一种刻蚀设备及其防爆方法技术

本发明专利技术属于刻蚀技术领域，公开了一种刻蚀设备及其防爆方法。该刻蚀设备包括刻蚀反应箱和储液箱，储液箱通过药液管路与刻蚀反应箱连通并形成循环通路，储液箱内设置有加热器、冷却盘管和多个温度传感器；储液箱的底部设置排液管，排液管上设置阀门，阀门被配置为在达到刻蚀设备预设的生产值或温度传感器报警时使排液管与储液箱连通，排空储液箱内的刻蚀药液。该刻蚀设备，通过药液管路在刻蚀反应箱和储液箱之间形成循环回路，能够提高刻蚀药液的利用率，同时能够有效监控刻蚀药液的温度，在刻蚀药液温度异常或者达到刻蚀设备预设的生产值时能够及时将储液箱内的刻蚀药液排出，防止发生爆炸。止发生爆炸。止发生爆炸。

【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀设备及其防爆方法


[0001]本专利技术涉及刻蚀
，尤其涉及一种刻蚀设备及其防爆方法。

技术介绍

[0002]由于铜导线制程具有低电阻、低延迟等优点，可以让讯号寻址速度更快、扫描线更密集，显示画质更清新；目前大尺寸薄膜晶体管液晶显示器中的导线普遍用铜取代铝，目前的铜导线刻蚀过程中，通常采用的刻蚀药液为双氧水系，该刻蚀药液在使用时会存在以下问题：随着刻蚀制程的持续，刻蚀药液中铜离子的浓度也会不断上升，而双氧水在铜离子的作用下会有加速分解的化学变化，进一步地，随着铜导线刻蚀过程的不断进行，刻蚀药液中铜离子的浓度也不断增加，双氧水的分解速率也越来越快，双氧水的分解速率将急剧加大，产生大量气体和热量，极易导致机台发生爆炸。
[0003]传统铜蚀刻制程设备通过药液温度检测系统实时监控刻蚀药液状态。当蚀刻药液温度超过设定值时，加热器自动断电，同时冷却盘管开始工作，降低蚀刻药液温度。但刻蚀设备发生异常时,温度会在短时间内急速上升，冷却盘管无法有效降低温度，从而导致爆炸。
[0004]因此，亟待一种刻蚀设备及其防爆方法来解决现有技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种刻蚀设备，其特征在于，包括：刻蚀反应箱(1)；储液箱(2)，通过药液管路(3)与所述刻蚀反应箱(1)连通并形成循环通路，所述储液箱(2)内设置有加热器(4)，所述加热器(4)能加热所述储液箱(2)内的刻蚀药液(23)；所述储液箱(2)内还设置有冷却盘管(5)和多个温度传感器(6)，所述冷却盘管(5)内通冷却水，所述温度传感器(6)被配置为检测所述储液箱(2)内的温度；所述储液箱(2)的底部设置有排液管(21)，所述排液管(21)上设置有阀门(211)，所述阀门(211)被配置为在达到所述刻蚀设备预设的生产值或所述温度传感器(6)报警时使所述排液管(21)与所述储液箱(2)连通，排空所述储液箱(2)内的所述刻蚀药液(23)。2.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述储液箱(2)上设置有铜离子监控器(7)，所述铜离子监控器(7)用于检测所述刻蚀药液(23)的铜离子浓度。3.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述储液箱(2)上还设置有压力传感器(81)，所述压力传感器(81)用于检测所述储液箱(2)内的压力。4.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，连通刻蚀反应箱(1)和所述储液箱(2)的所述药液管路(3)的入液口的位置高于出液口的位置，以使所述刻蚀药液(23)回流到所述储液箱(2)内。5.根据权利要求1
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4任一项所述的刻蚀设备，其特征在于，所述药液管路(3)上设置有多个球阀(31)，所述球阀(31)的球体上朝向所述刻蚀药液(23)流动的方向设置有开口。6.根据权利要求1
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4任一项所述的刻蚀设备，其特征在于，所述药液管路(3)上设置有多个管路支架(32)，所述管路支架(32)用于支撑所述药液管路(3)。7.一种刻蚀设备的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓波，施利君，宋金林，
申请(专利权)人：苏州晶洲装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：