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本发明公开了一种太阳能薄膜电池激光蚀刻设备及蚀刻方法。设备包括２套蚀刻系统，相向布置在Ｙ轴基座上，每套蚀刻系统包括Ｘ轴运动系统、Ｙ轴运动系统和激光器系统。Ｘ轴运动系统和Ｙ轴运动系统，形成十字滑台结构；工件夹具位于Ｙ轴基座中部的上方，工件夹具...
该专利属于深圳市大族激光科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市大族激光科技股份有限公司授权不得商用。

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