【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体生产，尤其涉及半导体温控方法、装置及半导体温控设备。
技术介绍
1、在半导体的生产加工过程中，通常采取专用的温控设备来获取恒温载冷剂的方式带走加工过程中的热量，维持所需的温度。在低温工况时，为了保证压缩机的正常运转，会利用油分离器将分离出来的油输送回压缩机。
2、相关技术中的温控设备，当油分离器和压缩机之间的回油管路发生泄露时，仍会继续工作，容易导致压缩机因缺油磨损而发生故障，造成压缩机的损坏，且突然的故障停机也会对用户造成损失。
技术实现思路
1、本申请旨在至少解决相关技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种半导体温控方法、装置及半导体温控设备，可以对回油量的进行实时检测，实现了对油泄露的实时检测，并在发生油泄露后及时的发出警报并关停温控设备，可以有效的避免压缩机的损坏，可以避免温控设备突然停机而对用户造成损失。
2、根据本申请第一方面实施例的半导体温控方法，包括：
3、获取温控设备的实时出口设定温度以及所述温控设备的实时制冷量；
4、基于所述实时出口设定温度、所述实时制冷量和数据库，确定目标回油量；
5、获取所述温控设备的压缩机的实时回油量；
6、基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作；
7、其中，所述数据库包括所述温控设备在不同的出口设定温度以及不同的制冷量的条件下，对应的所述压缩机的回油量。
8、根据本申请的一个实施例，所述基于所述实时回
9、确定所述实际回油量低于所述目标回油量，控制所述温控设备停止工作。
10、根据本申请的一个实施例，所述基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作，包括：
11、确定所述实时回油量低于所述目标回油量；
12、在预设时长内，重新获取所述压缩机的实时回油量；
13、基于所述实时回油量和重新获取的所述压缩机的实时回油量，控制所述温控设备的工作。
14、根据本申请的一个实施例，所述控制所述温控设备的工作，包括：
15、获取所述温控设备的负载信息；
16、基于所述负载信息，控制所述温控设备的工作。
17、根据本申请的一个实施例，所述基于所述负载信息，控制所述温控设备的工作，包括：
18、确定所述温控设备处于空载状态，控制发出报警信息并控制所述温控设备停止工作。
19、根据本申请的一个实施例，所述基于所述负载信息，控制所述温控设备的工作，包括：
20、确定所述温控设备处于带载状态，控制所述温控设备继续工作；
21、确定所述温控设备从所述带载状态切换为空载状态，控制发出报警信息并控制所述温控设备停止工作。
22、根据本申请的一个实施例，所述获取所述温控设备的负载信息，包括：
23、获取所述温控设备的出口温度和所述温控设备的回口温度；
24、基于所述出口温度和所述回口温度，确定所述温控设备的负载信息。
25、根据本申请第二方面实施例的半导体温控装置，包括：
26、第一获取模块，用于获取温控设备的实时出口设定温度以及所述温控设备的实时制冷量；
27、确定模块，用于基于所述实时出口设定温度、所述实时制冷量和数据库，确定目标回油量；
28、第二获取模块，用于获取所述温控设备的压缩机的实时回油量；
29、控制模块，用于基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作；
30、其中，所述数据库包括所述温控设备在不同的出口设定温度以及不同的制冷量的条件下，对应的所述压缩机的回油量。
31、根据本申请第三方面实施例的半导体温控设备，包括制冷系统，所述制冷系统包括压缩机和油分离器，所述压缩机的第一连接口与所述油分离器的进气口连通，所述压缩机的第二连接口通过回油管路与所述油分离器的出油口连通，所述油分离器适于将分离出来的油输送至所述压缩机，所述回油管路处设有流量检测件。
32、根据本申请第四方面实施例的电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述的所述半导体温控方法。
33、根据本申请第五方面实施例的非暂态计算机可读存储介质，所述非暂态计算机可读存储介质包括计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时实现上述的所述半导体温控方法。
34、根据本申请第六方面实施例的计算机程序产品，所述计算机程序产品包括计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时实现上述的所述半导体温控方法。
35、根据本申请实施例的半导体温控方法、装置及半导体温控设备，服务器端先获取温控设备的实时出口设定温度和实时制冷量，然后从数据库中确定得到与实时出口设定温度和实时制冷量相对应的目标回油量，然后服务器端获取压缩机的实时回油量，并将实时回油量和目标回油量进行比对，进而判断是否发生了油泄露的情况，当确定发生油泄露时，则控制温控设备立刻停机或完成当前工作任务后停机，并发出相应的警报，以避免压缩机损坏。进而可以对回油量的进行实时检测，实现了对油泄露的实时检测，并在发生油泄露后及时的发出警报并关停温控设备，可以有效的避免压缩机的损坏，可以避免温控设备突然停机而对用户造成损失。
36、本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
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1.一种半导体温控方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作，包括：
3.根据权利要求1所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作，包括：
4.根据权利要求1至3任意一项所述的半导体温控方法，其特征在于，所述控制所述温控设备的工作，包括：
5.根据权利要求4所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述负载信息，控制所述温控设备的工作，包括：
6.根据权利要求4所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述负载信息，控制所述温控设备的工作，包括：
7.根据权利要求4所述的半导体温控方法，其特征在于，所述获取所述温控设备的负载信息，包括：
8.一种半导体温控装置，其特征在于，包括：
9.一种半导体温控设备，其特征在于，包括制冷系统，所述制冷系统包括压缩机和油分离器，所述压缩机的第一连接口与所述油分离器的进气口连通，所述压缩机的第二连接口通
10.一种电子设备，所述电子设备包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至7任一项所述的半导体温控方法。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体温控方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作，包括：
3.根据权利要求1所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作，包括：
4.根据权利要求1至3任意一项所述的半导体温控方法，其特征在于，所述控制所述温控设备的工作，包括：
5.根据权利要求4所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述负载信息，控制所述温控设备的工作，包括：
6.根据权利要求4所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述负载信息，控制所述温控设备的工作，...
【专利技术属性】
技术研发人员：靳李富，郑璐，耿海东，刘紫阳，胡文达，芮守祯，何茂栋，曹小康，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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