【技术实现步骤摘要】
转送晶圆输送盒的设备
[0001]本专利技术涉及晶圆制造设备领域，尤其涉及一种转送晶圆输送盒的设备。
技术介绍
[0002]半导体制造工厂中，晶圆输送盒(Front Opening Unified Pod，简称Foup) 是一种用于存储晶圆的容器，为了保证晶圆输送盒的洁净度，在晶圆输送盒使用完后需要送入水洗机进行清洗。
[0003]现有的技术是由人工在天车上下料，借由晶圆输送盒运送小车搬运，送入水洗机，之后再通过晶圆输送盒运送小车搬运，人工在天车上上料。
[0004]这种作业方式存在以下弊端：
[0005]1、浪费时间，人力。
[0006]2、通过人工上料，天车和水洗机的作业节拍无法配合，延长了作业时间。
[0007]3、人工拿取晶圆输送盒存在污染风险。清洗晶圆输送盒后应避免人手直接接触，再次污染晶圆输送盒。
技术实现思路
[0008]本专利技术的目的是针对现有技术结构上的缺点，提出一种转送晶圆输送盒的设备，用来在天车和水洗机进行对接，实现了整体自动化，加快生产速率。同时间，也可以检测晶圆输送盒状态。
[0009]为了达到上述专利技术目的，本专利技术实施例提出的一种转送晶圆输送盒的设备，通过以下技术方案实现的:
[0010]一种转送晶圆输送盒的设备，用于在天车和水洗机之间转运晶圆输送盒，所述晶圆输送盒包括顶部设有蘑菇头的盒体和可拆卸式封闭所述盒体的盖体，所述盖体上设有钥匙孔，所述钥匙孔内设有用于和盒体固接的锁具，其特征在于，所述设备包括：>[0011]箱体，其一侧设有用于和水洗机配合的窗口，另有一侧的外部设置有两个上下料载台，所述箱体内设置有待清洗仓储区和完成清洗仓储区，所述待清洗仓储区和完成清洗仓储区均设置有多个晶圆输送盒存放工位，所述晶圆输送盒存放工位和上下料载台均设置有位置传感器；
[0012]设于所述箱体内的开盖机构，包括一个用于支撑所述盖体外侧面的工作表面、一个真空发生器、两个与所述盖体上钥匙孔以及其内锁具相适配的钥匙和一个钥匙驱动装置，所述工作表面上设置有至少一个连通所述真空发生器的吸嘴；所述钥匙设立于所述工作表面上，并受所述钥匙驱动装置驱动转动；所述吸嘴和钥匙与盖体形状以及其上钥匙孔配合设置；
[0013]设于所述箱体内的机械臂，其前端设有用于夹持所述盒体和盖体的夹持机构；
[0014]控制器，连接位置传感器、机械臂、夹持驱动装置、真空发生器和钥匙驱动装置，并控制机械臂上的夹持机构移动于所述上下料载台、各个所述的晶圆输送盒存放工位、所述
的工作表面和所述窗口外的水洗机之间，以对应抓取或放置所述盒体和/或盖体。
[0015]所述夹持机构具有基座、设置于所述基座上的导轨和位置传感器、直接或间接固定于所述基座上的定夹持件、活动设置于所述导轨上的动夹持件，以及驱动所述动夹持件沿导轨向靠近所述定夹持件的方向运动，以对工件进行夹持的夹持驱动装置；所述定夹持件具有第一夹持部和第二夹持部，所述动夹持件具有与所述第一夹持部配合以对所述盖体进行夹持的第三夹持部，以及与所述第二夹持部配合以对所述蘑菇头进行夹持的第四夹持部；所述位置传感器用于检测所述定夹持件和动夹持件之间是否存在盒体或盖体，并将检测结果传输给所述控制器。
[0016]所述定夹持件为位于所述导轨一端并垂直于导轨设置的夹持钢板，所述夹持钢板一端位于导轨第一侧，并设有所述第一夹持部，所述夹持钢板另一端位于导轨相对的第二侧，并设置有所述第二夹持部；所述动夹持件为活动于所述导轨上的夹持钢架，所述夹持钢架位于导轨第一侧的部分上形成所述第三夹持部，所述夹持钢架位于导轨第二侧的部分上形成所述第四夹持部；所述第二夹持部和第四夹持部的夹持面上设有与所述蘑菇头上外缘凹凸配合的定位块；所述夹持驱动装置为第一气缸，所述第一气缸的活塞杆位于第一极限位置时，所述第一夹持部和第三夹持部可对二者之间的盖体进行夹持，所述第二夹持部和第四夹持部可对二者之间的蘑菇头进行夹持。
[0017]所述开盖机构于还包括近所述工作表面处设置的位置传感器，用于检测所述工作表面上盖体的位置信息，并将所述位置信息传输给所述控制器。
[0018]所述开盖机构包括一竖直设立的金属板，该金属板的第一侧构成所述工作表面，所述钥匙可转动式安装于所述金属板的过孔上，其用于解锁的匙体凸设于所述工作表面；所述钥匙驱动装置包括固定于所述金属板第二侧的第二气缸、连接并随所述第二气缸的活塞杆移动的摇架和两个曲柄，所述钥匙相对所述匙体的另一端延伸出所述金属板的第二侧，并构成曲柄轴，所述曲柄一端套接于所述曲柄轴上，另一端形成有与所述曲柄轴平行设置的连杆，所述摇架上设有两个平行的长腰孔，两个所述曲柄上的连杆末端分别被套设于所述长腰孔内，并在连杆长度方向上相对固定。
[0019]所述箱体还设有用于对其内空气进行净化的空气净化单元。
[0020]所述箱体于设置所述上下料载台的位置处还设有受舱门驱动装置驱动启闭的舱门，所述控制器控制连接所述舱门驱动装置。
[0021]所述箱体外还设置有用于罩盖所述上下料载台的遮蔽罩，所述遮蔽罩的上部形成有供天车抓手进出的窗口。
[0022]所述舱门驱动装置为第三气缸。
[0023]所述机械臂为六轴机械臂。
[0024]本专利技术的优点是：转送晶圆输送盒的设备主要进行天车和水洗机之间的晶圆输送盒的搬运工作，减少人力以及接触对晶圆输送盒的污染。本机构配合晶圆输送盒水洗机工作，其全自动智能运行，大幅减少人力、速度快、效率高、减少了清洗晶圆输送盒后再次污染晶圆输送盒的可能。并且有晶圆输送盒的仓储区，适应水洗机的工作原理。
附图说明
[0025]通过下面结合附图对其示例性实施例进行的描述，本专利技术上述特征和优点将会变
得更加清楚和容易理解。
[0026]图1为本专利技术实施例所使用的晶圆输送盒结构示意图；
[0027]图2为本专利技术实施例转送晶圆输送盒的设备和水洗机的配合关系示意图；
[0028]图3为本专利技术实施例设备的结构示意图I；
[0029]图4为本专利技术实施例设备的结构示意图II；
[0030]图5为本专利技术实施例开盖机构、机械臂和夹持机构的结构示意图；
[0031]图6为本专利技术实施例开盖机构的主视图；
[0032]图7为本专利技术实施例开盖机构的后视图；
[0033]图8为本专利技术实施例夹持机构的结构示意图I；
[0034]图9为本专利技术实施例夹持机构的结构示意图II。
具体实施方式
[0035]下面结合附图对本专利技术作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：
[0036]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0037]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种转送晶圆输送盒的设备，用于在天车和水洗机之间转运晶圆输送盒，所述晶圆输送盒包括顶部设有蘑菇头的盒体和可拆卸式封闭所述盒体的盖体，所述盖体上设有钥匙孔，所述钥匙孔内设有用于和盒体固接的锁具，其特征在于，所述设备包括：箱体，其一侧设有用于和水洗机配合的窗口，另有一侧的外部设置有两个上下料载台，所述箱体内设置有待清洗仓储区和完成清洗仓储区，所述待清洗仓储区和完成清洗仓储区均设置有多个晶圆输送盒存放工位，所述晶圆输送盒存放工位和上下料载台均设置有位置传感器；设于所述箱体内的开盖机构，包括一个用于支撑所述盖体外侧面的工作表面、一个真空发生器、两个与所述盖体上钥匙孔以及其内锁具相适配的钥匙和一个钥匙驱动装置，所述工作表面上设置有至少一个连通所述真空发生器的吸嘴；所述钥匙设立于所述工作表面上，并受所述钥匙驱动装置驱动转动；所述吸嘴和钥匙与盖体形状以及其上钥匙孔配合设置；设于所述箱体内的机械臂，其前端设有用于夹持所述盒体和盖体的夹持机构；控制器，连接位置传感器、机械臂、夹持驱动装置、真空发生器和钥匙驱动装置，并控制机械臂上的夹持机构移动于所述上下料载台、各个所述的晶圆输送盒存放工位、所述的工作表面和所述窗口外的水洗机之间，以对应抓取或放置所述盒体和/或盖体。2.根据权利要求1所述的一种转送晶圆输送盒的设备，其特征在于：所述夹持机构具有基座、设置于所述基座上的导轨和位置传感器、直接或间接固定于所述基座上的定夹持件、活动设置于所述导轨上的动夹持件，以及驱动所述动夹持件沿导轨向靠近所述定夹持件的方向运动，以对工件进行夹持的夹持驱动装置；所述定夹持件具有第一夹持部和第二夹持部，所述动夹持件具有与所述第一夹持部配合以对所述盖体进行夹持的第三夹持部，以及与所述第二夹持部配合以对所述蘑菇头进行夹持的第四夹持部；所述位置传感器用于检测所述定夹持件和动夹持件之间是否存在盒体或盖体，并将检测结果传输给所述控制器。3.根据权利要求2所述的一种转送晶圆输送盒的设备，其特征在于：所述定夹持件为位于所述导轨一端并垂直于导轨设置的夹持钢板，所述夹持钢板一端位于导轨第一侧，并设有所述第一夹持部，所述夹持钢板另一端位于导轨相对的第二侧，...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁猛，赵凯，林海涛，李彬，陈玉林，
申请(专利权)人：上海世禹精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：
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