本发明专利技术提供一种熔融机水冷板除尘装置，包括水冷板主体，水冷板主体的左右两侧分别通过螺栓与右支撑座和左支撑座固定，左支撑座的顶部和右支撑座的顶部分别通过螺栓固定有一导轨，导轨上安装有滑块，滑块上安装有除尘罩；右支撑座的下端部和左支撑座的下端部分别设有多个调节螺杆，左支撑座和右支撑座通过调节螺杆上下移动，调节螺杆的底部设有调整垫；左支撑座外侧和右支撑座的外侧设有一安装框架，安装框架通过螺栓固定在左支撑座的上端部和右支撑座的上端部，安装框架上固定有多个管夹，管夹上固定有上气管和下气管。本发明专利技术通过调节螺杆能够通过螺柱调节高低，配合工艺的要求调节水冷板高度，除尘罩下方有安装轨道，可以前后调节。后调节。后调节。
【技术实现步骤摘要】
一种熔融机水冷板除尘装置
[0001]本专利技术涉及半导体设备领域，具体涉及一种熔融机水冷板除尘装置。
技术介绍
[0002]原有的水冷板装置，没有吹扫和除尘装置，石墨电极燃烧产生的粉尘掉入正在制作的坩埚中，导致制作出来的坩埚质量不合格。
技术实现思路
[0003]针对现有技术存在的问题，本专利技术提供一种熔融机水冷板除尘装置，以解决上述至少一种技术问题。
[0004]本专利技术的技术方案是：一种熔融机水冷板除尘装置，包括水冷板主体，其特征在于，所述水冷板主体的左右两侧分别通过螺栓与右支撑座和左支撑座固定，所述左支撑座的顶部和所述右支撑座的顶部分别通过螺栓固定有一导轨，所述导轨上安装有滑块，所述滑块上安装有除尘罩；
[0005]所述右支撑座的下端部和所述左支撑座的下端部分别设有多个调节螺杆，所述左支撑座和所述右支撑座通过调节螺杆上下移动，所述调节螺杆的底部设有调整垫；
[0006]所述左支撑座外侧和所述右支撑座的外侧设有一安装框架，所述安装框架通过螺栓固定在所述左支撑座的上端部和所述右支撑座的上端部，所述安装框架上固定有多个管夹，所述管夹上固定有上气管和下气管。
[0007]本专利技术通过调节螺杆能够通过螺柱调节高低，配合工艺的要求调节水冷板高度，除尘罩下方有安装轨道，可以前后调节，适配不同尺寸的模具。调节管夹的位置角度，从而调节压缩空气管不同的角度和位置。
[0008]进一步优选，所述除尘罩的左右两侧开设有安装孔，所述安装孔与除尘罩风管联结导通。从而在吸风作用下，把灰尘带走的。
[0009]进一步优选，所述安装孔上套设有一延长管，所述延长管的孔径从外至内逐渐递减。
[0010]本专利技术通过增加一延长管能够更好的与除尘罩风管联结，便于更换。
[0011]进一步优选，所述左支撑座与所述右支撑座是结构一致的框架，所述框架包括两根横杆和三个竖杆拼接而成的第一平面，两根横杆分别固定连接在三个竖杆的上端部和下端部，所述三根竖杆的其中两根竖杆上分别设有垂直于第一平面的延长杆，所述延长杆的一侧连接导水管的一端，所述导水管的另一端与位于上端部的横杆连接。
[0012]本专利技术通过增加导水管从而能够更好的起到水冷效果。
[0013]进一步优选，所述三根竖杆根据所述除尘罩的移动方向从前至后依次为第一竖杆、第二竖杆和第三竖杆、所述第三竖杆与所述安装框架垂直连接。
[0014]本专利技术通过优化了安装框架的结构从而能够固定气管。
[0015]进一步优选，所述框架上还固定有另一导水管，所述另一导水管的一端连接所述
第一竖杆，所述另一导水管的另一端连接所述第二竖杆，且所述另一导水管呈阶梯状。
[0016]本专利技术通过增加阶梯状的导水管能够更好的起到水冷效果。
[0017]进一步优选，所述第二竖杆与所述第三竖杆分别连接所述延长杆，所述框架上还固定有有框型板，所述框型板靠近所述第一竖杆。
[0018]本专利技术通过增加框型板能够更好的起到支撑效果。
[0019]进一步优选，所述管夹的一端开设有固定槽，所述管夹通过所述固定槽与所述安装框架滑动连接，所述管夹的另一端开设有至少两个安装槽。
[0020]本专利技术通过管夹滑动连接从而能够根据使用调整位置。
[0021]进一步优选，所述安装槽的内壁附着有一磨砂层。从而增加了摩檫力，防止气管的脱离。
附图说明
[0022]图1是本专利技术的整体结构示意图；
[0023]图2是本专利技术的侧视图；
[0024]图3为本专利技术右支撑座的整体结构示意图；
[0025]图4为本专利技术左支撑座的整体结构示意图。
[0026]图中：1.水冷板主体，2右支撑座，3.左支撑座，4.除尘罩，5.滑块，6.导轨，7.调节螺杆，8.调整垫，9.安装框架，10.管夹，11.下气管，12上气管。
具体实施方式
[0027]下面结合附图对本专利技术做进一步的说明。
[0028]参照图1
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图4所示，一种熔融机水冷板除尘装置，包括水冷板主体1，水冷板主体的左右两侧分别通过螺栓与右支撑座2和左支撑座3固定，左支撑座的顶部和右支撑座的顶部分别通过螺栓固定有一导轨6，导轨上安装有滑块5，滑块上安装有除尘罩4；右支撑座的下端部和左支撑座的下端部分别设有多个调节螺杆7，左支撑座和右支撑座通过调节螺杆上下移动，调节螺杆的底部设有调整垫8；左支撑座外侧和右支撑座的外侧设有一安装框架9，安装框架通过螺栓固定在左支撑座的上端部和右支撑座的上端部，安装框架上固定有多个管夹10，管夹上固定有上气管12和下气管11。
[0029]本专利技术通过调节螺杆能够通过螺柱调节高低，配合工艺的要求调节水冷板高度，除尘罩下方有安装轨道，可以前后调节，适配不同尺寸的模具。调节管夹的位置角度，从而调节压缩空气管不同的角度和位置。
[0030]进一步优选，除尘罩的左右两侧开设有安装孔，安装孔与除尘罩风管联结导通。从而在吸风作用下，把灰尘带走的。
[0031]进一步优选，安装孔上套设有一延长管，延长管的孔径从外至内逐渐递减。本专利技术通过增加一延长管能够更好的与除尘罩风管联结，便于更换。
[0032]进一步优选，左支撑座与右支撑座是结构一致的框架，框架包括两根横杆和三个竖杆拼接而成的第一平面，两根横杆分别固定连接在三个竖杆的上端部和下端部，三根竖杆的其中两根竖杆上分别设有垂直于第一平面的延长杆，延长杆的一侧连接导水管的一端，导水管的另一端与位于上端部的横杆连接。本专利技术通过增加导水管从而能够更好的起
到水冷效果。
[0033]进一步优选，三根竖杆根据除尘罩的移动方向从前至后依次为第一竖杆、第二竖杆和第三竖杆、第三竖杆与安装框架垂直连接。本专利技术通过优化了安装框架的结构从而能够固定气管。
[0034]进一步优选，框架上还固定有另一导水管，另一导水管的一端连接第一竖杆，另一导水管的另一端连接第二竖杆，且另一导水管呈阶梯状。本专利技术通过增加阶梯状的导水管能够更好的起到水冷效果。
[0035]进一步优选，第二竖杆与第三竖杆分别连接延长杆，框架上还固定有有框型板，框型板靠近第一竖杆。本专利技术通过增加框型板能够更好的起到支撑效果。
[0036]进一步优选，管夹的一端开设有固定槽，管夹通过固定槽与安装框架滑动连接，管夹的另一端开设有至少两个安装槽。本专利技术通过管夹滑动连接从而能够根据使用调整位置。
[0037]进一步优选，安装槽的内壁附着有一磨砂层。从而增加了摩檫力，防止气管的脱离。
[0038]以上仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本专利技术的保护范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种熔融机水冷板除尘装置，包括水冷板主体，其特征在于，所述水冷板主体的左右两侧分别通过螺栓与右支撑座和左支撑座固定，所述左支撑座的顶部和所述右支撑座的顶部分别通过螺栓固定有一导轨，所述导轨上安装有滑块，所述滑块上安装有除尘罩；所述右支撑座的下端部和所述左支撑座的下端部分别设有多个调节螺杆，所述左支撑座和所述右支撑座通过调节螺杆上下移动，所述调节螺杆的底部设有调整垫；所述左支撑座外侧和所述右支撑座的外侧设有一安装框架，所述安装框架通过螺栓固定在所述左支撑座的上端部和所述右支撑座的上端部，所述安装框架上固定有多个管夹，所述管夹上固定有上气管和下气管。2.根据权利要求1所述的一种熔融机水冷板除尘装置，其特征在于，所述除尘罩的左右两侧开设有安装孔，所述安装孔与除尘罩风管联结导通。3.根据权利要求2所述的一种熔融机水冷板除尘装置，其特征在于，所述安装孔上套设有一延长管，所述延长管的孔径从外至内逐渐递减。4.根据权利要求1所述的一种熔融机水冷板除尘装置，其特征在于，所述左支撑座与所述右支撑座是结构一致的框架，所述框架包括两根横杆和三个竖杆拼接而成的第一平面，两根横杆分别固定连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐淑文，贺贤汉，夏孝平，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：
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