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本实用新型具备：保持基板的基板保持件；具备直接操作基板的末端执行器和使末端执行器移动的驱动机构，并向基板保持件移载基板或者从基板保持件移载基板的基板移载机；检测末端执行器的振动的振动传感器；控制基板移载机的控制部；以及解析装置，其能够接收表...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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