横竖一体化掩模夹制造技术

本发明专利技术公开了横竖一体化掩模夹，包括手柄，手柄的一端固定连接有主杆，主杆远离手柄的一端滑动连接有固定模块，手柄靠近固定模块的一端的底部设有卡口，手柄靠近固定模块的一端的底部转动连接有开合模块，开合模块的底部与卡口固定连接，手柄为铁氟龙材质制成，主杆为铝合金材质制成，固定模块相对卡口的一侧固定连接有氟胶圈，固定模块通过螺丝与主杆活动连接，卡口的中部螺纹连接有旋钮，旋钮穿过卡口，可通过旋转旋钮，及插拔下面的螺钉，改变卡口方向，来达到切换横夹竖夹的目的。本发明专利技术将掩模所需使用的横夹与竖夹统合在同一夹具上，既可充当横夹使用，也可充当竖夹使用，操作方便，无需多种夹具，省时省力，减少夹具的使用，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
横竖一体化掩模夹

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[0001]本专利技术属于掩模夹具
，特别涉及横竖一体化掩模夹。

技术介绍
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[0002]MASK(掩模)是半导体行业与集成电路制作时所需的横竖一体化掩模夹模具，其是利用Mask上的图形，经曝光制成将图形复制于晶圆上，经过显影制程使其表面产生透光与不透光的极细微的逻辑图形。
[0003]现有技术中，掩模的制作必须经过清洗、检测、贴膜等工艺，这些工艺操作过程中都会用到掩模夹，有的只需要掩模横夹，而有的工艺需要掩模横夹配合掩模竖夹一起使用，而掩模夹采购成本较高，采用多种夹具会增加生产成本。

技术实现思路
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[0004]本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供横竖一体化掩模夹，将掩模所需使用的横夹与竖夹统合在同一夹具上，既可以充当横夹使用，也可充当竖夹使用，且操作方便，无需多种夹具替换使用，省时省力的同时又减少夹具的使用，降低生产成本。
[0005]为了解决上述问题，本专利技术提供了一种技术方案：
[0006]横竖一体化掩模夹，包括手柄，所述手柄的一端固定连接有主杆，所述主杆远离手柄的一端滑动连接有固定模块，所述手柄靠近固定模块的一端的底部设有卡口。
[0007]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述手柄靠近固定模块的一端的底部转动连接有开合模块，所述开合模块的底部与卡口固定连接。
[0008]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述手柄为铁氟龙材质制成，所述主杆为铝合金材质制成。
[0009]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述固定模块相对卡口的一侧固定连接有氟胶圈，所述固定模块通过螺丝与主杆活动连接。
[0010]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述卡口的中部螺纹连接有旋钮，所述旋钮穿过卡口。可通过旋转旋钮，及插拔下面的螺钉，改变卡口方向，来达到切换横夹竖夹的目的。
[0011]本专利技术的有益效果：本专利技术将掩模所需使用的横夹与竖夹统合在同一夹具上，既可以充当横夹使用，也可充当竖夹使用，且操作方便，无需多种夹具替换使用，省时省力的同时又减少夹具的使用，降低生产成本。
附图说明：
[0012]为了易于说明，本专利技术由下述的具体实施及附图作以详细描述。
[0013]图1为本专利技术的正视结构示意图；
[0014]图2为本专利技术的卡口的连接正视结构示意图。
[0015]图中：1、手柄；2、主杆；3、固定模块；4、氟胶圈；5、开合模块；6、卡口；7、旋钮。
具体实施方式：
[0016]如图1
‑
2所示，本具体实施方式采用以下技术方案：横竖一体化掩模夹，包括手柄1，手柄1的一端固定连接有主杆2，主杆2远离手柄1的一端滑动连接有固定模块3，手柄1靠近固定模块3的一端的底部设有卡口6。
[0017]手柄1靠近固定模块3的一端的底部转动连接有开合模块5，开合模块5的底部与卡口6固定连接，手柄1为铁氟龙材质制成，主杆2为铝合金材质制成，固定模块3相对卡口6的一侧固定连接有氟胶圈4，固定模块3通过螺丝与主杆2活动连接，卡口6的中部螺纹连接有旋钮7，旋钮7穿过卡口6。
[0018]具体的：横竖一体化掩模夹，使用时氟胶圈4在掩模夹取放版时与基板相接触，防止卡口6划伤掩模版，起保护掩模版的作用。切换成竖夹模式时，通过旋钮7及下面的螺钉将卡口6调节成竖直方向，即可夹取；切换成横夹模式时，通过旋钮7及下面的螺钉将卡口6调节成水平方向，即可夹取。提高本夹具的使用效果，降低生产成本。
[0019]以上显示和描述了本专利技术的基本原理和主要特征和本专利技术的优点，本行业的技术人员应该了解，本专利技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本专利技术的原理，在不脱离本专利技术精神和范围的前提下，本专利技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本专利技术范围内，本专利技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.横竖一体化掩模夹，其特征在于，包括手柄(1)，所述手柄(1)的一端固定连接有主杆(2)，所述主杆(2)远离手柄(1)的一端滑动连接有固定模块(3)，所述手柄(1)靠近固定模块(3)的一端的底部设有卡口(6)。2.根据权利要求1所述的横竖一体化掩模夹，其特征在于：所述手柄(1)靠近固定模块(3)的一端的底部转动连接有开合模块(5)，所述开合模块(5)的底部与卡口(6)固定连接。3.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：华卫群，尤春，陈青，
申请(专利权)人：无锡中微掩模电子有限公司，
类型：发明
国别省市：