提升原料气体量效率的方法技术

本发明专利技术涉及提升原料气体量效率的方法，将与储存容器中源接触的载气先进行预加热，使储存容器内热平衡及源的蒸气压稳定；可采用内加热方式或外加热方式对载气先进行预加热，内加热方式，是在储存容器内设置载气预热管，载气预热管的进口与载气进气管连通，出口与储存源的腔室连通，储存容器置于热源中；外加热方式，是在储存容器外设置载气预热管，载气预热管的进口与载气管路连通，出口与插底管连通，插底管插入储存容器内，载气预热管设有加热单元。通过对载气进行有效的预加热，减少常温气体通过原料时对原料造成的温度降低，避免气体载料量不稳定的问题。量不稳定的问题。量不稳定的问题。

【技术实现步骤摘要】
提升原料气体量效率的方法


[0001]本专利技术涉及一种提升原料气体量效率的方法，属于半导体源应用


技术介绍

[0002]半导体源产品在常温下有气态、液态和固态，气态源在恒温恒压下，通过控制阀门的开启度即可控制其原料浓度；液态源在恒温下，通过控制载气的进气量，也可以做到原料浓度稳定；而固态源，主要是金属氯化物、三甲基铟、二茂镁和四溴化碳。
[0003]载气中的源浓度与多种因素有关，比如固体的颗粒度大小、颗粒堆积形态、载气的通过路径、温度的高低、颗粒的板结情况，导致固态源的原料浓度难以控制稳定；一旦原料浓度下降，会使制备出的芯片的化合物半导体层出现微结构不一致的情况，最终会产生很多的不良品。为了保证原料浓度的稳定，大多数固态源在未完全用尽时便进行更换，造成人力、物力、财力的损失。
[0004]目前大部分的储存容器，瓶体只有一个腔室，载气和源接触的时间短，热交换不充分，且常温载气进入高温的钢瓶中，降低了瓶内温度，打破了瓶体内固体源蒸汽压的平衡，导致瓶内气压不稳，源利用率低；另一方面，现有钢瓶空间结构各异，存在死角，清洗不便本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.提升原料气体量效率的方法，其特征在于：将与储存容器中源接触的载气先进行预加热，使储存容器内热平衡及源的蒸气压稳定。2.根据权利要求1所述的提升原料气体量效率的方法，其特征在于：采用内加热方式或外加热方式对载气先进行预加热，所述内加热方式，是在储存容器内设置载气预热管，载气预热管的进口与载气进气管连通，出口与储存源的腔室连通，储存容器置于热源中；所述外加热方式，是在储存容器外设置载气预热管，载气预热管的进口与载气管路连通，出口与插底管连通，插底管插入储存容器内，载气预热管设有加热单元。3.根据权利要求2所述的提升原料气体量效率的方法，其特征在于：所述内加热方式，载气预热管设于储存容器内底端，储存容器内设有多层活动的载源板，将储存容器内腔由下而上分隔为多个腔室，每层载源板上设有用于将上层腔室与下层腔室相连通的接管，每层载源板上还设有用于供中心管插接的中心孔，中心管穿过每层载源板，其顶端与载气进气管连通，底端与载气预热管连通，载气预热管的出口位于载气预热管所处的腔室，出气管与最上层腔室连通；载气经载气进气管进入中心管，继而载气经载气预热管预热后进入腔室，带着源蒸汽依次由下而上穿过每层载源板的接管，最终从出气管输送出，载气经载气预热管得到预热，避免容器内部进气不均匀、气压不...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐耀中，杨敏，陈化冰，沈斌，
申请(专利权)人：江苏南大光电材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：