【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及复叠式制冷，尤其涉及一种复叠制冷系统控制方法及复叠制冷系统。
技术介绍
1、随着先进工艺制程的发展，越先进的制程要求刻蚀深宽比越大，高深宽比蚀刻需引入低温蚀刻技术来满足工艺需求，应用于先进制程的半导体专用温控设备应能够提供足够低的温度区间。目前，对于温控设备的温度需求逐渐降低，从-20℃、-40℃变化到-60℃、-70℃，温控设备的系统原理也随着从单级系统向复叠系统变化。复叠系统在满足低温的同时，也需要较强的制冷能力，设备在满足宽温区范围、较高的空载负载温控精度、快速升降温等不同应用工况的使用条件下，还需要保证长期运行的可靠性，从而保证制程良率的提升。
2、现有技术中，复叠制冷系统的控制通常有两种方案，一种为采用固定部分被控对象的参数，从而尽量减少被控对象的数量；一种为根据目标控制温度去对应各级系统被控对象的输出。
3、然而，上述两种方案在满足制冷系统温度控制的需求下，没有兼顾各级系统状态的控制，存在各级系统间状态不匹配，导致系统统控制精度低、运行不稳定。
技术实现思路<
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【技术保护点】
1.一种复叠制冷系统控制方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的复叠制冷系统控制方法，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求1所述的复叠制冷系统控制方法，其特征在于，所述第一目标制冷循环的运行参数包括第一目标制冷循环中的压缩机频率f1、主回路电子膨胀阀开度E11和热气旁通电子膨胀阀开度E12，所述第二目标制冷循环的运行参数包括第二目标制冷循环中的压缩机频率f2、主回路电子膨胀阀开度E21和热气旁通电子膨胀阀开度E22。
4.根据权利要求3所述的复叠制冷系统控制方法，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的...
【技术特征摘要】
1.一种复叠制冷系统控制方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的复叠制冷系统控制方法，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求1所述的复叠制冷系统控制方法，其特征在于，所述第一目标制冷循环的运行参数包括第一目标制冷循环中的压缩机频率f1、主回路电子膨胀阀开度e11和热气旁通电子膨胀阀开度e12，所述第二目标制冷循环的运行参数包括第二目标制冷循环中的压缩机频率f2、主回路电子膨胀阀开度e21和热气旁通电子膨胀阀开度e22。
4.根据权利要求3所述的复叠制冷系统控制方法，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的复叠制冷系统控制方法，其特征在于，所述获取第一目标制冷循环中压缩机的最小吸气压力p1和最大吸气压力p2，包括：
6.一种复叠制...
【专利技术属性】
技术研发人员：常鑫，何茂栋，芮守祯，曹小康，董春辉，冯涛，李文博，张伟，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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