一种晶圆切割刀片复合沉积的安装工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆切割刀片复合沉积的安装工装，其结构包括串杆以及若干塑料挡板，串杆的底部固定有底盘，晶圆切割刀片和塑料挡板间隔串在串杆上且使得任意一个晶圆切割刀片被夹在两个所述塑料挡板之间，塑料挡板包括圆形块以及对称设置在圆形块上下两面的抵触面，抵触面的边缘形成有向外凸起的环形台阶面，抵触面的内部形成有向内凹陷的圆形避让槽，串杆的顶部从上到下分别设有下压螺母、固定件，固定件使得下压螺母弹性压紧在圆形避让槽的内部，本实用新型专利技术降低了抵触面对晶圆切割刀片表面的摩擦作用，从而对晶圆切割刀片的表面起到保护的作用。表面起到保护的作用。表面起到保护的作用。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆切割刀片复合沉积的安装工装
[0001]
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[0002]本技术涉及一种晶圆切割刀片的生产
，尤其是一种晶圆切割刀片复合沉积的安装工装。
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技术介绍
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[0004]晶圆切割刀片一般呈圆形，其结构一般分为中心位置的安装面以及边缘位置的切割面，其中，切割面上需要电沉积金刚石颗粒，以确保晶圆切割刀片的锋利度，安装面需要确保光滑度，主要用于和外界的车床进行安装，因此，安装面的光滑度直接关系到后续晶圆切割刀片的安装精度，进而会影响后续半导体芯片的切割精度，鉴于此，在晶圆切割刀片的生产过程中，一般采用塑料挡板挡住安装面，将安装面和和外界的电解液隔绝，以避免金刚石颗粒沉积在安装面上，因此，塑料挡板挡住安装面的密封性显得尤为重要，然而现有技术中，为了确保塑料挡板在安装面上的密封性，需要采用下压螺母将塑料挡板紧紧下压在安装面上，然而塑料挡板和安装面之间是面和面的接触，这就导致塑料挡板在安装面上过于压紧而导致塑料挡板损坏安装面，导致安装面的光滑度下降，影响后续晶圆切割刀片安装的精度，其次，下压螺母在塑料挡板上的过于压紧也会很容易导致下压螺母卡死本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割刀片复合沉积的安装工装，其特征在于：其结构包括串杆（1）以及若干塑料挡板（2），所述串杆（1）的底部固定有底盘（11），晶圆切割刀片（100）和所述塑料挡板（2）间隔串在所述串杆（1）上且使得任意一个晶圆切割刀片（100）被夹在两个所述塑料挡板（2）之间，所述塑料挡板（2）包括圆形块（21）以及对称设置在所述圆形块（21）上下两面的抵触面（22），所述抵触面（22）的边缘形成有向外凸起的环形台阶面（3），所述抵触面（22）的内部形成有向内凹陷的圆形避让槽（4），所述串杆（1）的顶部从上到下分别设有下压螺母（5）、固定件（6），所述固定件（6）使得所述下压螺母（5）弹性压紧在所述圆形避让槽（4）的内部。2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割刀片复合沉积的安装工装，其特征在于：所述圆形块（21）的侧面设有校准槽（211），所述校准槽（...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱恺华，焦旭东，王百强，
申请(专利权)人：南通伟腾半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：