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本实用新型公开了一种多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统，包括过滤器筒体、过滤器滤芯、工艺尾气进料管线、过滤气体排放管线、置换氮气进气管线、置换气泄压管线、反吹氢气进气管线、安全泄压管线、过滤器压差管线以及过滤器硅粉排放口；过滤器滤芯为一组，设置...
该专利属于新疆协鑫新能源材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新疆协鑫新能源材料科技有限公司授权不得商用。

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