【技术实现步骤摘要】
探针台
[0001]本专利技术涉及一种探针台。更具体地，本专利技术涉及一种用于使用探针卡对形成在基板上的半导体器件进行电测试的探针台。
技术介绍
[0002]可以通过重复执行一系列制造工艺在基板，诸如硅晶片上形成半导体器件。例如，为了制造半导体器件，可以在晶片上执行各种制造工艺，诸如用于在晶片上形成薄层的沉积工艺，用于使薄层图案化以形成电路的蚀刻工艺，用于使薄层平坦化的平坦化工艺等。
[0003]在形成半导体器件之后，可以执行用于检查半导体器件的电特性的电测试工艺。测试工艺可以由探针台执行，该探针台包括具有多个探针的探针卡，以及向半导体器件提供电信号并且分析源于半导体器件的输出信号以检查半导体器件的电特性的测试头可以与探针卡连接。
[0004]探针台可以包括用于支撑基板的卡盘，并且探针卡可以设置在卡盘的上方。卡盘可以被构造成可在水平方向上移动以实现在基板和探针卡之间的对齐，并且可以被构造成可在竖直方向上移动以实现在基板和探针卡之间的电连接。
[0005]用于对探针卡的探针进行成像的下相机单元可以设置在...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种探针台，其包括：卡盘，所述卡盘被构造成支撑基板；探针卡，所述探针卡设置在所述卡盘的上方并且被构造成对形成在所述基板上的半导体器件进行电测试；相机单元，所述相机单元设置在所述卡盘的上方并且被构造成对所述基板进行成像；以及相机驱动部件，所述相机驱动部件被构造成在水平方向上移动所述相机单元，其中所述相机驱动部件包括制动单元，所述制动单元用于使用涡流制动力使所述相机单元停止在预定位置处。2.根据权利要求1所述的探针台，其中所述相机驱动部件还包括：驱动单元，其用于在所述水平方向上移动所述相机单元；以及可移动构件，其被构造成可由所述驱动单元在所述水平方向上移动，并且所述相机单元安装在所述可移动构件上。3.根据权利要求2所述的探针台，其还包括：柱，所述驱动单元的两个侧部安装在所述柱上。4.根据权利要求3所述的探针台，其中所述制动单元包括：制动板，其安装在所述可移动构件上并且由导电材料制成；以及磁场生成单元，其安装在所述柱中的一个上并且被构造成生成磁场，其中所述制动板和所述磁场生成单元被布置成使得当所述可移动构件移动到靠近所述柱中的一个的位置时，由所述磁场生成所述涡流制动力。5.根据权利要求4所述的探针台，其中所述磁场生成单元包括安装在所述柱中的一个的侧表面上的多个永磁体。6.一种探针台，其包括：卡盘，所述卡盘被构造成支撑基板；探针卡，所述探针卡设置在所述卡盘的上方并且被构造成对形成在所述基板上的半导体器件进行电测试；顶板，所述探针卡安装在所述顶板上；多个支撑柱，所述支撑柱被构造成支撑所述顶板；相机单元，所述相机单元设置在所述卡盘和所述顶板之间并且被构造成对所述基板进行成像；相机驱动部件，所述相机驱动部件被构造成在水平方向上移动所述相机单元；以及中间柱，所述中间柱设置在所述支撑柱之间，其中所述相机驱动部件安装在所述支撑柱中的一个和所述中间柱上并且包括制动单元，所述制动单元用于使用涡流制动力使所述相机单元停止在预定位置处。7.根据权利要求6所述的探针台，其中所述相机驱动部件还包括：驱动单元，其用于在所述水平方向上移动所述相机单元；以及可移动构件，其被构造成可由所述驱动单元在所述水平方向上移动，并且所述相机单元安装在所述可移动构件上，其中所述驱动单元的两个侧部分别安装在所述支撑柱中的一个和所述中间柱上。
8.根据权利要求7所述的探针台，其中所述制动单元包括：制动板，其安装在所述可移动构件上并且由导电材料制成；以及磁场生成单元，其安装在所述中间柱上并且被构造成生成磁场，其中所述制动板和所述磁场生成单元被布置成使得当所述可移动构件移动到靠近所述中间柱的位置时，由所述磁场生成所述涡流制动力。9.根据权利要求8所述的探针台，其中所述磁场生成单元包括安装在所述中间柱的侧表面上的多个永磁体。10.根据权利要求9所述的探针台，其中所述永磁体被布置成使得极性在所述水平方向上交替。11.根据权利要求8所述的探针台，其中所述磁场生成单元包括：安装在所述中间柱的侧表面上的多个第一永磁体；以及设置成面对所述第一永磁体的多个第二永磁体，其中所述制动板安装在所述可移动构件上，以便能通过所述驱动单元在所述第一永磁体和所述第二永磁体之间移动。12.根据权利要...
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