本实用新型专利技术提供了一种可提高转移灵活性的晶舟转换器，用于将晶圆从初始晶舟转移至目的晶舟。现有技术的顶推件为一体件，其仅能将初始晶舟中所有的晶圆同时转移到目的晶舟，无法进行选择性的转移。本实用新型专利技术具有底座和顶推机构，该底座上具有容纳该顶推机构的导轨和用于驱动该顶推机构沿导轨运动的驱动装置，该顶推机构具有设置在导轨中的从动件、垂直设置在该从动件上的连接件以及垂直设置在该连接件上的顶推件，该顶推件对应晶舟的每一晶圆槽设置一顶推单元，该些顶推单元轴接在该连接件上且其对应是否用于顶推晶圆而具有顶推位和闲置位。采用本实用新型专利技术可提高晶舟转换器转移晶圆的灵活性和效率。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶舟转换器，尤其涉及一种可提高转移灵活性的晶舟转换器。
技术介绍
在半导体制造领域中，为避免各个工序的交叉污染，每个工序都有特定的 晶舟(或晶圆盒)来盛放进行或完成该工序的晶圆，当晶圓完成一个工序并进 入下一个工序时，需将晶圆从上一个工序的晶舟转移到下一工序的晶舟中，现通常使用真空吸笔(vacuum wand)并通过人工方式来实现晶圆的转移，用真空 吸笔人工转移晶圆存在着效率低下的缺点，但其更严重的缺点是易损坏晶圆或 在晶圆上产生缺陷。为克服上述真空吸笔转移晶圆所带来的种种缺失，业界遂有人专利技术了可实 现从一个晶舟到另一个晶舟整批转移晶圆的晶舟转换器，如图1所示，现有技 术中的晶舟转换器具有用于置放初始晶舟和目的晶舟的底座10和设置在底座10 中用于将晶圆从初始晶舟顶推至目的晶舟的顶推机构11，该底座10上具有容纳 该顶推机构11的导轨和用于驱动该顶推机构11沿导轨IOO运动的驱动装置， 该底座10上具有分别用于置放初始晶舟和目的晶舟的初始晶舟置放区100和目 的晶舟置放区101，该顶推机构11设置在底座10上且临近该初始晶舟置放区 100，该顶推机构11具有设置在导轨中的从动件110、垂直设置在该从动件110 上的连接件111以及垂直设置在该连接件111上且直接顶推晶圆的顶推件112。 顶推件112为一体件，该驱动装置驱动顶推^L构11顶推初始晶舟中的晶圆至目 的晶舟时，该顶推件112会将初始晶舟中所有的晶圆转移至目的晶舟，当仅需 将初始晶舟中的部分晶圆转移至该目的晶舟时，图1中的晶舟转换器无法实现 该部分转移的功能，如此还需借助真空吸笔来实现晶圆的部分转移。因此，如何提供一种可提高转移灵活性的晶舟转换器以实现将初始晶舟的晶圆部分或全部的转移至目的晶舟，且可避免晶圆的损坏，并可大大提高晶圓 转移的灵活性，已成为业界亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可提高转移灵活性的晶舟转换器，通过所 述晶舟转换器可实现初始晶舟中的部分和全部晶圆的转移，且可避免转移时损 坏晶圆，并可大大提高晶圆转移的灵活性。本技术的目的是这样实现的 一种可提高转移灵活性的晶舟转换器， 用于将晶圆从初始晶舟转移至目的晶舟，该晶舟转换器具有一用于置放初始晶 舟和目的晶舟的底座和一设置在底座一側且用于将晶圆从初始晶舟顶推至目的 晶舟的顶推机构，该底座上具有容纳该顶推机构的导轨和一用于驱动该顶推机 构沿导轨运动的驱动装置，该顶推机构具有一设置在导轨中的从动件、 一垂直 设置在该从动件上的连接件以及一垂直设置在该连接件上且直接顶推晶圆的顶 推件，该顶推件对应晶舟的每一晶圆槽设置一顶推单元，该些顶推单元轴接在 该连接件上且其对应是否用于顶推晶圆而具有顶推位和闲置位。在上述的可提高转移灵活性的晶舟转换器中，该顶推单元与该从动件位于 连接件同侧且其轴线与晶圆的直径重合时，该顶推单元位于顶推位，该顶推单 元与该从动件位于连接件异侧时，该顶推单元位于闲置位。在上述的可提高转移灵活性的晶舟转换器中，该底座上具有分别用于置放 初始晶舟和目的晶舟的初始晶舟置放区和目的晶舟置放区，该顶推机构设置在 底座临近该初始晶舟置放区的 一侧。在上述的可提高转移灵活性的晶舟转换器中，该从动件在导轨中具有第一 停留位和第二停留位，该第一停留位和第二停留位分别临近该目的晶舟置放区 和初始晶舟置放区。在上述的可提高转移灵活性的晶舟转换器中，该驱动装置为直线电机或液 压缸。在上述的可提高转移灵活性的晶舟转换器中，该顶推单元为一末端具有一 通孔的条状叶片，其通过该通孔轴接在该连接件上。与现有技术中的晶舟转换器无法将初始晶舟的部分晶圆转移至目的晶舟相比，本技术的顶推件对应晶舟的每一晶圆槽设置一顶推单元，该些顶推单 元轴接在该连接件上且其具有顶推位和闲置位，通过将需转移的晶圆对应的顶 推单元设置在顶推位，且将其他的顶推单元设置在闲置位，之后通过驱动装置 驱动顶推件将晶圆部分或全部的从初始晶舟转移至目的晶舟，如此可大大提高 晶圆转移的灵活性和效率，且可避免损毁晶圓。附图说明本技术的可提高转移灵活性的晶舟转换器由以下的实施例及附图给出。图1为现有技术的晶舟转换器的主视图2为本技术的可提高转移灵活性的晶舟转换器的主^f见图。具体实施方式以下将对本技术的可提高转移灵活性的晶舟转换器作进一步的详细描述。参见图2，本技术的可提高转移灵活性的晶舟转换器用于将晶圆从初始 晶舟转移至目的晶舟，所述晶舟转换器具有底座20和顶推机构21。所述底座 20上具有分别用于置放初始晶舟和目的晶舟的初始晶舟置放区200和目的晶舟 置放区201，且底座20中具有容纳所述顶推机构21的导轨(未图示)和用于驱 动所述顶推机构21沿导轨运动的驱动装置(未图示)，所述驱动装置为直线电 才几或液压缸。继续参见图2，所述顶推机构21设置在底座20上临近所述初始晶舟置放区 200的一侧，用于将晶圆从初始晶舟顶推至目的晶舟，其包括从动件210、连接 件211和顶推件212，所述从动件210设置在导轨中且在驱动装置的驱动下运动， 连接件211垂直设置在所述从动件210上，顶推件212垂直设置在所述连接件 211上且直接顶推晶圆。所述从动件210在导轨中具有第 一停留位和第二停留位， 其分别排布在靠近目的晶舟置放区201和初始晶舟置放区200的一側。当需通 过所述顶推件212将晶圆从初始晶舟转移至目的晶舟时，所述驱动装置驱动所 述从动件210从第二停留位运动至第一停留位，完成晶圆的转移后，所述驱动装置驱动从动件210从第一停留位运动至第二停留位。再请参见图2，所述顶推件212对应晶舟的每一晶圆槽设置一顶推单元 212a,现业界所使用的晶舟通常具有25个晶圓槽，故本技术的顶推件212 具有25个顶推单元212a。所述顶推单元212a为末端具有一通孔的条状叶片， 其通过所述通孔轴接在所述连接件211上。顶推单元212a具有顶推位和闲置位， 当顶推单元212a与所述从动件210位于连接件211同侧且其轴线与晶圆的直径 重合时，其位于顶推位；所述顶推单元212a与所述从动件210位于连接件异側时，其位于闲置位。需说明的是，本技术可通过人工方式来将需转移的晶圆所对应的顶推 单元212a放置到顶推位，而将其他剩余的顶推单元212a放置到闲置位，之后 通过驱动装置驱动顶推机构21来将晶圆从初始晶舟转移到目的晶舟；本实用新 型也可设置有一顶推单元自动放置模块来实现顶推单元的自动放置，所述顶推 单元自动放置模块具有一设定单元和一执行单元，用户通过所述设定单元将需 转移的晶圆所对应的顶推单元212a设置为顶推位，而将其他剩余的顶推单元 212a设置为闲置位，之后执行单元依照用户的设定而将转移的晶圆所对应的顶 推单元212a驱动到顶推位，而将其他剩余的顶推单元212a驱动到闲置位。综上所述，本技术的顶推件对应晶舟的每一晶圆槽设置一顶推单元， 所述些顶推单元轴接在所述连接件上且其具有顶推位和闲置位，通过将需转移 的晶圆对应的顶推单元设置在顶推位，且将其他的顶推单元设置在闲置位，之 后通过驱动装置驱动顶推件将晶圆部分或全部的从初始晶舟转移至目的晶舟， 如此可实现部分或全部本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种可提高转移灵活性的晶舟转换器，用于将晶圆从初始晶舟转移至目的晶舟，该晶舟转换器具有一用于置放初始晶舟和目的晶舟的底座和一设置在底座一侧且用于将晶圆从初始晶舟顶推至目的晶舟的顶推机构，该底座上具有容纳该顶推机构的导轨和一用于驱动该顶推机构沿导轨运动的驱动装置，该顶推机构具有一设置在导轨中的从动件、一垂直设置在该从动件上的连接件以及一垂直设置在该连接件上且直接顶推晶圆的顶推件，其特征在于，该顶推件对应晶舟的每一晶圆槽设置一顶推单元，该些顶推单元轴接在该连接件上且其对应是否用于顶推晶圆而具有顶推位和闲置位。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵俊深，吕秋玲，杨洪春，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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