一种多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统，包括过滤器筒体、过滤器滤芯、工艺尾气进料管线、过滤气体排放管线、置换氮气进气管线、置换气泄压管线、反吹氢气进气管线、安全泄压管线、过滤器压差管线以及过滤器硅粉排放口；过滤器滤芯为一组，设置在过滤器筒体的内部，通过可拆卸方式安装在过滤器上方的盖合口处；工艺尾气进料管线与过滤器筒体的下部一侧连接，将上游工艺尾气送入过滤器筒体内；过滤气体排放管线与过滤器筒体顶部连接，工艺尾气进料管线送入的上游工艺尾气，经过滤器滤芯过滤后，从过滤气体排放管线排出并送入后续的压缩机；过滤器硅粉排放口位于过滤器筒体的最底部，用于将过滤下来的硅粉向外排出收集。集。集。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统


[0001]本技术属于多晶硅制备装置领域，具体是一种多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统。

技术介绍

[0002]改良西门子法多晶硅生产工艺中三氯氢硅和氢气在灼热的硅芯表面发生还原反应，其过程会产生大量的工艺尾气及硅粉，上述副产物经深冷分离后，剩余的氢气进入压缩机提压至1.0Mpa返回系统参与循环。在上述过程中，因还原反应副产硅粉的量受反应温度、物料浓度、氢气配比等因素影响，其生成量不受控。下游工序通过深冷分离仅能够有效分离硅烷、HCl等气体，部分细硅粉夹杂在尾气中无法有效分离，会对后系统的泵、压缩机造成影响，严重时会造成被迫停机。
[0003]目前业内普遍采用在下游系统泵、压缩机前增设提篮式过滤器的方式对还原反应生成的硅粉予以去除。但提篮式滤网采用40
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80目滤网，过滤效果较差，且滤网前端受片状硅粉影响堵塞严重，后端无堵塞，影响过滤效率。此外，滤网产生的压降过大，易造成憋压，从而影响上下游系统平衡；受硅粉冲刷影响，滤芯损耗严重，冲刷下的金属杂质严重影响产品品质。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统，实现优先分离工艺尾气中的硅粉，实现对后续系统中的泵、压缩机的保护作用。
[0005]为了实现上述目的，本技术采取的技术方案如下：
[0006]一种多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统，包括过滤器筒体、过滤器滤芯、工艺尾气进料管线、过滤气体排放管线、置换氮气进气管线、置换气泄压管线、反吹氢气进气管线、安全泄压管线、过滤器压差管线以及过滤器硅粉排放口；
[0007]所述的过滤器滤芯为一组，设置在过滤器筒体的内部，通过可拆卸方式安装在过滤器上方的盖合口处；
[0008]所述工艺尾气进料管线与过滤器筒体的下部一侧连接，将上游工艺尾气送入过滤器筒体内；
[0009]所述过滤气体排放管线与过滤器筒体顶部连接，工艺尾气进料管线送入的上游工艺尾气，经过滤器滤芯过滤后，从过滤气体排放管线排出并送入后续的压缩机；
[0010]所述的置换氮气进气管线与过滤器筒体的底部一侧连接，用于向过滤器筒体内部送入置换氮气，所述置换气泄压管线与过滤器筒体顶部连接，用于置换氮气的排放泄压；
[0011]所述反吹氢气进气管线连接在过滤器筒体的顶部一侧，位于盖合口上方，用于向过滤器筒体内部送入反吹氢气，将过滤器滤芯外壁附着的硅粉吹扫下来；
[0012]所述安全泄压管线连接在过滤器筒体的顶部，用于过滤器筒体排气泄压，管线上
设有安全阀；所述过滤器压差管线设置在过滤器筒体上方一侧，管线上设有用于检测过滤器筒体内部压力的压差计；
[0013]所述的过滤器硅粉排放口位于过滤器筒体的最底部，用于将过滤下来的硅粉向外排出收集。
[0014]具体地，所述的过滤器硅粉排放口与位于过滤器筒体下方的硅粉置换罐通过管线连接，将过滤下来的硅粉送入硅粉置换罐内；所述硅粉置换罐的底部通过硅粉置换罐排料口将硅粉向外排出收集。
[0015]进一步地，所述的硅粉置换罐的一侧设有置换氮气接口，其与置换氮气进气管线连接，通过置换氮气进气管线向硅粉置换罐内送入置换氮气。
[0016]进一步地，所述的硅粉置换罐的顶部连接有置换气体排放管线。
[0017]优选地，所述的置换气体排放管线包括并联的含氯硅烷排放管和不含氯硅烷排放管。
[0018]有益效果：
[0019]本技术过滤系统在允许的压降、磨损范围内实现粒径分布中最小等级硅粉的过滤；减少硅粉进入后系统导致设备损坏的风险，通过设置在线喷吹，可以满足设备不下线清理，通过设置置换口、副线，确保设备灵活检修，可实现压差与定频监控，避免片状硅粉堵塞滤芯影响清堵效果。
附图说明
[0020]下面结合附图和具体实施方式对本技术做更进一步的具体说明，本技术的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。
[0021]图1是该多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统的结构原理图。
[0022]其中，各附图标记分别代表：1过滤器筒体；101盖合口；2过滤器滤芯；3工艺尾气进料管线；4过滤气体排放管线；5置换氮气进气管线；6置换气泄压管线；7反吹氢气进气管线；8反吹氢气调节阀；9安全泄压管线；10安全阀；11过滤器压差管线；12压差计；13过滤器硅粉排放口；14硅粉置换罐；15换氮气接口；16置换气体排放管线；17硅粉置换罐排料口；18含氯硅烷排放管；19不含氯硅烷排放管。
具体实施方式
[0023]根据下述实施例，可以更好地理解本技术。
[0024]说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“前”、“后”、“中间”等用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。
[0025]如图1所示，该多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统包括过滤器筒体1、过滤器滤芯2、工艺尾气进料管线3、过滤气体排放管线4、置换氮气进气管线5、置换气泄压管线6、反吹
氢气进气管线7、安全泄压管线9、过滤器压差管线11以及过滤器硅粉排放口13。
[0026]其中，过滤器滤芯2为一组，设置在过滤器筒体1的内部，通过可拆卸方式安装在过滤器上方的盖合口101处。
[0027]工艺尾气进料管线3与过滤器筒体1的下部一侧连接，将上游工艺尾气送入过滤器筒体1内。
[0028]过滤气体排放管线4与过滤器筒体1顶部连接，工艺尾气进料管线3送入的上游工艺尾气，经过滤器滤芯2过滤后，从过滤气体排放管线4排出并送入后续的压缩机。
[0029]置换氮气进气管线5与过滤器筒体1的底部一侧连接，用于向过滤器筒体1内部送入置换氮气，置换气泄压管线6与过滤器筒体1顶部连接，用于置换氮气的排放泄压。
[0030]反吹氢气进气管线7连接在过滤器筒体1的顶部一侧，位于盖合口101上方，管线上设有反吹氢气调节阀8，用于向过滤器筒体1内部送入反吹氢气，将过滤器滤芯2外壁附着的硅粉吹扫下来。
[0031]安全泄压管线9连接在过滤器筒体1的顶部，用于过滤器筒体1排气泄压，管线上设有安全阀10；过滤器压差管线11设置在过滤器筒体1上方一侧，管线上设有用于检测过滤器筒体1内部压力的压差计12。
[0032]过滤器硅粉排放口13位于过滤器筒体1的最底部，用于将过滤下来的硅粉向外排出收集。
[0033]过滤器硅粉排放口13与位于过滤器筒体1下方的硅粉置换罐14通过管线连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统，其特征在于，包括过滤器筒体(1)、过滤器滤芯(2)、工艺尾气进料管线(3)、过滤气体排放管线(4)、置换氮气进气管线(5)、置换气泄压管线(6)、反吹氢气进气管线(7)、安全泄压管线(9)、过滤器压差管线(11)以及过滤器硅粉排放口(13)；所述的过滤器滤芯(2)为一组，设置在过滤器筒体(1)的内部，通过可拆卸方式安装在过滤器上方的盖合口(101)处；所述工艺尾气进料管线(3)与过滤器筒体(1)的下部一侧连接，将上游工艺尾气送入过滤器筒体(1)内；所述过滤气体排放管线(4)与过滤器筒体(1)顶部连接，工艺尾气进料管线(3)送入的上游工艺尾气，经过滤器滤芯(2)过滤后，从过滤气体排放管线(4)排出并送入后续的压缩机；所述的置换氮气进气管线(5)与过滤器筒体(1)的底部一侧连接，用于向过滤器筒体(1)内部送入置换氮气，所述置换气泄压管线(6)与过滤器筒体(1)顶部连接，用于置换氮气的排放泄压；所述反吹氢气进气管线(7)连接在过滤器筒体(1)的顶部一侧，位于盖合口(101)上方，用于向过滤器筒体(1)内部送入反吹氢气，将过滤器滤芯(2)外壁附着的硅粉吹扫下来；所述安全泄压管线(9)连接在过滤器筒体(1)的顶部，用...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭亮亮，张然，刘杰，
申请(专利权)人：新疆协鑫新能源材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：