下载一种晶圆切割刀片复合沉积的安装工装的技术资料

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本实用新型公开了一种晶圆切割刀片复合沉积的安装工装,其结构包括串杆以及若干塑料挡板,串杆的底部固定有底盘,晶圆切割刀片和塑料挡板间隔串在串杆上且使得任意一个晶圆切割刀片被夹在两个所述塑料挡板之间,塑料挡板包括圆形块以及对称设置在圆形块上下两...
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