一种晶圆移动机构制造技术

本实用新型专利技术旨在提供一种结构紧凑、快速移动且定位精确的晶圆移动机构。本实用新型专利技术包括两轴移动模块和旋转模块，旋转模块设置在两轴移动模块的活动端，旋转模块包括固定板，固定板上依次设置有旋转块、吸盘以及承接板，固定板上设置有第一驱动电机且第一驱动电机与旋转块传动连接，吸盘上设置有若干个与外部真空源导通的吸嘴，吸盘的底部设置有第二驱动电机和传动块，传动块与第二驱动电机配合实现升降动作，传动块的两端均设置有与吸盘配合的挡块，吸盘上设置有若干个气缸，气缸传动连接有导柱，导柱穿过吸盘与晶圆铁环产品以及晶圆固定治具产品的缺口适配。本实用新型专利技术应用于移动机构的技术领域。机构的技术领域。机构的技术领域。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆移动机构


[0001]本技术应用于移动机构的
,特别涉及一种晶圆移动机构。

技术介绍

[0002]半导体芯片分选中常常需要将芯片在晶圆铁环或者晶圆固定治具上进行取放，在取放过程中晶圆铁环或者晶圆固定治具需要进行X轴、Y轴以及角度旋转的调整，所以需要机构承接晶圆铁环或者晶圆固定治具并使其可以在X轴、Y轴移动并能够实现角度旋转，然而晶圆铁环或者晶圆固定治具不能共用晶圆移动平台，X轴与Y轴通过丝杆带动晶圆铁环或者晶圆固定治具，导致移动速度缓慢、定位精度不高、占用空间大等，因此有必要提供一种结构紧凑、快速移动且定位精确的晶圆移动机构。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供了一种结构紧凑、快速移动且定位精确的晶圆移动机构。
[0004]本技术所采用的技术方案是：本技术包括两轴移动模块和旋转模块，所述旋转模块设置在所述两轴移动模块的活动端，所述旋转模块包括固定板，所述固定板上依次设置有旋转块、吸盘以及承接板，所述固定板上设置有第一驱动电机且所述第一驱动电机与所述旋转块传动连接，所述吸盘上设置有若干个与外部真空源导通的吸嘴，所述吸盘的底部设置有第二驱动电机和传动块，所述传动块与所述第二驱动电机配合实现升降动作，所述传动块的两端均设置有与所述吸盘配合的挡块。
[0005]由上述方案可见，所述两轴移动模块驱动所述旋转模块进行X轴和Y轴的移动，所述吸盘上设有与所述承接板相适配的凹槽，所述承接板设置在所述凹槽上，所述吸盘上设置有若干个与外部真空源导通的所述吸嘴，所述第二驱动电机通过丝杆的传动配合使得所述传动块实现上下滑动，所述第二驱动电机带动两块所述挡块向上运动，将晶圆铁环产品放置所述承接板上，所述第二驱动电机带动两块所述挡块向下运动，实现晶圆铁环产品横向的限位固定，所述吸嘴抽吸真空使得晶圆铁环产品牢牢吸附在所述承接板上，实现晶圆铁环产品纵向的限位固定，从而实现晶圆铁环产品立体方向的限位固定，所述第一驱动电机通过皮带与所述旋转块传动配合，根据取放的角度进行转动调整，若对晶圆固定治具产品进行取放，直接去除所述承接板进行同样的动作即可。
[0006]一个优选方案是，所述吸盘上设置有若干个气缸，所述气缸传动连接有导柱，所述导柱穿过所述吸盘与晶圆铁环产品以及晶圆固定治具产品的缺口适配。
[0007]由上述方案可见，所述气缸的输出端传动连接有所述导柱，所述导柱用于晶圆铁环产品以及晶圆固定治具产品的定位，所述气缸驱动所述导柱向上移动，将晶圆铁环产品或晶圆固定治具产品上的所述缺口对准卡入所述导柱，所述吸嘴抽吸真空使得晶圆铁环产品或晶圆固定治具产品牢牢吸附住，所述气缸驱动所述导柱向下移动，下降后所述导柱依然卡住晶圆铁环产品或晶圆固定治具产品，同时能避让外部取料机构的活动。
[0008]一个优选方案是，所述两轴移动模块包括底板和安装板，所述底板上设置有Y轴直线模组以及两组与所述Y轴直线模组平行的Y轴导轨，所述安装板的一端设置在所述Y轴直线模组的活动端，所述安装板的另一端与两组所述Y轴导轨滑动配合，所述安装板上设置有X轴直线模组以及两组与所述X轴直线模组平行的X轴导轨，所述固定板的一端设置在所述X轴直线模组的活动端，所述固定板的另一端与两组所述X轴导轨滑动配合。
[0009]由上述方案可见，所述两轴移动模块通过所述X轴直线模组以及所述Y轴直线模组的配合实现所述旋转模块X轴和Y轴的移动，所述X轴导轨与所述Y轴导轨用于所述旋转模块移动的导正，所述X轴直线模组以及所述Y轴直线模组通过各个单元的组合使得所述旋转模块的移动更加灵活、定位更加精准。
[0010]一个优选方案是，所述安装板靠近所述X轴导轨的一端设置有第一安装块，所述第一安装块上设置有与所述固定板配合的X轴光栅尺。
[0011]由上述方案可见，所述X轴光栅尺用于反馈晶圆铁环产品或晶圆固定治具产品在X轴移动的位置信息，通过与所述X轴直线模组配合确保移动更加快速，光栅尺也称为光栅尺位移传感器（光栅尺传感器），是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置，光栅尺位移传感器经常用作直线位移或者角位移的检测，具有检测范围大，检测精度高，响应速度快的特点。
[0012]一个优选方案是，所述底板靠近所述Y轴导轨的一端设置有第二安装块，所述第二安装块上设置有与所述安装板配合的Y轴光栅尺。
[0013]由上述方案可见，所述Y轴光栅尺用于反馈晶圆铁环产品或晶圆固定治具产品在Y轴移动的位置信息，通过与所述Y轴直线模组配合确保移动更加快速，光栅尺也称为光栅尺位移传感器（光栅尺传感器），是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置，光栅尺位移传感器经常用作直线位移或者角位移的检测，具有检测范围大，检测精度高，响应速度快的特点。
[0014]一个优选方案是，所述安装板的两端对称设置有第一缓冲器，所述第一缓冲器与所述X轴导轨上的滑块配合。
[0015]由上述方案可见，所述第一缓冲器用于所述X轴导轨上的滑块的限位缓冲，避免所述固定板在X轴方向上移动过撑，导致晶圆铁环产品以及晶圆固定治具产品发生剧烈震动。
[0016]一个优选方案是，所述底板的两端对称设置有第二缓冲器，所述安装板的底部设置有凸块，所述第二缓冲器与所述凸块配合。
[0017]由上述方案可见，所述第二缓冲器用于所述安装板的限位缓冲，避免所述安装板在Y轴方向上移动过撑，导致晶圆铁环产品以及晶圆固定治具产品发生剧烈震动。
附图说明
[0018]图1是本技术的立体结构示意图；
[0019]图2是所述旋转模块的立体结构分解示意图；
[0020]图3是所述两轴移动模块的立体结构示意图；
[0021]图4是所述晶圆固定治具产品的立体结构示意图；
[0022]图5是所述晶圆铁环产品的立体结构示意图。
具体实施方式
[0023]如图1至图5所示，在本实施例中，本技术包括两轴移动模块1和旋转模块2，所述旋转模块2设置在所述两轴移动模块1的活动端，所述旋转模块2包括固定板3，所述固定板3上依次设置有旋转块4、吸盘5以及承接板6，所述固定板3上设置有第一驱动电机7且所述第一驱动电机7与所述旋转块4传动连接，所述吸盘5上设置有若干个与外部真空源导通的吸嘴8，所述吸盘5的底部设置有第二驱动电机9和传动块10，所述第二驱动电机9与所述传动块10配合实现升降动作，所述传动块10的两端均穿过所述旋转块4且设置有与所述吸盘5配合的挡块11。
[0024]在本实施例中，所述吸盘5上设置有若干个气缸12，所述气缸12传动连接有导柱13，所述导柱13穿过所述吸盘5与晶圆铁环产品以及晶圆固定治具产品的缺口14适配。
[0025]在本实施例中，所述两轴移动模块1包括底板15和安装板16，所述底板15上设置有Y轴直线模组17以及两组与所述Y轴直线模组17平行的Y轴导轨18，所述安装板16的一端设置在所述Y轴直线模组17的活动端，所述安装板16的另一端与两组所述Y轴导轨18滑动配合，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆移动机构，其特征在于：它包括两轴移动模块（1）和旋转模块（2），所述旋转模块（2）设置在所述两轴移动模块（1）的活动端，所述旋转模块（2）包括固定板（3），所述固定板（3）上依次设置有旋转块（4）、吸盘（5）以及承接板（6），所述固定板（3）上设置有第一驱动电机（7）且所述第一驱动电机（7）与所述旋转块（4）传动连接，所述吸盘（5）上设置有若干个与外部真空源导通的吸嘴（8），所述吸盘（5）的底部设置有第二驱动电机（9）和传动块（10），所述传动块（10）与所述第二驱动电机（9）配合实现升降动作，所述传动块（10）的两端均设置有与所述吸盘（5）配合的挡块（11）。2.根据权利要求1所述的一种晶圆移动机构，其特征在于：所述吸盘（5）上设置有若干个气缸（12），所述气缸（12）传动连接有导柱（13），所述导柱（13）穿过所述吸盘（5）与晶圆铁环产品以及晶圆固定治具产品的缺口（14）适配。3.根据权利要求1所述的一种晶圆移动机构，其特征在于：所述两轴移动模块（1）包括底板（15）和安装板（16），所述底板（15）上设置有Y轴直线模组（17）以及两组与所述Y轴直线模组（17）平行的Y轴导轨（18），所述安装板（16）的一端设置在所述Y轴直线模组（17）的活...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈有亮，彭博，
申请(专利权)人：长园半导体设备珠海有限公司，
类型：新型
国别省市：