基板处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术具备：保持基板的基板保持件；具备直接操作基板的末端执行器和使末端执行器移动的驱动机构，并向基板保持件移载基板或者从基板保持件移载基板的基板移载机；检测末端执行器的振动的振动传感器；控制基板移载机的控制部；以及解析装置，其能够接收表示预定的移载动作的开始和结束的信号地与所述控制部连接，并且能够接收所述末端执行器的振动的时域数据地与所述振动传感器连接，在所述预定的移载动作中，判定末端执行器或末端执行器上的基板与基板保持件或基板保持件上的基板是否相互接触，控制部将表示预定的移载动作的开始和结束的信号输出至解析装置。始和结束的信号输出至解析装置。始和结束的信号输出至解析装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板处理装置


[0001]本公开涉及基板处理装置。

技术介绍

[0002]基板处理装置构成为例如通过基板移载机从收纳基板(以下也称为晶圆) 的收纳容器(以下也称为晶圆盒)向作为基板保持器具的晶舟输送晶圆，将保持有晶圆的晶舟装入反应炉，在反应炉内对晶圆进行预定的处理。
[0003]基板移载机在晶圆盒与晶舟之间进行晶圆的移载，具有在将晶圆载置于基板移载机的夹钳上的状态下进退、升降、旋转的功能。以在通过该基板移载机将晶圆从晶圆盒载置于夹钳时或将载置于夹钳的晶圆装载于晶舟的情况等下能够将晶圆载置于正规的位置的方式进行示教作业。
[0004]但是，有时由于晶圆的变形、由设置于基板处理装置的泵等引起的振动、夹钳的经年变化等，晶圆被装载于与示教作业不同的位置而产生晶圆的位置偏移。若晶圆的位置偏移变大，则夹钳或夹钳上的晶圆与晶舟或晶舟上的晶圆等接触，存在晶圆破损、或者晶舟翻倒的情况。
[0005]一直以来，为了将该翻倒事故防患于未然而利用设置于基板移载机的碰撞传感器来检测碰撞时的振动(例如，参照专利文献1)。另外，在支承晶圆的支承台上检本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板处理装置，其特征在于，所述基板处理装置具备：基板保持件，其保持基板；基板移载机，其具备直接操作基板的末端执行器和使所述末端执行器移动的驱动机构，并向所述基板保持件移载基板或者从所述基板保持件移载基板；振动传感器，其检测所述末端执行器的振动；控制部，其控制所述基板移载机；以及解析装置，其能够接收表示预定的移载动作的开始和结束的信号地与所述控制部连接，并且能够接收所述末端执行器的振动的时域数据地与所述振动传感器连接，在所述预定的移载动作中，判定所述末端执行器或所述末端执行器上的基板与所述基板保持器具或所述基板保持器具上的基板是否相互接触。2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述末端执行器具有在铅垂方向上配置多个的U字型的薄板状的夹钳。3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述解析装置通过提取所述时域数据的、针对预定的多个样本线中的每一个跨越了样本线的次数即变化量、以及大于样本线的值的数据数量即存在量来作为特征量，由此生成多变量数据，计算基于在正常进行了所述基板移载机的基板的移载动作时由所述振动传感器检测出的所述末端执行器的振动的多个时域数据而生成的多变量数据平均值和协方差矩阵，使用所述协方差矩阵来定义正常空间，根据在进行所述基板移载机的移载动作的期间基于由所述振动传感器检测出的时域数据而生成的多变量数据，在移载动作中计算所述正常空间上的马氏距离。4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，所述解析装置按照移载中的基板的片数、所述末端执行器的移动速度、所述末端执行器向所述基板保持件的插入状态、在所述基板保持件的周围流动的风的风量、所述基板保持件的温度或按照收容有所述基板保持件的所述处理室的温度而分别储存多个正常空间，从所述多个正常空间中选择与进行了所述基板移载机的移载动作时的状态一致的正常空间，计算所选择出的正常空间上的马氏距离。5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述控制部将表示所述预定的移载动作的开始和结束的信号输出至...

【专利技术属性】
技术研发人员：大石护，
申请(专利权)人：株式会社国际电气，
类型：新型
国别省市：