下载一种可均匀出料的镀膜机的技术资料

文档序号:40118793

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本发明公开了一种可均匀出料的镀膜机,涉及半导体生产领域,一种可均匀出料的镀膜机,包括外壳和镀膜机主体,所述镀膜机主体的外壁设置有开口,且镀膜机主体的内侧设置有载料机构。本发明通过设置有载料机构、限位环和清洁机构,当电机带动载料仓进行转动时,...
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