一种晶圆检测设备移动平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆检测设备移动平台，包括平台本体，平台本体下端面开设凹槽，凹槽内安装滑轮组件，平台本体下端面靠近凹槽处还固定安装支撑腿，平台本体上端面安装固定支撑组件，本实用新型专利技术结构设计新颖，使用方便，便于对晶圆检测设备的移动、转运，移动过程中稳定性好，减少了晶圆检测设备受到的震动。减少了晶圆检测设备受到的震动。减少了晶圆检测设备受到的震动。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆检测设备移动平台


[0001]本技术涉及晶圆检测设备
，具体为一种晶圆检测设备移动平台。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。
[0003]晶圆检测设备在安装过程中需要进行移动，现有的移动平台结构单一，稳定性差，因此，有必要进行改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆检测设备移动平台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆检测设备移动平台，包括平台本体，所述平台本体下端面开设凹槽，所述凹槽内安装滑轮组件，所述平台本体下端面靠近凹槽处还固定安装支撑腿，所述平台本体上端面安装固定支撑组件。
[0006]优选的，本申请提供的一种晶圆检测设备移动平台，其中，所述滑轮组件包括升降本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆检测设备移动平台，包括平台本体（1），其特征在于：所述平台本体（1）下端面开设凹槽（2），所述凹槽（2）内安装滑轮组件，所述平台本体（1）下端面靠近凹槽（2）处还固定安装支撑腿（3），所述平台本体（1）上端面安装固定支撑组件。2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备移动平台，其特征在于：所述滑轮组件包括升降液压缸（4）、万向轮安装架（5）、万向轮本体（6）和减震机构，所述升降液压缸（4）尾端安装于凹槽（2）顶壁，所述升降液压缸（4）伸缩端连接万向轮安装架（5），所述万向轮本体（6）安装于万向轮安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：梅力，胡冬云，
申请(专利权)人：江苏卓玉智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：