图像感测装置制造方法及图纸

一种图像感测装置包括：半导体基板；多个光电转换元件，其由半导体基板支撑，每个光电转换元件被配置为通过执行对入射光的光电转换来生成与入射光相对应的电信号；多个滤色器，其设置在半导体基板上，以对要由光电转换元件接收的入射光进行过滤，每个滤色器被配置为允许具有特定颜色的光通过；以及栅格结构，其设置在滤色器之间，并且被构造为包括具有基于相邻滤色器的颜色的形状的不对称侧壁。于相邻滤色器的颜色的形状的不对称侧壁。于相邻滤色器的颜色的形状的不对称侧壁。

【技术实现步骤摘要】
图像感测装置


[0001]本专利文件中公开的技术和实施方式总体上涉及图像感测装置。

技术介绍

[0002]图像感测装置用于电子装置中以将光学图像转换成电信号。随着汽车、医疗、计算机和通信行业的最新发展，在诸如数码相机、便携式摄像机、个人通信系统(PCS)、视频游戏机、监控摄像机、医疗微型摄像机、机器人等的各种电子装置中，对高度集成的高性能图像传感器的需求迅速增长。

技术实现思路

[0003]所公开技术的各个实施方式涉及一种用于校正滤色器的颜色之间的灵敏度差异以更容易地实现高动态范围(HDR)的图像感测装置。
[0004]根据所公开技术的一个实施方式，图像感测装置可以包括：半导体基板；多个光电转换元件，所述多个光电转换元件由半导体基板支撑，每个光电转换元件被配置为通过执行对入射光的光电转换来生成与入射光相对应的电信号；多个滤色器，所述多个滤色器设置在半导体基板上，以对要由光电转换元件接收的入射光进行过滤，每个滤色器被配置为允许具有特定颜色的光通过；以及栅格结构，其设置在滤色器之间，并且被构造为包括具有基于相邻滤色器的颜色的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：半导体基板；多个光电转换元件，所述多个光电转换元件由所述半导体基板支撑，每个光电转换元件被配置为通过执行对入射光的光电转换来生成与所述入射光相对应的电信号；多个滤色器，所述多个滤色器设置在所述半导体基板上，以对要由所述光电转换元件接收的入射光进行过滤，每个滤色器被配置为允许具有特定颜色的光通过；以及栅格结构，所述栅格结构设置在所述滤色器之间，并且被构造为包括具有基于相邻滤色器的颜色的形状的不对称侧壁。2.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述栅格结构包括：第一侧壁，所述第一侧壁被配置为具有垂直轮廓；以及第二侧壁，所述第二侧壁与所述第一侧壁相对，并且被配置为具有倒圆形轮廓。3.根据权利要求2所述的图像感测装置，其中：所述第一侧壁被布置为与除绿色滤色器之外的滤色器相邻。4.根据权利要求2所述的图像感测装置，其中：所述第二侧壁被布置为与绿色滤色器相邻。5.根据权利要求2所述的图像感测装置，其中：所述第一侧壁包括具有第一反射率的第一金属层；并且所述第二侧壁包括具有低于所述第一反射率的第二反射率的第二金属层。6.根据权利要求5所述的图像感测装置，其中：所述第一金属层包括钛Ti和氮化钛TiN中的至少一者。7.根据权利要求5所述的图像感测装置，其中：所述第二金属层包括钨W。8.根据权利要求5所述的图像感测装置，其中：所述第一金属层与所述第二金属层的底表面接触。9.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：滤色器层，所述滤色器层包括被配置为允许特定颜色的光通过的多个滤色器；以及栅格结构，所述栅格结构设置在所述滤色器之间，其中，所述多个滤色器包括：第一滤色器，所述第一滤色器具有第一尺寸；以及第二滤色器，所述第二滤色器具有大于所述第一尺寸的第二尺寸，其中，所述栅格结构包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴先镐，
申请(专利权)人：爱思开海力士有限公司，
类型：发明
国别省市：