一种自动化复制压印一体设备及其使用方法技术

本发明专利技术公开了一种自动化复制压印一体设备及其使用方法，腔体外部左侧设有晶舟盒，靠滑轨卡扣固定，可更换尺寸，左侧用于放置基片和模具，右侧用于设备内部自动取放；腔体内部左侧靠近晶舟盒处设有可升降机械手，用于转移所需模具或基片；腔体内部左上方设有软膜存放装置以及软膜运输装置，用于转移所需模具或基片腔体底部装有可升降的真空吸盘，用于吸附基片，压板底部开设有环形真空槽用于吸附软膜；腔体右侧设有自动点胶装置，包括储胶桶，胶管和点胶盒，可同时容纳多种胶液，实现自动选胶以及自动滴胶。实现复制压印一体化，自动化，全过程无需人工干预，节省人力物力，提高工作效率，降低成本。降低成本。降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种自动化复制压印一体设备及其使用方法


[0001]本专利技术涉及自动化
，具体为一种自动化复制压印一体设备及其使用方法。

技术介绍

[0002]纳米压印技术从1995年提出到现在已有十五年。作为一种高分辩率、高产出率、低成本的纳米结构图形的复制技术，已经受到世界上各个科技与工业发达国家的极大重视，他们预感到这一技术将带来的巨大的经济效益，投入了大量的人力和财力进行深入细致的研究，每年有大量科技论文发表。所有微纳米加工技术国际会议都有纳米压印技术的专题，并且已经召开了第一届以纳米压印技术为专题的国际会议。该技术的开发已经取得了丰硕的成果，正一步一步朝着工业化生产的方向迈进。为使纳米压印的工序更接近实际工业化生产的需求，设备需要完成半自动化到自动化的转变。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种自动化复制压印一体设备及其使用方法，以实现复制压印一体化，自动化，全过程无需人工干预，节省人力物力，提高工作效率，降低成本。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种自动化复制压印一体设备，包括腔体，腔体外部左侧设置有晶舟盒；
[0005]腔体内部左上方设有软膜存放装置以及软膜运输装置，腔体左侧靠近晶舟盒处设有可升降机械手，用于转移基片；
[0006]腔体底部装有可升降的真空吸盘，用于吸附所需模具或基片，真空吸盘的底部带有加热装置；
[0007]腔体顶端装有UV灯，腔体的顶端还安装有两个支架，且UV灯位于两个支架中部，两个支架的底端安装有压板，压板底部开设有环形真空槽，且真空槽内吸附有软膜；
[0008]腔体右侧设有自动点胶装置，自动点胶装置包括储胶桶、胶管和点胶盒，且储胶桶和点胶盒通过胶管连通；
[0009]腔体右上外侧装有操作屏。
[0010]优选的，压板中间开设有透视窗。
[0011]一种自动化复制压印一体设备的使用方法，包括以下步骤：
[0012]第1步，将所需模具与基片通过晶舟盒外侧开口放入；
[0013]第2步，通过操作屏设置复制及压印参数；
[0014]第3步，软膜存放装置自动落下一张空白软膜，放在软膜运输装置上，运输到压板正下方，将软膜吸附在压板上，软膜运输装置回到原点；
[0015]第4步，机械手夹取指定所需模具，放置到真空吸盘上，吸附后，整个真空吸盘上升到点胶位置；
[0016]第5步，点胶装置根据程序设定选择合适光刻胶，在模具上点适量的胶；真空吸盘
继续上升，直至模具与软膜完全贴合，完成复制过程；
[0017]第6步，选择指定固化方式进行第一次固化；
[0018]第7步，第一次脱模，真空吸盘缓慢下降，模具与软膜分离，胶留在软膜上；
[0019]第8步，机械手将模具取下，放入晶舟盒内；
[0020]第9步，机械手取基片放置到真空吸盘上，吸附后，整个真空吸盘上升到点胶位置；
[0021]第10步，点胶装置根据程序设定选择合适光刻胶，在基片上点适量的胶；
[0022]第11步，真空吸盘继续上升，直至基片与软膜完全贴合，完成压印过程；
[0023]第12步，选择指定固化方式进行第二次固化；
[0024]第13步，第二次脱模，真空吸盘缓慢下降，基片与软膜分离，胶留在基片上；
[0025]第14步，机械手将基片取下，放入晶舟盒内；
[0026]第15步，机械手取下一个基片放置到真空吸盘上，重复所述第步至第步的所有步骤，直至所有的基片全部压印完成；
[0027]第16步，基片全部压印完成后，将晶舟盒取下，换下一批所需模具及基片6。
[0028]优选的，第6步中的固化方式采用UV固化或者热固化中的任意一种。
[0029]优选的，第12步中的固化方式采用UV固化或者热固化中的任意一种。
[0030]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：一种自动化复制压印一体设备及其使用方法，实现复制压印一体化，自动化，节省人力物力，提高工作效率，降低成本。
附图说明
[0031]图1为本专利技术的结构示意图。
[0032]图中：1、腔体，2、晶舟盒，3、软膜存放装置，4、软膜运输装置，5、可升降机械手，6、基片，7、真空吸盘，8、加热装置，9、UV灯，10、支架，11、压板，12、软膜，13、储胶桶，14、胶管，15、点胶盒，16、操作屏。
具体实施方式
[0033]下面将对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0034]参照说明书附图1，为本专利技术提供一种技术方案：一种自动化复制压印一体设备，包括腔体1，腔体1外部左侧设置有晶舟盒2；
[0035]晶舟盒2靠滑轨卡扣固定在腔体1上，可更换尺寸，两侧开口，左侧用于放置基片6和模具，右侧用于设备内部自动取放；
[0036]腔体1内部左上方设有软膜存放装置3以及软膜运输装置4，软膜运输装置4采用电动滑轨的运输方式；
[0037]腔体1左侧靠近晶舟盒2处设有可升降机械手5，可升降机械手5选用现有电控的可升降机械手臂，用于转移基片6；
[0038]腔体1底部装有可升降的真空吸盘7(带PIN针)，用于吸附所需模具或基片6，真空吸盘7的底部带有加热装置8；
[0039]加热装置8采用电加热器的加热方式；
[0040]腔体1顶端装有UV灯9，腔体1的顶端还安装有两个支架10，且UV灯9位于两个支架10中部，两个支架10的底端安装有压板11，压板11底部开设有环形真空槽，且真空槽内吸附有软膜12；
[0041]腔体1右侧设有自动点胶装置，自动点胶装置包括储胶桶13、胶管14和点胶盒15，且储胶桶13和点胶盒15通过胶管14连通；
[0042]胶管14选用橡胶软管或塑料软管；
[0043]储胶桶13和点胶盒15安装在腔体的侧壁上；
[0044]参照说明书附图图1所示，储胶桶13及胶管14至少有三组，每组内放置不同的胶液；
[0045]可同时容纳多种胶液，实现自动选胶以及自动滴胶；
[0046]腔体1右上外侧装有操作屏16，对设备进行操作控制，可通过现有的控制系统一次性设置复制压印参数，并实时观察操作进度。
[0047]压板11中间开设有透视窗。
[0048]操作屏16选用触控屏，通过电连接或者无线连接方式连接到控制器，且控制器连接到设备中的用电器件，并且对其进行控制；
[0049]用电器件均采用外部供电或自带电池的供电方式。
[0050]一种自动化复制压印一体设备的使用方法，包括以下步骤：
[0051]第1步，将所需模具与基片6通过晶舟盒2外侧开口放入；
[0052]第2步，通过操作屏16设置复制及压印参数本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动化复制压印一体设备，其特征在于：包括腔体(1)，腔体(1)外部左侧设置有晶舟盒(2)；腔体(1)内部左上方设有软膜存放装置(3)以及软膜运输装置(4)，腔体(1)左侧靠近晶舟盒(2)处设有可升降机械手(5)，用于转移基片(6)；腔体(1)底部装有可升降的真空吸盘(7)，用于吸附所需模具或基片(6)，真空吸盘(7)的底部带有加热装置(8)；腔体(1)顶端装有UV灯(9)，腔体(1)的顶端还安装有两个支架(10)，且UV灯(9)位于两个支架(10)中部，两个支架(10)的底端安装有压板(11)，压板(11)底部开设有环形真空槽，且真空槽内吸附有软膜(12)；腔体(1)右侧设有自动点胶装置，自动点胶装置包括储胶桶(13)、胶管(14)和点胶盒(15)，且储胶桶(13)和点胶盒(15)通过胶管(14)连通；腔体(1)右上外侧装有操作屏(16)。2.根据权利要求1所述的一种自动化复制压印一体设备，其特征在于：压板(11)中间开设有透视窗。3.根据权利要求1所述的一种自动化复制压印一体设备的使用方法，其特征在于：包括以下步骤：第1步，将所需模具与基片(6)通过晶舟盒(2)外侧开口放入；第2步，通过操作屏(16)设置复制及压印参数；第3步，软膜存放装置(3)自动落下一张空白软膜(12)，放在软膜运输装置(4)上，运输到压板(11)正下方，将软膜(12)吸附在压板(11)上，软膜运输装置(4)回到原点；第4步，机械手(5)夹取指定所需模具，放置到真空吸盘(7)上，吸附后，整个真...

【专利技术属性】
技术研发人员：冀然，
申请(专利权)人：青岛天仁微纳科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：