管路连接器制造技术

本实用新型专利技术提供一种管路连接器，用于管道之间的密封连接，包括：第一连接管、第二连接管、第三连接管和密封组件；所述第二连接管的第一端与所述第一连接管的一端相互套接，所述第二连接管的第二端与所述第三连接管的一端相互套接；所述第一连接管和所述第三连接管中的至少一个可相对于所述第二连接管轴向伸缩移动；所述密封组件套设于所述第二连接管与所述第一连接管、第三连接管的套接处。本实用新型专利技术通过所述第一连接管和/或所述第三连接管相对于所述第二连接管移动来调节所述管路连接器的整体长度，使得其长度调节范围更加灵活，并且结构稳定不易形变，也便于维护和清理，并通过密封组件进一步提高了所述管路连接器的密封性和耐腐蚀性。密封性和耐腐蚀性。密封性和耐腐蚀性。

【技术实现步骤摘要】
管路连接器


[0001]本技术涉及气体输送管路领域，尤其涉及一种管路连接器。

技术介绍

[0002]半导体处理设备中有大量管道与管道之间进行密封连接的需求，现有技术通常采用硬连接方式(如焊接)或使用不锈钢波纹管作为管道之间的连接方式，但硬连接方式不便于管路维护和清理，而不锈钢波纹管易形变、易沾污，尤其是在高温腐蚀性尾气输送管路使用时，不锈钢波纹管存在如下缺点：(1)管壁较薄，仅一周时间就会被腐蚀穿孔，(2)可调节的长度范围有限，使用具有单一性，(3)存在很多褶皱，脏污不便清理。
[0003]为此，亟需一种管路连接器来解决以上问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种管路连接器，能够方便半导体设备如CVD，PVD等管路的安装，减小设备管路中的加工误差，而且耐高温、耐腐蚀，使用寿命长。
[0005]本技术提供一种管路连接器，包括第一连接管、第二连接管、第三连接管和密封组件；所述第一连接管和所述第三连接管的一端部设有法兰盘，所述第一连接管与所述第三连接管的直径相同；所述第二连接管的第一端与所述第一连接管远离所述法兰盘的一端相互套接，所述第二连接管的第二端与所述第三连接管远离所述法兰盘的一端相互套接；所述第一连接管和所述第三连接管中的至少一个可相对于所述第二连接管轴向伸缩移动；所述密封组件套设于所述第二连接管与所述第一连接管、所述第三连接管的套接处。
[0006]其有益效果在于：本技术通过所述第二连接管的第一端与所述第一连接管远离所述法兰盘的一端相互套接，所述第二连接管的第二端与所述第三连接管远离所述法兰盘的一端相互套接；所述第一连接管和所述第三连接管中的至少一个可相对于所述第二连接管轴向伸缩移动，将所述管路连接器做成可伸缩的结构，使得所述管路连接器可根据实际需求调节所需要的长度，相对于现有的不锈钢波纹管连接件而言，本技术所提供的管路连接器的长度调节范围更加灵活，更方便安装，其管壁由于无需如波纹管一样弯曲变形，管壁厚度可高于波纹管的厚度，提高了所述管路连接器的耐腐蚀性，延长了使用寿命，且所述管路连接器的结构不易形变，并且相对于波纹管的褶皱更易于清理；还通过所述密封组件套设于所述第二连接管与所述第一连接管、所述第三连接管的套接处，提高了所述管路连接器的密封性和耐腐蚀性。
[0007]优选地，所述密封组件包括至少一个外套管，所述外套管为耐腐蚀材料。其有益效果在于：所述外套管对所述第一连接管、所述第二连接管以及所述第三连接管的套接处起到密封作用，可满足上述连接管的管腔内反应室的真空需求，而且一旦上述连接管被腐蚀泄露，所述耐腐蚀外套管可起到双重保险作用，延长了所述管路连接器的使用寿命。
[0008]优选地，所述第二连接管的长度与所述第一连接管和所述第三连接管的长度之和一致。其有益效果在于：所述管路连接器的可伸缩量可达到原管道长度的两倍，扩大了所述
管路连接器的使用范围。
[0009]优选地，所述第二连接管硬连接于所述第一连接管，且所述第二连接管可拆卸连接于所述第三连接管。其有益效果在于：通过所述第二连接管硬连接于所述第一连接管，增强了所述管路连接器结构的整体稳定性。
[0010]优选地，所述第二连接管可拆卸连接于所述第一连接管和所述第三连接管。其有益效果在于：通过所述第二连接管可拆卸连接于所述第一连接管和所述第三连接管，实现所述第一连接管和所述第三连接管相对于所述第二连接管的移动，从而扩大所述管路连接器的调节长度范围，还可方便后续的维护清理。
[0011]进一步优选地，在所述外套管外部套设卡箍进行固定密封。
[0012]优选地，所述外套管与所述第一连接管、所述第二连接管和所述第三连接管之间的接触部分采用密封胶固定密封。其有益效果在于：密封胶可以随密封面形状而变形，不易流淌，是具有一定粘结性的密封材料，通过使用密封胶填充所述管路连接器的所述外套管与所述第一连接管、所述第二连接管和所述第三连接管之间的接触部分进行密封，可以达到防泄漏、防振动的效果。
[0013]优选地，所述第二连接管的外径小于所述第一连接管和所述第三连接管的内径，并与所述第一连接管和所述第三连接管的内径相适配。优选地，所述第二连接管的内径大于所述第一连接管和所述第三连接管的外径，并与所述第一连接管和所述第三连接管的外径相适配。其有益效果在于：上述各连接管之间采取内外径相适配的套接方式，使得在调节管路连接器长度时，上述连接管之间做相对运动的时候不易晃动，从而提升了所述管路连接器的稳定性。
附图说明
[0014]图1A为本技术提供的一种管路连接器的立体图；
[0015]图1B为本技术提供的一种管路连接器的剖面图；
[0016]图2A为本申请实施例提供的一种管路连接器的立体图；
[0017]图2B为本申请实施例提供的一种管路连接器的剖面图；
[0018]图2C为本申请实施例提供的另一种管路连接器的立体图；
[0019]图2D为申请实施例提供的另一种管路连接器的剖面图；
[0020]图3为本技术提供的一种管路连接器的剖面图；
[0021]图4为本技术提供的又一种管路连接器的剖面图；
[0022]图5为本技术提供的另一种管路连接器的剖面图。
[0023]图中标号：
[0024]1‑
第一连接管；
[0025]2‑
第二连接管；
[0026]3‑
第三连接管；
[0027]4‑
密封组件/外套管；
[0028]5‑
第一卡箍；
[0029]6‑
第二卡箍。
具体实施方式
[0030]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现所述词前面的元件或者物件涵盖出现在所述词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
[0031]针对现有技术存在的问题，本技术的实施例提供了一种管路连接器，用于半导体设备如CVD、PVD等管路的安装，尤其是用于将两个高温腐蚀性尾气(如氯气、氯化氢、氧气、三氧化硫、二氧化硫、氟化氢、二氧化氮、硫化氢、氨气、臭氧等具有强氧化性或强腐蚀性的气体)输送管路连接成处于流体连通状态下的管路，如图1A和图1B所示，其中图1B为图1A所示立体结构的剖面图，包括第一连接管1、第二连接管2、第三连接管3和密封组件4。结合图1B来说，所述第一连接管1和所述第三连接管3的一端部设有法兰盘，所述第一连接管1与所述第三连接管本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种管路连接器，其特征在于，包括：第一连接管、第二连接管、第三连接管和密封组件；所述第一连接管和所述第三连接管的一端部设有法兰盘，所述第一连接管与所述第三连接管的直径相同；所述第二连接管的第一端与所述第一连接管远离所述法兰盘的一端相互套接，所述第二连接管的第二端与所述第三连接管远离所述法兰盘的一端相互套接；所述第一连接管和所述第三连接管中的至少一个可相对于所述第二连接管轴向伸缩移动；所述密封组件套设于所述第二连接管与所述第一连接管、所述第三连接管的套接处。2.根据权利要求1所述的管路连接器，其特征在于，所述密封组件包括至少一个外套管，所述外套管为耐腐蚀材料。3.根据权利要求1所述的管路连接器，其特征在于，所述第二连接管的长度与所述第一连接管和所述第三连接管的长度之和一致。4.根据权利要求1所述的管路连接器，其特征在于，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐春阳，郑冬，王文，刘明军，
申请(专利权)人：楚赟精工科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：