一种金属薄膜自动化检测装置，它涉及及金属薄膜检测技术领域。装置本体的右侧安装有电控箱，顶部左侧安装有第一辊轴，顶部右侧安装有第二辊轴，第一辊轴与第二辊轴之间安装有输送带，装置本体靠近第一辊轴处安装有驱动电机，驱动电机的端部设置有轴承，轴承与第一辊轴之间通过传送带活动连接。金属薄膜通过输送带输送至控制器的指定区域，通过CCD影像检测头快速检测金属薄膜的外形尺寸并通过内部处理器快速判断识别尺寸是否符合设计要求，同时通过内部的存储模块可以实时存储每个金属薄膜的外形尺寸数据，尺寸数据还可以通过信号接口传输至外部计算机，方便后续查看，不合格的尺寸通过声光报警器进行实时监控提醒，整体实用性强。用性强。用性强。
【技术实现步骤摘要】
一种金属薄膜自动化检测装置
[0001]本技术涉及金属薄膜检测
，具体涉及一种金属薄膜自动化检测装置。
技术介绍
[0002]在半导体工艺中，通过金属布线实现器件之间的连接，实现电信号的传递。具体而言，需要通过沉积工艺或者溅射工艺形成金属薄膜，随后刻印图形以形成互连金属线以及填充通孔，随着半导体器件的高度集成化及高性能化的进展，对金属薄膜的规范性也提出了越来越高的要求，包括金属薄膜的类型、尺寸准确度，以及所述金属薄膜与晶圆之间的对准精度，例如，如果采用错误的金属类型形成薄膜，将影响导电速率，甚至导致器件失效。
[0003]现有的金属按键在生产过程中其尺寸的准确度为关键尺寸，金属按键的尺寸大于预设规格时容易导致无法安装或引起短路现象，尺寸小于预设规格时，由于边缘图案缺失，可能导致晶圆边缘处的良率降低的问题，不管由于任何尺寸问题导致的质量问题引发的危害都是严重的，传统的金属按键都是人工通过一些辅助工具进行基本测量确定，无法对金属化薄膜进行全面的检测，同时检测效果差，无法准确的确定检测结果，过程效率也慢。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种金属薄膜自动化检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术金属薄膜通过输送带输送至控制器的指定区域，通过CCD影像检测头快速检测金属薄膜的外形尺寸并通过内部处理器快速判断识别尺寸是否符合设计要求，同时通过内部的存储模块可以实时存储每个金属薄膜的外形尺寸数据，尺寸数据还可以通过信号接口传输至外部计算机，方便后续查看，不合格的尺寸通过声光报警器进行实时监控提醒，整体实用性强，检测结果准确，效率快，具有较大的市场推广价值。
[0005]为实现上述目的，本技术采用以下技术方案是：它包含装置本体1、驱动电机2、控制器3、电控箱4，装置本体1的右侧安装有电控箱4，顶部左侧安装有第一辊轴11，顶部右侧安装有第二辊轴12，第一辊轴11与第二辊轴12之间安装有输送带13，装置本体1靠近第一辊轴11处安装有驱动电机2，驱动电机2的端部设置有轴承21，轴承21与第一辊轴11之间通过传送带活动连接，传送带的外周安装有防护罩22，装置本体1的顶部中间设置有控制器3，控制器3分别与驱动电机2、电控箱4电性连接，输送带13上设置有若干个放置框14，放置框14内安放有金属薄膜15。
[0006]所述的控制器3的底部设置有第一CCD影像检测头31、第二CCD影像检测头32，第一CCD影像检测头31朝向金属薄膜15的顶面，第二CCD影像检测头32朝向金属薄膜15的侧面。
[0007]所述的控制器3上设置有可触摸显示屏33、启动按钮34、暂停按钮35，可触摸显示屏33位于启动按钮34的左侧，启动按钮34位于暂停按钮35的左侧，控制器3还内置有信号接口36。
[0008]所述的装置本体1的顶部设置有声光报警器16，声光报警器16与控制器3电性连接，底部安装有支撑柱17与万向轮18。
[0009]所述的输送带13的两侧通过固定条19固定安装有防护板20。
[0010]本技术的工作原理：使用时，通过控制器3上的启动按钮34启动驱动电机2工作，使得第一辊轴11在传送带的作用下带动输送带13进行循环输送，此时通过外部输送器将金属薄膜15放入至输送带13上的放置框14内，当金属薄膜15在输送带13的作用下运行至控制器3的正下方时，第一CCD影像检测头31自动检测金属薄膜15的外形相关尺寸，第二CCD影像检测头32自动检测金属薄膜15的厚度相关尺寸，第一CCD影像检测头31与第二CCD影像检测头32将检测到的结果传输至控制器3内进行数字信号处理，当尺寸合格时传输至可触摸显示屏33上进行实时显示并存储，当尺寸不合格时传输至可触摸显示屏33上进行实时显示并通过声光报警器16进行实时报警，在输送带13继续输送时，由后续工作的机械手将相应的不良尺寸金属薄膜15夹出，合格尺寸的金属薄膜15继续流转，通过控制器3上的信号接口36可将数据通过数据线传输至外部计算机上。
[0011]采用上述技术方案后，本技术有益效果为：金属薄膜通过输送带输送至控制器的指定区域，通过CCD影像检测头快速检测金属薄膜的外形尺寸并通过内部处理器快速判断识别尺寸是否符合设计要求，同时通过内部的存储模块可以实时存储每个金属薄膜的外形尺寸数据，尺寸数据还可以通过信号接口传输至外部计算机，方便后续查看，不合格的尺寸通过声光报警器进行实时监控提醒，整体实用性强，检测结果准确，效率快，具有较大的市场推广价值。
附图说明
[0012]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0013]图1是本技术的结构示意图；
[0014]图2是对应图1的俯视结构示意图；
[0015]图3是本技术的控制器3局部结构示意图。
[0016]附图标记说明：装置本体1、第一辊轴11、第二辊轴12、输送带13、放置框14、金属薄膜15、声光报警器16、支撑柱17、万向轮18、固定条19、防护板20、驱动电机2、轴承21、防护罩22、控制器3、第一CCD影像检测头31、第二CCD影像检测头32、可触摸显示屏33、启动按钮34、暂停按钮35、信号接口36、电控箱4。
具体实施方式
[0017]参看图1～图3所示，本具体实施方式采用的技术方案是：它包含装置本体1、驱动电机2、控制器3、电控箱4，装置本体1的右侧安装有电控箱4，顶部左侧安装有第一辊轴11，顶部右侧安装有第二辊轴12，第一辊轴11与第二辊轴12之间安装有输送带13，装置本体1靠近第一辊轴11处安装有驱动电机2，驱动电机2的端部设置有轴承21，轴承21与第一辊轴11之间通过传送带活动连接，传送带的外周安装有防护罩22，装置本体1的顶部中间设置有控
制器3，控制器3分别与驱动电机2、电控箱4电性连接，输送带13上设置有若干个放置框14，放置框14内安放有金属薄膜15，所述的控制器3的底部设置有第一CCD影像检测头31、第二CCD影像检测头32，第一CCD影像检测头31朝向金属薄膜15的顶面，用于监测金属薄膜15的外形相关尺寸，第二CCD影像检测头32朝向金属薄膜15的侧面，用于检测金属薄膜15的厚度相关尺寸，所述的控制器3上设置有可触摸显示屏33、启动按钮34、暂停按钮35，可触摸显示屏33位于启动按钮34的左侧，启动按钮34位于暂停按钮35的左侧，控制器3还内置有信号接口36，所述的装置本体1的顶部设置有声光报警器16，声光报警器16与控制器3电性连接，声光报警器16在金属薄膜15检测到外形尺寸不合格时进行实时报警提示，底部安装有支撑柱17与万向轮18，通过万向轮18可将装置本体1位置移动，支撑柱17对装置本体1实现位置支撑，所述的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种金属薄膜自动化检测装置，其特征在于：它包含装置本体(1)、驱动电机(2)、控制器(3)、电控箱(4)，装置本体(1)的右侧安装有电控箱(4)，顶部左侧安装有第一辊轴(11)，顶部右侧安装有第二辊轴(12)，第一辊轴(11)与第二辊轴(12)之间安装有输送带(13)，装置本体(1)靠近第一辊轴(11)处安装有驱动电机(2)，驱动电机(2)的端部设置有轴承(21)，轴承(21)与第一辊轴(11)之间通过传送带活动连接，传送带的外周安装有防护罩(22)，装置本体(1)的顶部中间设置有控制器(3)，控制器(3)分别与驱动电机(2)、电控箱(4)电性连接，输送带(13)上设置有若干个放置框(14)，放置框(14)内安放有金属薄膜(15)。2.根据权利要求1所述的一种金属薄膜自动化检测装置，其特征在于：所述的控制器(3)的底部设置有第一CCD影像检测头(31)、...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈灿明，
申请(专利权)人：深圳市楚光电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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