【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光切割
，尤其涉及一种太阳能薄膜电池的激光蚀刻i殳备及蚀刻方法。 随着现代工业的高速发展，技术快速的更新换代以及对能源的需 求，现在能源结构正在发生着根本性的变革，传统的能源煤炭、石 油、天然气使用量将在2020年一2040年到达高峰，而在2050年后将 会逐渐枯竭，替代能源，可再生能源(主要是太阳能)从2000年开始 迅猛发展，到2050年使用量将达到高峰。传统太阳能电池是使用单晶 硅或多晶硅薄片，其硅用料较多，浪费严重，硅元素提纯工艺复杂且 成本太高。非晶硅薄膜太阳能电池使用硅元素量很少所以无原料瓶颈， 成本低，且工艺成熟，所以发展4艮快，成为目前薄膜太阳能电池最成 熟的产品。这种非晶硅薄膜太阳能电池镀膜容易产生周边的镀膜不完整的缺 陷，影响电池板的性能和最终的成品封装。激光蚀刻能在非晶硅薄膜 太阳能电池的四周IO毫米带状区域用激光蚀刻掉，以保证太阳能电池 片大小统一完整封装，保证良好的绝缘性与成品制作。现有的太阳能薄膜电池的激光蚀刻设备包括X轴运动系统、X轴 基座、Y轴运动系统、Y轴基座、工件夹具、立柱和激光器系统。工件夹具安装在...
【技术保护点】
一种太阳能薄膜电池的激光蚀刻设备，包括机架、Ｙ轴基座、工件夹具和蚀刻系统，机架与Ｙ轴基座固定连接，其特征在于，所述的蚀刻系统为２套，相向布置在Ｙ轴基座上；每套蚀刻系统包括Ｘ轴运动系统、Ｘ轴基座、Ｙ轴运动系统和激光器系统；所述的Ｘ轴运动系统安装在Ｘ轴机座上，Ｘ轴机座安装在Ｙ轴运动系统上，Ｙ轴运动系统安装在Ｙ轴基座上，形成十字滑台结构；所述的工件夹具位于Ｙ轴基座中部的上方，工件夹具的周边夹紧装置安装在机架上，工件夹具的中央支承装置安装在由位于Ｙ轴基座中部的支柱上；所述的激光器系统安装在Ｘ轴运动系统上；激光器系统的蚀刻头伸向工件夹具的下方。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：高云峰，陈明金，吴志宏，倪鹏玉，谢建，李世印，郑国云，
申请(专利权)人：深圳市大族激光科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]
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