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下载探针台的技术资料

文档序号:32852929

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一种探针台包括卡盘,其被构造成支撑基板;探针卡,其设置在所述卡盘的上方并且被构造成对形成在所述基板上的半导体器件进行电测试;相机单元,其设置在所述卡盘的上方并且被构造成对所述基板进行成像;以及相机驱动部件,其被构造成在水平方向上移动所述相机...
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