载物台位置控制装置和载物台位置控制方法制造方法及图纸

抑制机架机构中的载物台在横摆方向的运动。用于控制机架机构(100)中的载物台的位置的载物台位置控制装置(1)具备：Y轴重心推力指令输出部(30)，其输出用于指示Y1轴驱动系统与Y2轴驱动系统的重心推力的第一Y轴重心推力指令；Y轴差推力指令输出部(20)，其输出用于指示Y1轴驱动系统与Y2轴驱动系统的差推力的第一Y轴差推力指令；前馈部(11)，其将用于指示X轴位置的X轴位置指令(x)以及用于指示Y1轴位置与Y2轴位置的重心位置的Y轴重心位置指令(Y1)前馈到第一Y轴差推力指令(F2)，来输出第二Y轴差推力指令(F2')；以及推力变换部(50)，其使用第一Y轴重心推力指令和第二Y轴差推力指令来控制载物台的位置。制载物台的位置。制载物台的位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】载物台位置控制装置和载物台位置控制方法


[0001]本专利技术涉及一种控制载物台的位置的载物台位置控制装置和载物台位置控制方法。

技术介绍

[0002]以往，已知一种使载物台在由相互正交的两个轴限定的平面内移动的机架机构。
[0003]例如，在专利文献1中公开了一种抑制机架机构中的载物台在横摆方向(yawing direction)的运动的载物台位置控制方法。
[0004]专利文献1所公开的载物台位置控制方法是如下的控制方法：检测载物台的位置，将检测到的载物台的位置的信息反馈到用于使载物台移动的指令。因此，在该控制方法中，能够控制载物台的位置，使得抑制所发生的载物台在横摆方向的运动。然而，在没有发生载物台在横摆方向的运动的时间点，难以对于载物台在横摆方向的运动发生本身进行抑制。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2001
‑
22448号公报

技术实现思路

[0008]因此，本公开的目的在于提供一种与以往相比能够抑制机架机构中的载物台在横摆方向的运动的载物台位置控制装置和载物台位置控制方法。
[0009]本公开的一个方式所涉及的载物台位置控制装置是用于控制机架机构中的载物台的位置，所述机架机构具有：相互平行的Y1轴和Y2轴；与Y1轴及Y2轴垂直的X轴；以及载物台，其位置根据在Y1轴上的Y1轴驱动系统中的驱动位置即Y1轴位置、在Y2轴上的Y2轴驱动系统中的驱动位置即Y2轴位置以及在X轴上的X轴驱动系统中的驱动位置即X轴位置而被确定，所述载物台位置控制装置具备：Y轴重心推力指令输出部，其输出用于指示Y1轴驱动系统与Y2轴驱动系统的重心推力的第一Y轴重心推力指令；Y轴差推力指令输出部，其输出用于指示Y1轴驱动系统与Y2轴驱动系统的差推力的第一Y轴差推力指令；前馈部，其将用于指示X轴位置的X轴位置指令以及用于指示Y1轴位置与Y2轴位置的重心位置的Y轴重心位置指令前馈到第一Y轴差推力指令，来输出第二Y轴差推力指令；以及推力变换部，其使用第一Y轴重心推力指令和第二Y轴差推力指令来控制载物台的位置。
[0010]本公开的一个方式所涉及的载物台位置控制方法用于控制机架机构中的载物台的位置，所述机架机构具有：相互平行的Y1轴和Y2轴；与Y1轴及Y2轴垂直的X轴；以及载物台，其位置根据在Y1轴上的Y1轴驱动系统中的驱动位置即Y1轴位置、在Y2轴上的Y2轴驱动系统中的驱动位置即Y2轴位置以及在X轴上的X轴驱动系统中的驱动位置即X轴位置而被确定，在所述载物台位置控制方法中，计算用于指示Y1轴驱动系统与Y2轴驱动系统的重心推力的第一Y轴重心推力指令，计算用于指示Y1轴驱动系统与Y2轴驱动系统的差推力的第一Y轴差推力指令，将用于指示X轴位置的X轴位置指令以及用于指示Y1轴位置与Y2轴位置的重
心位置的Y轴重心位置指令前馈到第一Y轴差推力指令，来计算第二Y轴差推力指令，使用第一Y轴重心推力指令和第二Y轴差推力指令来控制载物台的位置。
[0011]根据本公开的一个方式所涉及的载物台位置控制装置和载物台位置控制方法，与以往相比能够抑制机架机构中的载物台在横摆方向的运动。
附图说明
[0012]图1是示出实施方式1所涉及的机架机构的结构的示意图。
[0013]图2是示出实施方式1所涉及的载物台位置控制装置的结构的框图。
[0014]图3是示出由实施方式1所涉及的惯性函数计算部计算的惯性函数的一例的示意图。
[0015]图4是实施方式1所涉及的惯性函数计算处理的流程图。
[0016]图5是实施方式1所涉及的载物台位置控制处理的流程图。
[0017]图6是示出实施方式2所涉及的载物台位置控制装置的结构的框图。
具体实施方式
[0018](获得本公开的一个方式的经过)
[0019]如上所述，在专利文献1所公开的载物台位置控制方法中，在机架机构中没有发生载物台在横摆方向的运动的时间点，难以对于载物台在横摆方向的运动发生本身进行抑制。
[0020]因此，专利技术人为了在机架机构中没有发生载物台在横摆方向的运动的时间点对于载物台在横摆方向的运动发生本身进行抑制而进行了深入研究、实验。专利技术人得出以下见解：将用于指示载物台的位置的位置指令前馈到用于使载物台移动的推力指令，预先从推力指令减少使载物台发生横摆方向的运动的成分，由此在没有发生载物台在横摆方向的运动的时间点能够对于载物台在横摆方向的运动发生本身进行抑制。
[0021]专利技术人基于该见解进一步进行了深入研究、实验，想到了下述本公开的一个方式所涉及的载物台位置检测装置和载物台位置检测方法。
[0022]本公开的一个方式所涉及的载物台位置控制装置用于控制机架机构中的载物台的位置，所述机架机构具有：相互平行的Y1轴和Y2轴；与Y1轴及Y2轴垂直的X轴；以及载物台，其位置根据在Y1轴上的Y1轴驱动系统中的驱动位置即Y1轴位置、在Y2轴上的Y2轴驱动系统中的驱动位置即Y2轴位置以及在X轴上的X轴驱动系统中的驱动位置即X轴位置而被确定，所述载物台位置控制装置具备：Y轴重心推力指令输出部，其输出用于指示Y1轴驱动系统与Y2轴驱动系统的重心推力的第一Y轴重心推力指令；Y轴差推力指令输出部，其输出用于指示Y1轴驱动系统与Y2轴驱动系统的差推力的第一Y轴差推力指令；前馈部，其将用于指示X轴位置的X轴位置指令以及用于指示Y1轴位置与Y2轴位置的重心位置的Y轴重心位置指令前馈到第一Y轴差推力指令，来输出第二Y轴差推力指令；以及推力变换部，其使用第一Y轴重心推力指令和第二Y轴差推力指令来控制载物台的位置。
[0023]根据上述结构的载物台位置控制装置，能够向可能包含使载物台发生横摆方向的运动的成分的第一Y轴差推力指令前馈用于指示载物台的位置的X轴位置指令和Y轴重心位置指令，来生成减少了使载物台发生横摆方向的运动的成分的第二Y轴差推力指令。使用所
生成的第二Y轴差推力指令来控制载物台的位置。因而，根据上述结构的载物台位置控制装置，与以往相比能够抑制机架机构中的载物台在横摆方向的运动。
[0024]另外，也可以是，前馈部存储表示惯性差与X轴位置之间的关系的惯性函数，该惯性差是Y1轴驱动系统的惯性与Y2轴驱动系统的惯性之差，前馈部根据惯性函数和由X轴位置指令指示的X轴位置来计算惯性差，根据Y轴重心位置指令和所计算出的惯性差来计算向第一Y轴差推力指令前馈的前馈值。
[0025]另外，也可以是，Y轴重心推力指令输出部基于Y轴重心位置指令来输出第一Y轴重心推力指令。
[0026]另外，也可以是，还具备：Y1轴位置检测部，其检测Y1轴位置；以及Y2轴位置检测部，其检测Y2轴位置，Y轴重心推力指令输出部通过接收Y轴重心位置作为反馈值，来输出第一Y轴重心推力指令，Y轴重心位置表示由Y1轴位置检测部检测到的Y1轴位置与由Y2轴位置检测部检测到的Y2轴位置的重心位置，第一Y轴差推力指令输出部通过接收Y轴差位置作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种载物台位置控制装置，用于控制机架机构中的载物台的位置，所述机架机构具有：相互平行的Y1轴和Y2轴；与所述Y1轴及所述Y2轴垂直的X轴；以及所述载物台，其位置根据在所述Y1轴上的Y1轴驱动系统中的驱动位置即Y1轴位置、在所述Y2轴上的Y2轴驱动系统中的驱动位置即Y2轴位置以及在所述X轴上的X轴驱动系统中的驱动位置即X轴位置而被确定，所述载物台位置控制装置具备：Y轴重心推力指令输出部，其输出用于指示所述Y1轴驱动系统与所述Y2轴驱动系统的重心推力的第一Y轴重心推力指令；Y轴差推力指令输出部，其输出用于指示所述Y1轴驱动系统与所述Y2轴驱动系统的差推力的第一Y轴差推力指令；前馈部，其将用于指示所述X轴位置的X轴位置指令以及用于指示所述Y1轴位置与所述Y2轴位置的重心位置的Y轴重心位置指令前馈到所述第一Y轴差推力指令，来输出第二Y轴差推力指令；以及推力变换部，其使用所述第一Y轴重心推力指令和所述第二Y轴差推力指令来控制所述载物台的位置。2.根据权利要求1所述的载物台位置控制装置，其特征在于，所述前馈部存储表示惯性差与所述X轴位置之间的关系的惯性函数，所述惯性差是所述Y1轴驱动系统的惯性与所述Y2轴驱动系统的惯性之差，所述前馈部根据所述惯性函数和由所述X轴位置指令指示的X轴位置来计算所述惯性差，根据所述Y轴重心位置指令和所计算出的惯性差来计算向所述第一Y轴差推力指令前馈的前馈值。3.根据权利要求2所述的载物台位置控制装置，其特征在于，所述Y轴重心推力指令输出部基于所述Y轴重心位置指令来输出所述第一Y轴重心推力指令。4.根据权利要求3所述的载物台位置控制装置，其特征在于，还具备：Y1轴位置检测部，其检测所述Y1轴位置；以及Y2轴位置检测部，其检测所述Y2轴位置，所述Y轴重心推力指令输出部通过接收Y轴重心位置作为反馈值，来输出所述第一Y轴重心推力指令，所述Y轴重心位置表示由所述Y1轴位置检测部检测到的Y1轴位置与由所述Y2轴位置检测部检测到的Y2轴位置的重心位置，所述第一Y轴差推力指令输出部通过接收Y轴差位置作为反馈值，来输出所述第一Y轴差推力指令，所述Y轴差位置表示由所述Y1轴位置检测部检测到的Y1轴位置与由所述Y2轴位置检测部检测到的Y2轴位置的差位置。5.根据权利要求1至4中的任一项所述的载物台位置控制装置，其特征在于，所述推力变换部基于所述第一Y轴重心推力指令和所述第二Y轴差推力指令来计算用于指示所述Y1轴驱动系统的推力的Y1轴驱动系统推力指令和用于指示所述Y2轴驱动系统的推力的Y2轴驱动系统推力指令，并且使用所述Y1轴驱动系统推力指令来驱动所述Y1轴驱
动系统，使用所述Y2轴驱动系统推力指令来驱动所述Y2轴驱动系统，由此控制所述载物台的位置。6.根据权利要求4所述的载物台位置控制装置，其特征在于，还具备：X轴位置检测部，其检测所述X轴位置；以及反馈部，其将所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：境隼太，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：