【技术实现步骤摘要】
一种滴液头及刻蚀装置
[0001]本技术涉及显示屏制造
，尤其涉及一种滴液头及刻蚀装置。
技术介绍
[0002]阵列基板制造过程，主要分为清洗、成膜、曝光显影、刻蚀、剥离五大工艺。其中刻蚀工艺分为干法刻蚀和湿法刻蚀，湿法刻蚀被广泛用于金属薄膜及氧化物薄膜的刻蚀。湿法刻蚀设备通常是利用酸性刻蚀液体通过滴液头使刻蚀液接触到待刻蚀基板表面，与基板表面的膜层发生化学反应，从而达到刻蚀的目的。
[0003]然而，实际生产过程当中，刻蚀液由于表面张力的存在，会在滴液头下方形成球状液滴，刻蚀液与基板腐蚀反应后会有不定向的状态，打破其液体分子固有形态及表面张力后发生不定向扩散，湿润面积相对较大，导致刻蚀范围较大、形状不规则且刻蚀程度不均，严重影响产品的良率。
[0004]针对上述问题，需要开发一种滴液头及刻蚀装置，以解决刻蚀基板时刻蚀液扩散后导致刻蚀范围大、刻蚀形状不规则及刻蚀程度不可控的问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提出一种滴液头及刻蚀装置，能够在刻蚀基板时防止刻蚀液扩散，使刻蚀被限制在合理范围，便于控制刻蚀的程度。
[0006]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]一种滴液头，包括：
[0008]本体，所述本体设置有容纳腔，所述容纳腔设置有开口，所述开口与所述本体外部连通，所述本体设置有滴液平面；
[0009]滴液组件，所述滴液组件包括多个滑动设置的滴液管，所述滴液管的一端伸入所述容纳腔，所述滴液管的另一端伸出所述滴液平面。>[0010]优选地，所述滴液管伸出所述滴液平面的一端设置有调节组件，所述调节组件调节所述滴液管的流量。
[0011]所述调节组件包括：
[0012]转动件，所述转动件转动设置于所述滴液管的端部，所述转动件设置有通孔，所述通孔周圈套设有驱动齿轮；
[0013]多个从动齿轮，多个所述从动齿轮沿所述驱动齿轮的周向转动设置于所述滴液管的端部，多个所述从动齿轮与所述驱动齿轮啮合；
[0014]多个挡片，每个所述挡片的一端均连接一个所述从动齿轮，每个所述挡片的另一端朝中心延伸，且沿顺时针或逆时针方向，每个所述挡片远离所述从动齿轮的一端均被下一个所述挡片遮盖。
[0015]优选地，所述滴液组件还包括连接件，所述连接件滑动设置于所述容纳腔，多个所述滴液管均穿过所述连接件并与所述连接件固定连接。
[0016]优选地，所述容纳腔内设置有环形的隔离件，所述隔离件从远离所述滴液平面的一端向所述滴液平面延伸，所述容纳腔的侧壁设置有进气孔，所述连接件设置有滑动部，所述滑动部伸入所述隔离件与所述本体侧壁之间。
[0017]优选地，所述滑动部的内侧与外侧均设置有密封圈，所述密封圈分别与所述隔离件及所述本体内壁滑动抵接。
[0018]优选地，还包括吸液件，所述吸液件沿所述滴液平面周圈套设于所述本体，所述吸液件的远离所述本体的端面所在平面超出所述滴液平面。
[0019]一种刻蚀装置，包括：
[0020]安装座；
[0021]升降滑块，所述升降滑块沿竖直方向滑动设置于所述安装座；
[0022]还包括所述的滴液头，所述滴液头设置于所述升降滑块。
[0023]优选地，还包括水平驱动组件，所述水平驱动组件包括：
[0024]两根滑轨，两根所述滑轨均沿水平方向平行设置；
[0025]横梁，所述横梁沿垂直于所述滑轨的方向延伸，所述横梁的两端分别沿滑动设置于一根所述滑轨，所述安装座滑动设置于所述横梁。
[0026]优选地，还包括竖直驱动组件，所述竖直驱动组件包括：
[0027]旋转电机，所述旋转电机设置于所述安装座；
[0028]丝杆，所述丝杆与所述升降滑块螺纹连接，所述丝杆与所述旋转电机传动连接。
[0029]本技术的有益效果：
[0030]本技术提供了一种滴液头及刻蚀装置。该滴液头设置有多个滴液管，刻蚀液进入容纳腔后会通过滴液管流出容纳腔并在滴液管的端部形成多个小液滴。当滴液头靠近待刻蚀的基板时，多个小液滴与基板接触后，液滴表面张力被破坏使得多个小液滴彼此接触形成布满滴液平面的刻蚀液，从而对刻蚀平面范围内的基板进行刻蚀。
[0031]由于该滴液头的刻蚀液通过多个滴液管流出，相比于传统的滴液头仅有一个滴液管，该滴液头能够使得操作人员能够更加准确的控制刻蚀液的量，防止形成较大的液滴，使得较大液滴在碰触基板时发生不定向扩散超出刻蚀范围，且通过多个滑动设置的滴液管也可更精准地调节滴液头与基板的高度。
附图说明
[0032]图1是本技术提供的滴液头的结构示意图一；
[0033]图2是本技术提供的滴液头的结构示意图二；
[0034]图3是本技术提供的滴液管及调节组件的主视图；
[0035]图4是图3中A
‑
A处的剖视图；
[0036]图5是本技术提供的滴液管及调节组件的爆炸图；
[0037]图6是本技术提供的挡片的位置示意图一；
[0038]图7是本技术提供的挡片的位置示意图二；
[0039]图8是本技术提供的滴液组件的结构示意图；
[0040]图9是本技术提供的滴液头的主视图；
[0041]图10是图9中B
‑
B处的剖视图；
[0042]图11是本技术提供的刻蚀装置的结构示意图。
[0043]图中：
[0044]1、本体；2、滴液组件；3、调节组件；4、吸液件；5、安装座；6、升降滑块；7、水平驱动组件；
[0045]11、容纳腔；12、开口；13、滴液平面；14、隔离件；15、进气孔；21、滴液管；22、连接件；31、转动件；32、驱动齿轮；33、从动齿轮；34、挡片；
[0046]211、安装部；221、滑动部；222、密封圈；311、通孔。
具体实施方式
[0047]下面详细描述本技术的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0048]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。
[0049]除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种滴液头，其特征在于，包括：本体(1)，所述本体(1)设置有容纳腔(11)，所述容纳腔(11)设置有开口(12)，所述开口(12)与所述本体(1)外部连通，所述本体(1)设置有滴液平面(13)；滴液组件(2)，所述滴液组件(2)包括多个滑动设置的滴液管(21)，所述滴液管(21)的一端伸入所述容纳腔(11)，所述滴液管(21)的另一端伸出所述滴液平面(13)。2.根据权利要求1所述的滴液头，其特征在于，所述滴液管(21)伸出所述滴液平面(13)的一端设置有调节组件(3)，所述调节组件(3)调节所述滴液管(21)的流量。3.根据权利要求2所述的滴液头，其特征在于，所述调节组件(3)包括：转动件(31)，所述转动件(31)转动设置于所述滴液管(21)的端部，所述转动件(31)设置有通孔(311)，所述通孔(311)周圈套设有驱动齿轮(32)；多个从动齿轮(33)，多个所述从动齿轮(33)沿所述驱动齿轮(32)的周向转动设置于所述滴液管(21)的端部，多个所述从动齿轮(33)与所述驱动齿轮(32)啮合；多个挡片(34)，每个所述挡片(34)的一端均连接一个所述从动齿轮(33)，每个所述挡片(34)的另一端朝中心延伸，且沿顺时针或逆时针方向，每个所述挡片(34)远离所述从动齿轮(33)的一端均被下一个所述挡片(34)遮盖。4.根据权利要求1所述的滴液头，其特征在于，所述滴液组件(2)还包括连接件(22)，所述连接件(22)滑动设置于所述容纳腔(11)，多个所述滴液管(21)均穿过所述连接件(22)并与所述连接件(22)固定连接。5.根据权利要求4所述的滴液头，其特征在于，所述容纳...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘冲，闫月亮，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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