一种真空搬运电子产品用除静电设备制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体生产领域，其具体公开一种真空搬运电子产品用除静电设备，一种真空搬运电子产品用除静电设备，应用于搬运电子产品的真空搬运工具，包括：紫外光发生装置，其用于产生能够照射产品的紫外光，以及；照射控制装置，其用于控制紫外光照射产品的时间以防止损伤产品。止损伤产品。止损伤产品。

【技术实现步骤摘要】
一种真空搬运电子产品用除静电设备


[0001]本技术涉及半导体生产领域，尤其涉及一种真空搬运电子产品用除静电设备。

技术介绍

[0002]随着半导体和电子行业的不断发展，真空搬运工具已经是制造业中不可或缺的重要组成部分，真空搬送中，受制于腔室真空度的限制，高真空下粒子的平均自由程很大，粒子间的碰撞概率降低，搬送过程中产生的静电很难通过粒子间的碰撞湮灭掉，并且会随着搬送次数的增大而导致静电的累积，当静电累积到一定程度后，静电会导致产品的表面静电击伤或静电粘片等不良和生产效率的不稳定，传统地消除静电的方式为离子风机或者离子棒，但是这些方法在真空腔室中都没法使用。紫外光在照射真空腔室离子时由于波长段为短波，光的频率高，单光子携带的能量大，可以将真空腔室中的离子电离成带负电的电子和带正电的离子，电离以后游离的正负粒子会和被搬送的产品表面累积的静电中和，达到消除静电的作用。
[0003]现有技术中也存在真空除静电装置，如专利号为CN212381448U的技术提供了一种真空除静电系统，但是该技术的工作方式为向真空腔室内照射紫外光，无法彻底除去产品上的静电，导致除静电效果并不理想。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，而提供一种真空搬运电子产品用除静电设备。
[0005]为了达到上述目的，本技术采用的技术方案如下：一种真空搬运电子产品用除静电设备，应用于搬运电子产品的真空搬运工具，包括：紫外光发生装置，其用于产生能够照射产品的紫外光，以及；照射控制装置，其用于控制紫外光照射产品的时间以防止损伤产品。
[0006]优选地，所述照射控制装置包括：遮光部，其用于遮挡照射产品的紫外光；和驱动部，其用于驱动所述遮光部在第一位置和第二位置之间移动；所述遮光部配置在第一位置时能够遮挡照射至产品的紫外光，其配置在第二位置时能够允许紫外光照射产品。
[0007]优选地，所述驱动部为电磁驱动器或电机。
[0008]优选地，所述遮光部配置在接近于所述紫外光发生装置的位置。
[0009]优选地，还包括能够感应紫外光并反馈信号的感应装置，所述感应装置设置在接近所述遮光部的位置。
[0010]优选地，所述紫外光发生装置包括紫外光发生器和与其连接的紫外光控制器，所述紫外光控制器用以控制所述紫外光发生器的启闭。
[0011]优选地，所述紫外光发生装置还包括能够发射紫外光的镜头，所述镜头朝向产品设置。
[0012]优选地，所述紫外光发生器和真空搬运工具之间设有用以密封连接的密封板。
[0013]优选地，所述密封板上设有安装孔，所述安装孔用以固定所述镜头。
[0014]由于采用了以上技术方案，本技术具有以下有益效果：
[0015]1.本技术的紫外光发生装置能够产生紫外光，紫外光在照射真空搬运工具内的产品时能够消除静电，解决了真空环境除静电难的问题，从技术层面上来看也易于实现。
[0016]2.紫外光消除静电的过程很快，耗费的时间很短，不会影响真空搬运工具的工作效率。
[0017]3.本技术设有照射控制装置控制紫外光照射产品的时间以防止损伤产品，紫外光发生器无需反复开关，能够极大的提升紫外光发生器的使用寿命。本技术还设置有感应装置以感应紫外光，在照射控制装置关闭时，确保不会由于照射控制装置的损坏而造成被搬运的产品长时间照射紫外光，长时间照射紫外光可能会影响产品的质量。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本技术的一些实施例，而非对本技术的限制。
[0019]图1为本技术实施例一的结构示意图。
[0020]图2为本技术实施例一另一角度的结构示意图。
[0021]图3为本技术实施例一又一角度的结构示意图。
[0022]图4为本技术实施例一中照射控制装置的结构示意图。
[0023]图5为本技术实施例一中密封板的结构示意图。
[0024]附图标记：
[0025]1.紫外光发生装置；11.紫外光发生器；12.紫外光控制器；13.镜头；2.照射控制装置；21.遮光部；22.驱动部；3.密封板；31.安装孔。
具体实施方式
[0026]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术做进一步详细说明。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以各种不同的配置来布置和设计。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0028]除非另作定义，本专利文件中所使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术专利说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等仅用于表
示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变，其仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]下面结合附图，对本技术的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例中的特征可以相互组合。
[0031]实施例一：
[0032]请参阅图1和图2，一种真空搬运电子产品用除静电设备，应用于搬运电子产品的真空搬运工具，包括：紫外光发生装置1，其用于产生能够照射产品的紫外光，以及；照射控制装置2，其用于控制紫外光照射产品的时间以防止损伤产品。
[0033]在本实施例中，紫外光发生装置1配置为能够产生紫外光以除去真空腔室内产品的静电，照射控制装置2设置在紫外光发生装置1上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空搬运电子产品用除静电设备，应用于搬运电子产品的真空搬运工具，其特征在于，包括：紫外光发生装置，其用于产生能够照射产品的紫外光，以及；照射控制装置，其用于控制紫外光照射产品的时间以防止损伤产品。2.根据权利要求1所述的真空搬运电子产品用除静电设备，其特征在于，所述照射控制装置包括：遮光部，其用于遮挡照射产品的紫外光；和驱动部，其用于驱动所述遮光部在第一位置和第二位置之间移动；所述遮光部配置在第一位置时能够遮挡照射至产品的紫外光，其配置在第二位置时能够允许紫外光照射产品。3.根据权利要求2所述的真空搬运电子产品用除静电设备，其特征在于，所述驱动部为电磁驱动器或电机。4.根据权利要求2所述的真空搬运电子产品用除静电设备，其特征在于，所述遮光部配置在接近于所述紫外光发生装置的位置。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：李有亮，
申请(专利权)人：成都骏创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：