【技术实现步骤摘要】
过热水蒸气生成装置
[0001]本技术涉及过热水蒸气生成装置。
技术介绍
[0002]近年，考虑了使用过热水蒸气对被处理物进行清洗、干燥或灭菌的过热水蒸气处理装置(例如专利文献1)。
[0003]该过热水蒸气生成装置具备：饱和水蒸气生成部，对水进行加热而生成饱和水蒸气；以及过热水蒸气生成部，对该饱和水蒸气进行加热而生成过热水蒸气。另外，作为过热水蒸气生成装置也有不具有饱和水蒸气生成部而供给在外部生成的饱和水蒸气并生成过热水蒸气的。
[0004]为了使在这些过热水蒸气生成装置中生成的过热水蒸气大容量化，可以考虑将过热水蒸气生成部大型化。例如，在过热水蒸气生成部为对导体管进行感应加热或通电加热的情况下，可以考虑增大导体管的直径等。
[0005]但是，如果增大导体管的直径，则导体管的弯曲加工变难，导致丧失设计的自由度。另外，如果使一个过热水蒸气生成部大型化，则导致在该过热水蒸气生成部的产品检查中采用的试验设备也大型化，其制造也是困难的。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献1：日本...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种过热水蒸气生成装置，对从导入口导入的水蒸气进行加热并从导出口导出过热水蒸气，所述过热水蒸气生成装置的特征在于，具备：多个或多组的过热水蒸气生成部，对水蒸气进行加热而生成过热水蒸气；分配管，将从所述导入口导入的水蒸气分配并导入所述多个或多组的过热水蒸气生成部；以及汇合管，将由所述多个或多组的过热水蒸气生成部生成的过热水蒸气汇合并从所述导出口导出。2.根据权利要求1所述的过热水蒸气生成装置，其特征在于，还具备对所述分配管进行加热的分配管加热部。3.根据权利要求1所述的过热水蒸气生成装置，其特征在于，还具备对所述汇合管进行加热的汇合管加热部。4.根据权利要求1所述的过热水蒸气生成装置，其特征在于，所述多组的过热水蒸气生成部是偶数组，所述多组的过热水蒸气生成部以各自的过热水蒸气导出口彼此相对的方式配置成左右2列。5.根据权利要求4所述的过热水蒸气生成装置，其特征在于，所述多组的过热水蒸气生成部以成为左右对称的方式配置成2列，所述汇合管通过所述左右2列的过热水蒸气生成部之间，并与所述多组的过热水蒸气生成部连接。6.根据权利要求1所述的过热水蒸气生成装置，其特征在于，还具备出水防止机构，所述出水防止机构防止从所述导出口导出所述水蒸气液化后的水，所述出水防止机构具有：温度传感器，检测所述过热水蒸气生成部的温度；以及控制装置，控制所述过热水蒸气生成部，所述控制装置控制所述过热水蒸气生成部，以在所述水蒸气导入所述导入口之前使所述温度传感器的检测温度变成100℃以上。7.根据权利要求6所述的过热水蒸气生成装置，其特征在于，所述过热水蒸气生成部具有与所述汇合管连接的连接口，所述温度传感器在所述过热水蒸气生成部上设置在所述连接口侧。8.根据权利要求6所述的过热水蒸气生成装置，其特征在于，在所述导入口侧设置有开关电磁阀，所述控制装置能够控制所述开关电磁阀的打开。9.根据权利要求8所述的过热水蒸气生成装置，其特征在于，所述开关电磁阀是电动比例阀，所述控制装置以使所述电动比例阀的阀开度逐渐变大的方式使所...
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