【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体生产领域,具体为一种可均匀出料的镀膜机。
技术介绍
1、半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。
2、而半导体晶片在使用过程中,半导体晶片表面极易受到污染、氧化、腐蚀等影响,而这些影响都可能导致半导体器件的性能下降,因此半导体器件的表面需要镀膜才能进行保护,使其免受外界环境因素的影响,而现有技术中在对半导体器件进行镀膜时,首先将半导体晶片放置于载料盘的内部,之后通过点击使得载料盘持续做圆周远动,同时喷头持续向上喷射镀膜材料,通过载料盘的匀速转动,以及喷头的持续喷射,使得载料盘内部的半导体晶片均匀受料,以此完成对半导体晶片进行均匀镀膜。
3、在现有技术的使用过程中,由于载料盘的持续圆周远动以确保均匀收料,而在喷射头固定不动,在对半导体晶体进行喷涂时,喷头与半导体晶体之间会有一定的间距空间,因此喷涂过程中部分的物料会停留在空间中,后续加工过程中,残留的物料弥漫在晶体与喷
...【技术保护点】
1.一种可均匀出料的镀膜机,包括外壳(1)和镀膜机主体(2),其特征在于:所述镀膜机主体(2)的外壁设置有开口,且镀膜机主体(2)的内侧设置有载料机构(3),所述载料机构(3)的下方设置有清洁机构(5),且清洁机构(5)包括有吸料筒(501)、喷头(502)、第一弹簧伸缩杆(503)、清洁环(504)、吸气管(505)、吸料管(506)和第二弹簧伸缩杆(507),所述吸料筒(501)设置于镀膜机主体(2)的内侧,且喷头(502)设置于吸料筒(501)的内侧,所述第一弹簧伸缩杆(503)设置于吸料筒(501)的内壁,且清洁环(504)设置于第一弹簧伸缩杆(503)的末端
...【技术特征摘要】
1.一种可均匀出料的镀膜机,包括外壳(1)和镀膜机主体(2),其特征在于:所述镀膜机主体(2)的外壁设置有开口,且镀膜机主体(2)的内侧设置有载料机构(3),所述载料机构(3)的下方设置有清洁机构(5),且清洁机构(5)包括有吸料筒(501)、喷头(502)、第一弹簧伸缩杆(503)、清洁环(504)、吸气管(505)、吸料管(506)和第二弹簧伸缩杆(507),所述吸料筒(501)设置于镀膜机主体(2)的内侧,且喷头(502)设置于吸料筒(501)的内侧,所述第一弹簧伸缩杆(503)设置于吸料筒(501)的内壁,且清洁环(504)设置于第一弹簧伸缩杆(503)的末端,所述吸气管(505)设置于吸料筒(501)的内侧,且吸气管(505)延伸至镀膜机主体(2)的下方,所述吸料管(506)设置于吸料筒(501)的下方,且吸料管(506)延伸至镀膜机主体(2)的下方,所述第二弹簧伸缩杆(507)设置于吸料筒(501)的下方,且第二弹簧伸缩杆(507)的底部设置有托盘。
2.根据权利要求1所述的一种可均匀出料的镀膜机,其特征在于:所述载料机构(3)包括有电机(301)、转轴(302)、载料仓(303)、载料盘(304)、固定柱(305)和滑动球(306),且电机(301)设置于镀膜机主体(2)的上方,所述转轴(302)设置于电机(301)的下方,且载料仓(303)设置于转轴(302)的末端,所述载料盘(304)设置于载料仓(303)的内部,且固定柱(305)设置于载料仓(303)的底部,所述滑动球(306)设置于固定柱(305)的末端,所述密封盖(307)设置于镀膜机主体(2)的顶部。
3.根据权利要求2所述的一种可均匀出料的镀膜机,其特征在于:所述滑动球(306)的下方设置有限位环(4),且限位环(4)的内壁设置有固定环,所述限位环(4)内壁的固定环与吸料筒(50...
【专利技术属性】
技术研发人员:梅力,胡朗,胡冬云,
申请(专利权)人:江苏卓玉智能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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