的是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程。因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一
[0004]探针卡在加工完成后存在针尖过大的问题，需要使用电蚀的方式将探针卡针尖加工成符合标准的大小，人们在电蚀探针卡针尖时，通常会采用浸泡的方式来电蚀探针卡针尖，但是往往由于控制不好时机，导致探针卡针尖被过度腐蚀，造成探针卡针尖报废的情况时有发生，且浸泡的方法电蚀探针卡针尖，所需的电蚀液数量大，比较浪费，为此，我们提出一种探针卡电蚀刻治具解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种探针卡电蚀刻治具，解决了通常会采用浸泡的方式来电蚀探针卡针尖，但是往往由于控制不好时机，导致探针卡针尖被过度腐蚀，造成探针卡针尖报废的情况时有发生，且浸泡的方法电蚀探针卡针尖，所需的电蚀液数量大，比较浪费的技术问题。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供的一种探针卡电蚀刻治具，包括底板和背板，所述背板固定安装在底板的顶部，所述底板的顶部设有固定机构，所述固定机构用于对探针卡进行固定，所述背板的顶部设有电蚀机构，所述电蚀机构用于对探针卡针尖进行加工，所述电蚀机构包括电蚀液存放箱、出液管、控制阀门、伸缩软管、绝缘杆、流液通道、刷头、刷毛、导电柱、电源线和移动电源，所述电蚀液存放箱安装在背板顶部，所述电蚀液存放箱顶部设有进液口，所述电蚀液存放箱左侧下部设有出液口，所述出液口的外部安装有出液管，所述出液管上安装有控制阀门，所述出液管远离电蚀液存放箱的一端连接有伸缩软管，所述伸缩软管远离出液管的一端连接有绝缘杆，所述绝缘杆的内部开设有流液通道，所述绝缘杆远离伸缩软管的一端安装有刷头，所述刷头的内部设有刷毛，所述刷头外部设有导电柱，所述导电柱顶端固定连接有电源线，所述背板顶部安装有移动电源，所述电源线远离导电柱的一端与移动电源电性连接，通过设置的电蚀机构能够对探针卡针尖进行涂刷式电蚀加工，提高了电蚀精度，减少了电蚀液的浪费。
[0007]优选的，所述固定机构包括固定座、夹板、螺纹通孔、螺纹杆和转动手轮，所述固定座固定安装在底板的顶部，所述固定座左右两侧均开设有螺纹通孔，所述螺纹通孔的内部螺纹连接有螺纹杆，两个所述螺纹杆相对的一端均转动连接有夹板，两个所述螺纹杆相背
的一端均固定安装有转动手轮，通过固定机构能够在电蚀的过程中对探针卡进行夹持固定，避免电蚀加工时探针卡位置发生偏移。
[0008]优选的，两个所述夹板相对的一侧均开设有夹持槽，所述夹持槽的内部安装有夹持垫，起到一定的缓冲作用，避免在固定的过程中对探针卡造成损坏。
[0009]优选的，所述螺纹杆远离转动手轮的一端安装有轴承，所述螺纹杆通过轴承与夹板构成转动连接，通过设置的轴承提高了夹板与螺纹杆连接的稳定性。
[0010]优选的，所述夹板靠近固定座一侧的上部和下部均安装有导向杆，所述固定座的侧壁开设有供导向杆滑动的导向槽，通过导向杆和导向槽的配合对夹板的移动进行限位，提高夹板移动稳定性。
[0011]优选的，所述电蚀液存放箱的正面设有刻度窗，所述刻度窗内部安装有钢化玻璃，便于操作人员观察电蚀液液位。
[0012]优选的，所述绝缘杆外部套设有防滑套，所述防滑套为橡胶材质，橡胶材质具有绝缘效果，提高了使用时的安全性，同时能够起到增大摩擦力的作用，避免在使用时绝缘杆从操作人员手中滑脱。
[0013]与相关技术相比较，本技术提供的一种具有如下有益效果：
[0014]1、本技术中，通过转动手轮带动螺纹杆转动，由于螺纹杆与螺纹通孔螺纹配合使螺纹杆发生水平移动，螺纹杆推动夹板同步移动，能够使两个夹板对探针卡夹持固定，避免电蚀加工时探针卡位置发生偏移。
[0015]2、本技术中，通过开启控制阀门使电蚀液存放箱内部存储的电蚀液通过出液管输送至伸缩软管内部，再由伸缩软管流入流液通道内部，并通过流液通道流至刷毛上，再开启移动电源，通过电源线和导电柱的连接可为刷毛供电，此时操作人员手持绝缘杆并利用刷毛将带有电流的电蚀液涂刷在探针卡针尖，毛刷接负极，针尖接正极，实现电蚀加工的效果，提高了电蚀精度，减少了电蚀液的浪费。
附图说明
[0016]图1为一种探针卡电蚀刻治具的结构示意图；
[0017]图2为一种探针卡电蚀刻治具的剖面结构示意图；
[0018]图3为图2中A处的结构放大图；
[0019]图4为图2中B处的结构放大图。
[0020]图中标号：1、底板；2、背板；3、固定座；4、夹板；5、螺纹通孔；6、螺纹杆；7、转动手轮；8、导向杆；9、导向槽；10、电蚀液存放箱；11、出液管；12、控制阀门；13、刻度窗；14、伸缩软管；15、绝缘杆；16、防滑套； 17、流液通道；18、刷头；19、刷毛；20、导电柱；21、电源线；22、移动电源。
具体实施方式
[0021]下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0022]参见附图1至4所示，本实施例中的一种探针卡电蚀刻治具，包括底板1和背板2，背
板2固定安装在底板1的顶部，底板1的顶部设有固定机构，固定机构用于对探针卡进行固定，背板2的顶部设有电蚀机构，电蚀机构用于对探针卡针尖进行加工，固定机构包括固定座3、夹板4、螺纹通孔5、螺纹杆6和转动手轮7，固定座3固定安装在底板1的顶部，固定座3左右两侧均开设有螺纹通孔5，螺纹通孔5的内部螺纹连接有螺纹杆6，两个螺纹杆6相对的一端均转动连接有夹板4，两个螺纹杆6相背的一端均固定安装有转动手轮7，通过固定机构能够在电蚀的过程中对探针卡进行夹持固定，避免电蚀加工时探针卡位置发生偏移，电蚀机构包括电蚀液存放箱10、出液管11、控制阀门12、伸缩软管14、绝缘杆15、流液通道17、刷头18、刷毛19、导电柱20、电源线21和移动电源22，电蚀液存放箱10安装在背板2顶部，电蚀液存放箱10顶部设有进液口，电蚀液存放箱10左侧下部设有出液口，出液口的外部安装有出液管11，出液管11上安装有控制阀门 12，出液管11远离电蚀液存放箱10的一端连接有伸缩软管14，伸缩软管14远离出液管11的一端连接有绝缘杆15，绝缘杆15的内部开设有流液通道17，绝缘杆15远离伸缩软管14的一端安装有刷头18，刷头18的内部设有刷毛19，刷头18外部设有导电柱20，导电柱20顶端固定连接有电源线21，背板2顶部安装有移动电源22，电源线2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针卡电蚀刻治具，包括底板(1)和背板(2)，其特征在于，所述背板(2)固定安装在底板(1)的顶部，所述底板(1)的顶部设有固定机构，所述固定机构用于对探针卡进行固定，所述背板(2)的顶部设有电蚀机构，所述电蚀机构用于对探针卡针尖进行加工，所述电蚀机构包括电蚀液存放箱(10)、出液管(11)、控制阀门(12)、伸缩软管(14)、绝缘杆(15)、流液通道(17)、刷头(18)、刷毛(19)、导电柱(20)、电源线(21)和移动电源(22)，所述电蚀液存放箱(10)安装在背板(2)顶部，所述电蚀液存放箱(10)顶部设有进液口，所述电蚀液存放箱(10)左侧下部设有出液口，所述出液口的外部安装有出液管(11)，所述出液管(11)上安装有控制阀门(12)，所述出液管(11)远离电蚀液存放箱(10)的一端连接有伸缩软管(14)，所述伸缩软管(14)远离出液管(11)的一端连接有绝缘杆(15)，所述绝缘杆(15)的内部开设有流液通道(17)，所述绝缘杆(15)远离伸缩软管(14)的一端安装有刷头(18)，所述刷头(18)的内部设有刷毛(19)，所述刷头(18)外部设有导电柱(20)，所述导电柱(20)顶端固定连接有电源线(21)，所述背板(2)顶部安装有移动电源(22)，所述电源线(21)远离导电柱(20)的一端与移动电源(22)电性连接。2.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：张卫勇，钟志宏，
申请(专利权)人：苏州光和精密测试有限公司，
类型：新型
国别省市：