一种多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统，包括过滤器筒体、过滤器滤芯、工艺尾气进料管线、过滤气体排放管线、置换氮气进气管线、置换气泄压管线、反吹氢气进气管线、安全泄压管线、过滤器压差管线以及过滤器硅粉排放口；过滤器滤芯为一组，设置在过滤器筒体的内部，通过可拆卸方式安装在过滤器上方的盖合口处；工艺尾气进料管线与过滤器筒体的下部一侧连接，将上游工艺尾气送入过滤器筒体内；过滤气体排放管线与过滤器筒体顶部连接，工艺尾气进料管线送入的上游工艺尾气，经过滤器滤芯过滤后，从过滤气体排放管线排出并送入后续的压缩机；过滤器硅粉排放口位于过滤器筒体的最底部，用于将过滤下来的硅粉向外排出收集。集。集。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统


[0001]本技术属于多晶硅制备装置领域，具体是一种多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统。

技术介绍

[0002]改良西门子法多晶硅生产工艺中三氯氢硅和氢气在灼热的硅芯表面发生还原反应，其过程会产生大量的工艺尾气及硅粉，上述副产物经深冷分离后，剩余的氢气进入压缩机提压至1.0Mpa返回系统参与循环。在上述过程中，因还原反应副产硅粉的量受反应温度、物料浓度、氢气配比等因素影响，其生成量不受控。下游工序通过深冷分离仅能够有效分离硅烷、HCl等气体，部分细硅粉夹杂在尾气中无法有效分离，会对后系统的泵、压缩机造成影响，严重时会造成被迫停机。
[0003]目前业内普遍采用在下游系统泵、压缩机前增设提篮式过滤器的方式对还原反应生成的硅粉予以去除。但提篮式滤网采用40
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80目滤网，过滤效果较差，且滤网前端受片状硅粉影响堵塞严重，后端无堵塞，影响过滤效率。此外，滤网产生的压降过大，易造成憋压，从而影响上下游系统平衡；受硅粉冲刷影响，滤芯损耗严重，冲刷下的金属杂质严重影响产品品质。r/>
技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统，其特征在于，包括过滤器筒体(1)、过滤器滤芯(2)、工艺尾气进料管线(3)、过滤气体排放管线(4)、置换氮气进气管线(5)、置换气泄压管线(6)、反吹氢气进气管线(7)、安全泄压管线(9)、过滤器压差管线(11)以及过滤器硅粉排放口(13)；所述的过滤器滤芯(2)为一组，设置在过滤器筒体(1)的内部，通过可拆卸方式安装在过滤器上方的盖合口(101)处；所述工艺尾气进料管线(3)与过滤器筒体(1)的下部一侧连接，将上游工艺尾气送入过滤器筒体(1)内；所述过滤气体排放管线(4)与过滤器筒体(1)顶部连接，工艺尾气进料管线(3)送入的上游工艺尾气，经过滤器滤芯(2)过滤后，从过滤气体排放管线(4)排出并送入后续的压缩机；所述的置换氮气进气管线(5)与过滤器筒体(1)的底部一侧连接，用于向过滤器筒体(1)内部送入置换氮气，所述置换气泄压管线(6)与过滤器筒体(1)顶部连接，用于置换氮气的排放泄压；所述反吹氢气进气管线(7)连接在过滤器筒体(1)的顶部一侧，位于盖合口(101)上方，用于向过滤器筒体(1)内部送入反吹氢气，将过滤器滤芯(2)外壁附着的硅粉吹扫下来；所述安全泄压管线(9)连接在过滤器筒体(1)的顶部，用...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭亮亮，张然，刘杰，
申请(专利权)人：新疆协鑫新能源材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：