半导体温控方法、装置及半导体温控设备制造方法及图纸

本申请涉及半导体生产技术领域，提供一种半导体温控方法、装置及半导体温控设备。该方法包括：获取温控设备的实时出口设定温度以及温控设备的实时制冷量；基于实时出口设定温度、实时制冷量和数据库，确定目标回油量；获取温控设备的压缩机的实时回油量；基于实时回油量和目标回油量，控制温控设备的工作；其中，数据库包括温控设备在不同的出口设定温度以及不同的制冷量的条件下，对应的压缩机的回油量。根据本申请实施例的半导体温控方法，可以对回油量的进行实时检测，实现了对油泄露的实时检测，并在发生油泄露后及时的发出警报并关停温控设备，可以有效的避免压缩机的损坏，可以避免温控设备突然停机而对用户造成损失。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体生产，尤其涉及半导体温控方法、装置及半导体温控设备。

技术介绍

1、在半导体的生产加工过程中，通常采取专用的温控设备来获取恒温载冷剂的方式带走加工过程中的热量，维持所需的温度。在低温工况时，为了保证压缩机的正常运转，会利用油分离器将分离出来的油输送回压缩机。

2、相关技术中的温控设备，当油分离器和压缩机之间的回油管路发生泄露时，仍会继续工作，容易导致压缩机因缺油磨损而发生故障，造成压缩机的损坏，且突然的故障停机也会对用户造成损失。

技术实现思路

1、本申请旨在至少解决相关技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种半导体温控方法、装置及半导体温控设备，可以对回油量的进行实时检测，实现了对油泄露的实时检测，并在发生油泄露后及时的发出警报并关停温控设备，可以有效的避免压缩机的损坏，可以避免温控设备突然停机而对用户造成损失。

2、根据本申请第一方面实施例的半导体温控方法，包括：

3、获取温控设备的实时出口设定温度以及所述温控设备的实时制冷量；

4、基本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体温控方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作，包括：

3.根据权利要求1所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作，包括：

4.根据权利要求1至3任意一项所述的半导体温控方法，其特征在于，所述控制所述温控设备的工作，包括：

5.根据权利要求4所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述负载信息，控制所述温控设备的工作，包括：

6.根据权利要求4所述的半导体温控方...

【技术特征摘要】

1.一种半导体温控方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作，包括：

3.根据权利要求1所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作，包括：

4.根据权利要求1至3任意一项所述的半导体温控方法，其特征在于，所述控制所述温控设备的工作，包括：

5.根据权利要求4所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述负载信息，控制所述温控设备的工作，包括：

6.根据权利要求4所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述负载信息，控制所述温控设备的工作，...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳李富，郑璐，耿海东，刘紫阳，胡文达，芮守祯，何茂栋，曹小康，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：