【技术实现步骤摘要】
一种量子阱结构、LED芯片及制作方法
[0001]本专利技术涉及LED
,更具体地说,涉及一种量子阱结构、LED芯片及制作方法。
技术介绍
[0002]发光二极管(LED)作为一种新型的半导体固态光源,其优越的性能在照明领域掀起新的浪潮。尤其是mini
‑
LED,由于其与传统LED相比,颗粒更小、显示效果更加细腻、亮度更高,已经成为当今国内外科学研究的热点。
[0003]随着科技的进步与工艺水平的提高,mini
‑
LED在发光效率、外延生长技术等方面也取得了巨大的突破,但是相比于传统LED,mini
‑
LED仍然存在一些问题亟待解决,例如,mini
‑
LED对于外延波长均匀性的要求尤其偏高,这也是目前制约mini
‑
LED技术发展的重要因素之一。
[0004]目前,量子阱结构可以应用于mini
‑
LED提升外延片波长均匀性和亮度。但是由于传统的多层量子阱In
y
Ga1‑
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种量子阱结构,其特征在于,所述量子阱结构包括:多个量子阱叠层,多个所述量子阱叠层在第一方向上依次堆叠设置;任一所述量子阱叠层包括在所述第一方向上依次堆叠的In
y
Ga1‑
y
N层、超晶格治疗层、以及GaN层,其中,y的取值范围为0.16
‑
0.2;所述第一方向垂直于所述In
y
Ga1‑
y
N层所在平面,且由所述In
y
Ga1‑
y
N层指向所述GaN层;所述超晶格治疗层包括多个晶格叠层,多个所述晶格叠层在所述第一方向上依次堆叠设置;任一所述晶格叠层包括在所述第一方向上,依次堆叠的InN层、以及In
x
Ga1‑
x
N层,其中,x的取值范围为0.16
‑
0.2。2.根据权利要求1所述的量子阱结构,其特征在于,所述超晶格治疗层包括2层
‑
5层的晶格叠层。3.根据权利要求1所述的量子阱结构,其特征在于,所述InN层的厚度范围为0.1nm
‑
0.4nm。4.根据权利要求1所述的量子阱结构,其特征在于,所述In
x
Ga1‑
x
N层的厚度范围为0.1nm
‑
0.4nm。5.根据权利要求1所述的量子阱结构,其特征在于,所述In
y...
【专利技术属性】
技术研发人员:聂虎臣,崔晓慧,霍丽艳,刘兆,
申请(专利权)人:江西乾照光电有限公司,
类型:发明
国别省市:
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