自动识别产品制造设备警报级别的系统及方法技术方案

本发明专利技术提供一种自动识别产品制造设备警报级别的系统及方法，通过设备自动化系统，实时接收由产品制造设备发出的事件标识符，并根据事件标识符判断产品制造设备实时的运行状态以及与警报信息对应的警报级别，以生成相应的警报标识符，并发送至警报管理系统，所述警报管理系统用于实时接收所述警报标识符并将所述警报标识符存储到自身的数据库中；报表系统用于每隔预定时间访问所述数据库以获取所述数据库中的警报标识符，并根据所述警报标识符同步所述产品制造设备的运行状态及警报级别至看板系统，能够通过看板系统直观的查看产品制造设备的运行状态以及警报级别，从而实时反映产品制造设备的运行状态以及产品制造设备发出的警报级别。备发出的警报级别。备发出的警报级别。

【技术实现步骤摘要】
自动识别产品制造设备警报级别的系统及方法


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，特别涉及一种自动识别产品制造设备警报级别的系统及方法。

技术介绍

[0002]在现有技术中，各个类型的产品制造设备在运行过程中会通过警报管理系统处理各种警报信息。但是在产品(例如芯片)的制造过程中，产品制造设备会发生上千甚至上万的警报，当产品制造设备发生警报时，警报管理系统会根据产品制造设备上报的Alarm ID(警告标识)进行识别，设备工程师据此设置当前的产品制造设备的警报类型和警报级别，从而发送提醒。但由于产品制造设备的报警种类较多，设备工程师无法针对每一条具体的警报做出正确的分类以及设置相应的动作。同时，产品制造设备上报的Alarm ID(警告标识)并不能完全直观地反馈当前产品制造设备的运行状态，因此，仅根据产品制造设备上报的Alarm ID无法及时发现产品制造设备实时的运行状态也无法精确识别警报级别，不能对产品制造设备的异常情况迅速做出反应。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种自动识别产品制造设备警报级别的系统及方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动识别产品制造设备警报级别的系统，其特征在于，所述自动识别产品制造设备警报级别的系统包括产品制造设备、设备自动化系统、警报管理系统、报表系统和看板系统；所述产品制造设备用于在自身的运行状态切换时，实时向所述设备自动化系统发送一事件标识符，所述事件标识符包括所述产品制造设备实时的运行状态及警报信息，其中，所述产品制造设备的运行状态包括异常警报状态、异常警告状态和正常运行状态；所述设备自动化系统用于实时接收所述事件标识符，并根据所述事件标识符判断所述产品制造设备实时的运行状态以及与所述警报信息对应的所述警报级别，以根据所述产品制造设备实时的运行状态及警报级别生成相应的警报标识符，并将所述警报标识符实时发送至警报管理系统；所述警报管理系统用于实时接收所述警报标识符并将所述警报标识符存储到自身的数据库中；所述报表系统用于每隔预定时间访问所述数据库以获取所述数据库中的警报标识符，并根据所述警报标识符同步所述产品制造设备的运行状态及警报级别至所述看板系统，所述看板系统用于显示所述产品制造设备的运行状态及警报级别。2.如权利要求1所述的自动识别产品制造设备警报级别的系统，其特征在于，所述警报管理系统还用于在所述产品制造设备的运行状态为异常警报状态或异常警告状态时，发送包含所述警报标识符的信息。3.如权利要求2所述的自动识别产品制造设备警报级别的系统，其特征在于，发送包含所述警报标识符的信息的途径包括邮件发送和短信发送。4.如权利要求1～3中任一项所述的自动识别产品制造设备警报级别的系统，其特征在于，所述产品制造设备包括离子注入工艺设备、化学气相沉积设备、物理气相沉积设备和刻蚀设备中的至少一种。5.如权利要求1所述的自...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈美蓉，谭少华，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：