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本申请涉及半导体生产技术领域，提供一种半导体温控方法、装置及半导体温控设备。该方法包括：获取温控设备的实时出口设定温度以及温控设备的实时制冷量；基于实时出口设定温度、实时制冷量和数据库，确定目标回油量；获取温控设备的压缩机的实时回油量；基于...
该专利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术股份有限公司授权不得商用。

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