一种新型磁控真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型磁控真空镀膜机，包括主体，所述主体的两端均设置有镀膜机盖，所述镀膜机盖的外表面固定安装有连接板，所述连接板的下方设置有连接块，所述连接块与连接板通过连接杆滑动连接，所述主体的上方固定安装有真空装置，所述真空装置的两侧均设置有抽气口，所述主体两侧均固定安装有L型定位板，所述主体的下方设置有支撑台，所述支撑台的外表面设置有控制开关，所述支撑台的下方设置有自锁滑轮，所述主体的内侧设置有磁控溅射装置，所述磁控溅射装置的两侧均设置有放置仓，所述放置仓的两端均设置有定位环，所述放置仓的外表面设置有从动轮。本实用新型专利技术增加了装置的工作效率，提高了装置的工作效果和稳定性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种新型磁控真空镀膜机


[0001]本技术涉及镀膜机
，具体为一种新型磁控真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]但是，现有的磁控真空镀膜机工作效率不够高，并且装置的镀膜效果不够好；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种新型磁控真空镀膜机。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种新型磁控真空镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的磁控真空镀膜机工作效率不够高，并且装置的镀膜效果不够好等问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型磁控真空镀膜机，包括主体，所述主体的两端均设置有镀膜机盖，所述镀膜机盖的外表面固定安装有连接板，所述连接板的下方设置有连接块，所述连接块与连接板通过连接杆滑动连接，所述主体的上方固定安装有真空装置，所述真空装置的两侧均设置有抽气口，所述主体两侧均固定安装有L型定位板，所述主体的下方设置有支撑台，所述支撑台的外表面设置有控制开关，所述支撑台的下方设置有自锁滑轮，所述主体的内侧设置有磁控溅射装置，所述磁控溅射装置的两侧均设置有放置仓，所述放置仓的两端均设置有定位环，所述放置仓的外表面设置有从动轮，所述放置仓的内表面均匀排列有弹性板，所述弹性板的外表面设置有防滑条纹，所述支撑台的内侧设置有工作仓，所述工作仓的内侧设置有电机，所述电机的两侧均设置有传动轴，所述传动轴的一端固定安装有主动轮。
[0006]优选的，所述工作仓与主体为一体成型结构，所述工作仓与支撑台的内侧通过螺钉固定。
[0007]优选的，所述镀膜机盖的内表面设置有密封圈。
[0008]优选的，所述L型定位板与水平面呈六十度夹角，所述L型定位板的两端均与主体的外表面完全贴合，所述L型定位板与主体通过焊接固定。
[0009]优选的，所述弹性板的一端与放置仓的内表面完全贴合，所述弹性板与放置仓通过焊接固定，所述弹性板的外表面设置有耐高温涂层。
[0010]优选的，所述主动轮与从动轮啮合，所述定位环与主体的内表面滑动连接。
[0011]优选的，所述传动轴的一端与主动轮的内表面完全贴合，所述传动轴与主动轮通过焊接固定。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、本技术通过放置仓内设置的弹性板，可以增加装置对不同基片的适应性，利用弹性板外表面设置的防滑条纹，增加了基片安装的稳定性，在将基片安装好后，将镀膜
机盖闭合，将控制开关打开，利用真空装置，是主体保持真空环境，此时打开磁控溅射装置，在磁控溅射装置的两侧均设置有放置仓，可以同时对两个基片进行镀膜，提高了装置的工作效率；
[0014]2、本技术在放置仓的外表面设置有从动轮和定位环，通过电机带动主动轮，利用主动轮带动从动轮，使放置仓开始缓慢旋转，使基片的外表面可以均匀的镀膜，提高了装置的镀膜效果，在支撑台的下方设置有自锁滑轮，方便装置进行移动，提高了装置的机动性。
附图说明
[0015]图1为本技术整体的结构示意图；
[0016]图2为本技术主体的内部结构示意图；
[0017]图3为本技术支撑台的局部结构示意图；
[0018]图4为本技术的局部结构示意图。
[0019]图中：1、真空装置；2、抽气口；3、主体；4、L型定位板；5、支撑台；6、自锁滑轮；7、控制开关；8、连接块；9、连接板；10、镀膜机盖；11、定位环；12、放置仓；13、连接杆；14、弹性板；15、防滑条纹；16、工作仓；17、主动轮；18、电机；19、传动轴；20、磁控溅射装置；21、从动轮。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0021]请参阅图1至图4，本技术提供的一种实施例：一种新型磁控真空镀膜机，包括主体3，主体3的两端均设置有镀膜机盖10，镀膜机盖10的外表面固定安装有连接板9，连接板9的下方设置有连接块8，连接块8与连接板9通过连接杆13滑动连接，主体3的上方固定安装有真空装置1，真空装置1的两侧均设置有抽气口2，主体3两侧均固定安装有L型定位板4，主体3的下方设置有支撑台5，支撑台5的外表面设置有控制开关7，支撑台5的下方设置有自锁滑轮6，主体3的内侧设置有磁控溅射装置20，磁控溅射装置20的两侧均设置有放置仓12，放置仓12的两端均设置有定位环11，放置仓12的外表面设置有从动轮21，放置仓12的内表面均匀排列有弹性板14，弹性板14的外表面设置有防滑条纹15，支撑台5的内侧设置有工作仓16，工作仓16的内侧设置有电机18，电机18的两侧均设置有传动轴19，传动轴19的一端固定安装有主动轮17。
[0022]进一步，工作仓16与主体3为一体成型结构，工作仓16与支撑台5的内侧通过螺钉固定。
[0023]通过采用上述技术方案，增加了装置的密封效果，提高装置工作的稳定性。
[0024]进一步，镀膜机盖10的内表面设置有密封圈。
[0025]通过采用上述技术方案，增加了装置的密封性，保持装置内的真空环境，提高装置的工作效果。
[0026]进一步，L型定位板4与水平面呈六十度夹角，L型定位板4的两端均与主体3的外表面完全贴合，L型定位板4与主体3通过焊接固定。
[0027]通过采用上述技术方案，增加了L型定位板4对主体3的定位效果，提高了主体3工作时的稳定性。
[0028]进一步，弹性板14的一端与放置仓12的内表面完全贴合，弹性板14与放置仓12通过焊接固定，弹性板14的外表面设置有耐腐蚀涂层。
[0029]通过采用上述技术方案，增加了弹性板14的使用寿命，提高了基片安装时的稳定性。
[0030]进一步，主动轮17与从动轮21啮合，定位环11与主体3的内表面滑动连接。
[0031]通过采用上述技术方案，增加了齿轮传动的效果，提高了装置镀膜的效果。
[0032]进一步，传动轴19的一端与主动轮17的内表面完全贴合，传动轴19与主动轮17通过焊接固定。
[0033]通过采用上述技术方案，通过焊接固定传动轴19与主动轮17，增加了齿轮传动的稳定性。
[0034]工作原理：使用时，首先，将主体3两端的镀膜机盖10打开，将基片放入放置仓12内，通过放置仓12内设置的弹性板14，可以增加装置对不同基片的适应性，利用弹性板14外表面设置的防滑条纹15，增加了基片安装的稳定性，在将基片安装好后，将镀膜机盖10闭合，将控制开关7打开，利用真空装置1，是主体3保持真空环境，此时打开磁控溅射装置20，在磁控溅射装置20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型磁控真空镀膜机，包括主体(3)，其特征在于：所述主体(3)的两端均设置有镀膜机盖(10)，所述镀膜机盖(10)的外表面固定安装有连接板(9)，所述连接板(9)的下方设置有连接块(8)，所述连接块(8)与连接板(9)通过连接杆(13)滑动连接，所述主体(3)的上方固定安装有真空装置(1)，所述真空装置(1)的两侧均设置有抽气口(2)，所述主体(3)两侧均固定安装有L型定位板(4)，所述主体(3)的下方设置有支撑台(5)，所述支撑台(5)的外表面设置有控制开关(7)，所述支撑台(5)的下方设置有自锁滑轮(6)，所述主体(3)的内侧设置有磁控溅射装置(20)，所述磁控溅射装置(20)的两侧均设置有放置仓(12)，所述放置仓(12)的两端均设置有定位环(11)，所述放置仓(12)的外表面设置有从动轮(21)，所述放置仓(12)的内表面均匀排列有弹性板(14)，所述弹性板(14)的外表面设置有防滑条纹(15)，所述支撑台(5)的内侧设置有工作仓(16)，所述工作仓(16)的内侧设置有电机(18)，所述电机(18)的两侧均设置有传动轴(19)，所述传动轴(19)的一端固定安装有主动轮(17)...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏文校，
申请(专利权)人：东莞市优上纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：