废气处理燃烧装置的控制方法及废气处理燃烧装置制造方法及图纸

本发明专利技术半导体制造技术领域，尤其涉及一种废气处理燃烧装置的控制方法及废气处理燃烧装置，废气处理燃烧装置的控制方法包括：S1，开启普通燃烧模式，关闭纯氧燃烧模式；S2，确定含氟废气进入反应腔；S3，关闭普通燃烧模式，开启纯氧燃烧模式。本发明专利技术仅在含氟废气燃烧时切换至纯氧燃烧模式，缩短了燃烧器的离子棒处于纯氧燃烧的高温时段时长，保证离子棒的工作寿命，以及采用小型纯氧燃烧器结构尺寸小，功率小、保证点火安全、检火简单。检火简单。检火简单。

【技术实现步骤摘要】
废气处理燃烧装置的控制方法及废气处理燃烧装置


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种废气处理燃烧装置的控制方法及废气处理燃烧装置。

技术介绍

[0002]在集成电路制造过程中使用大量易燃性、腐蚀性或有毒化学原料，但其实际利用率非常低。因此，大量残余化学原料、反应副产物均进入废气处理系统中加以处理。燃烧式废气处理系统一般采用天然气燃料，干燥空气助燃。常见工艺气体：SiH4、SiH2Cl2、H2、HCl、AsH3、PH3、B2H6、TEOS、TMB、TEPO、NH3普通燃烧方式可以有效处理，但是针对SiF4、HF、F2、PFCs普通燃烧方式处理效果欠佳，纯氧燃烧方式成为节能高效处理选择方式。目前废气处理系统采用纯氧燃烧主要面临问题：
[0003]1、废气处理系统本身燃烧腔室小，安装、检测位置布局受限，相对传统玻璃窑炉或钢炉，炉膛空间大，多燃烧器布置，废气处理系统需求的这种特小功率和特小尺寸纯氧燃烧器，在纯氧燃烧行业是一个挑战；
[0004]2、纯氧燃烧方式在废气处理系统燃烧室密闭狭小空间，控制不当，有爆燃甚至爆炸的危险；
[0005]3、小尺寸纯氧燃烧器，点火和检火方式问题：行业常见燃烧器配有水冷或耐火砖，结构尺寸一般都比较大；点火采用推进点火，点火成功推出机构或手动点火；检火一般采用UV检测直接设计在燃烧器上；
[0006]4、小尺寸纯氧燃烧器离子棒点火和检火，由于温度火焰温度较高，废气处理系统24小时连续工作工况，离子棒容易烧坏，电流检测不稳定。
专利技术内容
[0007]本专利技术提供一种废气处理燃烧装置的控制方法及废气处理燃烧装置，用以解决现有技术中废气处理系统的纯氧燃烧方式温度火焰温度较高，废气处理系统24小时连续工作工况，燃烧装置的离子棒容易烧坏，电流检测不稳定的缺陷，实现在含氟废气燃烧时切换至纯氧燃烧模式，缩短了燃烧器处于纯氧燃烧的高温时段，保证离子棒的工作寿命，以及采用小型纯氧燃烧器结构尺寸小，功率小、保证点火安全、检火简单的效果。
[0008]本专利技术提供一种废气处理燃烧装置的控制方法，包括：
[0009]S1，开启普通燃烧模式，关闭纯氧燃烧模式；
[0010]S2，确定含氟废气进入反应腔；
[0011]S3，关闭普通燃烧模式，开启纯氧燃烧模式。
[0012]根据本专利技术提供的一种废气处理燃烧装置的控制方法，步骤S3后还包括：
[0013]S4，确定主机台排气，返回步骤S1。
[0014]根据本专利技术提供的一种废气处理燃烧装置的控制方法，步骤S3后还包括：
[0015]S4
’
，确定主机台未排气；
[0016]S5，关闭纯氧燃烧模式，开启节能燃烧模式。
[0017]根据本专利技术提供的一种废气处理燃烧装置的控制方法，步骤S1后还包括：
[0018]S2
’
，确定非含氟废气进入反应腔，返回步骤S1。
[0019]根据本专利技术提供的一种废气处理燃烧装置的控制方法，步骤S1前还包括：
[0020]S01，开启点火模式；
[0021]S02，确定检测到点火控制器的电流。
[0022]根据本专利技术提供的一种废气处理燃烧装置的控制方法，步骤S01后还包括：
[0023]S02
’
，确定未检测到点火控制器的电流，返回步骤S01。
[0024]根据本专利技术提供的一种废气处理燃烧装置的控制方法，所述普通燃烧模式包括：
[0025]点火组件的第一阀体打开，以15～25L/min向燃烧器输入CH4；空气组件的第二阀体打开，以150～250L/min向燃烧器输入干燥空气；
[0026]所述纯氧燃烧模式包括：
[0027]点火组件的第三阀体打开，以5～15L/min向燃烧器输入CH4；氧气组件的第四阀体打开，以17～27L/min向燃烧器输入O2；
[0028]所述节能燃烧模式包括：
[0029]点火组件的第一阀体打开，以2～8L/min向燃烧器输入CH4；空气组件的第二阀体打开，以45～55L/min向燃烧器输入干燥空气。
[0030]根据本专利技术提供的一种废气处理燃烧装置的控制方法，所述点火模式包括：
[0031]点火组件的第一阀体打开，以2～8L/min向燃烧器输入CH4；空气组件的第二阀体打开，以45～55L/min向燃烧器输入干燥空气。
[0032]本专利技术还提供一种废气处理燃烧装置，应用于如上所述的废气处理燃烧装置的控制方法，包括燃烧器、氧气组件、空气组件和点火组件，所述燃烧器上设有第一甲烷进口、第二甲烷进口、氧气进口和空气进口，所述点火组件包括第一阀体和第三阀体，所述第一阀体和所述第三阀体分别与所述第一甲烷进口和所述第二甲烷进口连通，所述空气组件包括第二阀体，所述第二阀体与所述空气进口连通，所述氧气组件包括第四阀体，所述第四阀体与所述氧气进口连通。
[0033]根据本专利技术提供的一种废气处理燃烧装置，所述燃烧器包括离子棒、纯氧烧嘴、空气烧嘴和点火烧嘴，所述纯氧烧嘴包括甲烷腔和氧气腔，所述氧气腔套设于所述甲烷腔的外侧，所述离子棒依次穿过所述点火烧嘴、所述空气烧嘴和所述甲烷腔，所述甲烷腔与所述氧气腔于所述离子棒的点火端处相连通。
[0034]本专利技术提供的废气处理燃烧装置的控制方法，在一般情况下保持普通燃烧模式，即保持普通空气与甲烷混合通过燃烧器点燃形成火焰燃烧的状态，而后，废气处理系统检测是否为含氟废气进入反应腔，当废气处理系统检测到含氟废气进入反应腔时，关闭普通燃烧模式，开启纯氧燃烧模式，即停止空气进入燃烧器，向燃烧器通入一定比例的CH4和氧气，形成纯氧燃烧，以此利用纯氧燃烧有效处理SiF4、HF、F2、PFCs等工艺废气，提高含氟废气的处理效率。
[0035]通过普通燃烧模式与纯氧燃烧模式的切换，解决了燃烧器通过离子棒点火和检火，由于纯氧燃烧温度火焰温度较高，废气处理系统在维持24小时连续工作工况的过程中，离子棒容易烧坏，检火时电流检测不稳定的问题。本专利技术仅在含氟废气燃烧时切换至纯氧
燃烧模式，缩短了燃烧器的离子棒处于纯氧燃烧的高温时段的时长，保证离子棒的工作寿命，同时在燃烧器的外部配设冷却设备，减小了燃烧器的结构尺寸，消耗功率小、保证点火安全、检火简单。
[0036]除了上面所描述的本专利技术解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外，本专利技术的其他技术特征及这些技术特征带来的优点，将结合附图作出进一步说明，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0037]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0038]图1是本专利技术提供的废气处理燃烧装置的控本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种废气处理燃烧装置的控制方法，其特征在于：包括：S1，开启普通燃烧模式，关闭纯氧燃烧模式；S2，确定含氟废气进入反应腔；S3，关闭普通燃烧模式，开启纯氧燃烧模式。2.根据权利要求1所述的废气处理燃烧装置的控制方法，其特征在于：步骤S3后还包括：S4，确定主机台排气，返回步骤S1。3.根据权利要求1所述的废气处理燃烧装置的控制方法，其特征在于：步骤S3后还包括：S4
’
，确定主机台未排气；S5，关闭纯氧燃烧模式，开启节能燃烧模式。4.根据权利要求1所述的废气处理燃烧装置的控制方法，其特征在于：步骤S1后还包括：S2
’
，确定非含氟废气进入反应腔，返回步骤S1。5.根据权利要求1所述的废气处理燃烧装置的控制方法，其特征在于：步骤S1前还包括：S01，开启点火模式；S02，确定检测到点火控制器的电流。6.根据权利要求5所述的废气处理燃烧装置的控制方法，其特征在于：步骤S01后还包括：S02
’
，确定未检测到点火控制器的电流，返回步骤S01。7.根据权利要求3所述的废气处理燃烧装置的控制方法，其特征在于：所述普通燃烧模式包括：点火组件的第一阀体打开，以15～25L/min向燃烧器输入CH4；空气组件的第二阀体打开，以150～250L/min向燃烧器输入干燥空气；所述纯氧燃烧模式包括：点火组件的第三阀体打开，以5...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨春水，宁腾飞，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：